Chromselenid-Target (CrSe) Beschreibung
Das Chromselenid (CrSe) Sputtertarget ist ein hochleistungsfähiges keramisches Verbundmaterial, das die robuste physikalische Stabilität von Chrom mit den halbleitenden Eigenschaften von Selen kombiniert und sich daher gut für die Dünnschichtabscheidung eignet. Das durch fortschrittliche Verfahren wie Heißpressen oder Vakuumsintern hergestellte Target zeichnet sich in der Regel durch eine hohe Dichte und geringe Porosität aus, was gleichmäßige Erosionsraten und eine gleichbleibende Schichtqualität während des Sputterns gewährleistet. Es besitzt einen relativ hohen Schmelzpunkt und eine ausgezeichnete thermische Stabilität, so dass es auch in Umgebungen mit hoher Abscheidungsleistung ohne nennenswerte Beeinträchtigung eingesetzt werden kann. Das Material weist eine gute chemische Verträglichkeit auf und behält seine strukturelle Integrität sowohl in inerten als auch in reaktiven Atmosphären bei. CrSe-Targets bieten außerdem ein stabiles elektrisches Verhalten und magnetisches Ansprechverhalten mit einer feinen, homogenen Mikrostruktur, die eine glatte, defektfreie Filmbildung auf einer Vielzahl von Substraten unterstützt.
Chromselenid-Target (CrSe) Spezifikation
Eigenschaften
Werkstoff
|
CrSe
|
Reinheit
|
99.9%
|
CAS
|
12053-13-3
|
Schmelzpunkt
|
1500 °C
|
Dichte
|
6,74 g/cm3
|
Form
|
Planare Scheibe
|
*Dieoben genannten Produktinformationen basieren auf theoretischen Daten. Für spezifische Anforderungen und detaillierte Anfragen, kontaktieren Sie uns bitte.
Größe: Kundenspezifisch
Chromselenid-Target (CrSe) Anwendungen
- Chromselenid (CrSe) wird in einer Vielzahl von fortschrittlichen Anwendungen eingesetzt, insbesondere in den Bereichen Halbleiter, Optoelektronik und magneto-optische Geräte. Es wird in Dünnschichtverfahren eingesetzt, um Schichten für Infrarotdetektoren, photovoltaische Zellen und spintronische Komponenten zu erzeugen. Seine halbleitenden und magnetischen Eigenschaften machen es auch für die Forschung im Bereich der zweidimensionalen Materialien und der Quantenelektronik wertvoll. Darüber hinaus werden CrSe-Dünnschichten für den Einsatz in Energiespeichern und als Schutz- oder Funktionsschichten in rauen Umgebungen erforscht.
Chromselenid-Target (CrSe) Verpackung
Unsere Produkte werden in kundenspezifischen Kartons verschiedener Größen verpackt, die sich nach den Abmessungen des Materials richten. Kleine Artikel werden sicher in PP-Kartons verpackt, während größere Artikel in maßgefertigte Holzkisten gelegt werden. Wir sorgen für eine strikte Einhaltung der Verpackungsanpassung und die Verwendung geeigneter Polstermaterialien, um einen optimalen Schutz während des Transports zu gewährleisten.

Verpackung: Karton, Holzkiste, oder kundenspezifisch.
Herstellungsprozess
1. Kurzer Ablauf des Herstellungsprozesses

2. Prüfverfahren
- Analyse der chemischen Zusammensetzung - Verifiziert mit Techniken wie GDMS oder XRF, um die Einhaltung der Reinheitsanforderungen zu gewährleisten.
- Prüfung der mechanischen Eigenschaften - Umfasst Tests der Zugfestigkeit, Streckgrenze und Dehnung zur Bewertung der Materialleistung.
- Maßprüfung - Misst Dicke, Breite und Länge, um die Einhaltung der vorgegebenen Toleranzen zu gewährleisten.
- Prüfung der Oberflächenqualität - Überprüfung auf Defekte wie Kratzer, Risse oder Einschlüsse durch Sicht- und Ultraschallprüfung.
- Härteprüfung - Bestimmt die Materialhärte zur Bestätigung der Gleichmäßigkeit und mechanischen Zuverlässigkeit.
Häufig gestellte Fragen zu Chromselenid-Targets (CrSe)
Q1: Welche Faktoren beeinflussen die Lebensdauer eines Chromselenid (CrSe)-Sputtertargets?
A1: Die Lebensdauer des Targets hängt von Faktoren wie der Sputterleistung, der Beschichtungsumgebung, der Targetdicke und der Kühleffizienz ab. Eine ordnungsgemäße Systemkalibrierung und eine gleichmäßige Leistungsverteilung tragen zur Verlängerung der Lebensdauer bei.
Q2: Wie kann ich bei der Verwendung eines CrSe-Targets eine gleichmäßige Schichtdicke sicherstellen?
A2: Die gleichmäßige Schichtdicke hängt von Parametern wie Targetqualität (Dichte, Homogenität), Substratrotation, Arbeitsabstand und Sputterdruck ab. Targets mit hoher Dichte wie das CrSe-Target von SAM bieten eine bessere Erosionsgleichmäßigkeit.
F3: Welche Bindungsoptionen gibt es für die Montage von CrSe-Targets?
A3: CrSe-Targets können je nach Systemtyp und thermischen Anforderungen mit Indium-, Elastomer- oder Hochtemperaturklebstoffen gebondet werden. SAM bietet Klebeservices auf der Grundlage Ihrer Trägerplatte und Systemkompatibilität an.
Leistungsvergleichstabelle mit Konkurrenzprodukten
Chromselenid-Target (CrSe) im Vergleich zu konkurrierenden Materialien: Leistungsvergleich
Eigenschaft
|
CrSe-Target
|
MoSe₂-Target
|
WSi₂-Target
|
CrN-Ziel
|
Ta-Ziel
|
Reinheit
|
≥99,95% (metallische Basis)
|
≥99.9%
|
≥99,5% (Si/W-Verhältnis Drift)
|
≥99.8%
|
≥99,99% (hochreines Ta)
|
Dichte
|
6,2-6,5 g/cm³ (theoretisch ~95%)
|
5,0-5,2 g/cm³ (~90%)
|
9,3-9,6 g/cm³ (~92%)
|
6,1-6,3 g/cm³ (~94%)
|
16,6 g/cm³ (~99%)
|
Korngröße
|
≤10 μm (kontrolliert über HIP)
|
15-30 μm (CVD-induziert)
|
20-50 μm (pulvermetallurgisch)
|
≤5 μm (nanokristallin)
|
≤50 μm (hochreiner Barren)
|
Sputtering-Rate
|
150-200 nm/min (DC, 500W)
|
80-120 nm/min (RF, 300W)
|
100-150 nm/min (DC, 400W)
|
200-250 nm/min (DC, 600W)
|
50-80 nm/min (hohe Leistung)
|
Haftung auf dem Substrat
|
Stark (SiO₂/Si, Ra <0,5 nm)
|
Mäßig (Risiko der Delamination)
|
Mäßig (Spannungsrissbildung)
|
Ausgezeichnet (harte Beschichtungen)
|
Schlecht (Zwischenschicht erforderlich)
|
Neigung zur Lichtbogenbildung
|
Gering (dichtes Mikrogefüge)
|
Hoch (schichtweise Defekte)
|
Mäßig (Porosität)
|
Sehr niedrig (hohe Dichte)
|
Mäßig (Oxidbildung)
|
Thermische Leitfähigkeit
|
20-25 W/m-K (Wärmeableitung)
|
10-15 W/m-K
|
30-35 W/m-K
|
15-20 W/m-K
|
57 W/m-K (Ta-Metall)
|
Verwandte Informationen
- Rohstoffe - Chrom (Cr)
Chrom ist ein hartes, glänzendes und korrosionsbeständiges Übergangsmetall, das für seinen hohen Schmelzpunkt (1907°C), seine ausgezeichnete Härte und seine Fähigkeit zur Bildung stabiler Schutzoxidschichten bekannt ist. Es verbessert die Verschleißfestigkeit und Oxidationsbeständigkeit von Legierungs- und Verbundwerkstoff-Sputtertargets und eignet sich daher ideal für Anwendungen bei hohen Temperaturen und in rauen Umgebungen.
- Rohstoffe - Selen (Se)
Selen ist ein nichtmetallisches Element mit halbleitenden Eigenschaften und Photoleitfähigkeit, das in der Dünnschichtelektronik und in photovoltaischen Materialien sehr geschätzt wird. Es bildet stabile Verbindungen mit Metallen und trägt zur präzisen Kontrolle der Bandlücke und der chemischen Reaktivität bei Sputterprozessen bei.
Spezifikation
Eigenschaften
Werkstoff
|
CrSe
|
Reinheit
|
99.9%
|
CAS
|
12053-13-3
|
Schmelzpunkt
|
1500 °C
|
Dichte
|
6,74 g/cm3
|
Form
|
Planare Scheibe
|
*Dieoben genannten Produktinformationen basieren auf theoretischen Daten. Für spezifische Anforderungen und detaillierte Anfragen, kontaktieren Sie uns bitte.
Größe: Kundenspezifisch