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Sputtertarget

Sputtertargets sind als Monoblock oder im Verbund mit Abmessungen und Konfigurationen bis zu 820 mm erhältlich und werden mit Bohrungen, Gewinden, Fasen, Rillen und Rückseiten hergestellt, die sowohl für ältere Sputtergeräte als auch für die neuesten Verarbeitungsgeräte, wie z. B. für großflächige Beschichtungen und Flip-Chip-Anwendungen, geeignet sind. Targets in Forschungsgröße sind ebenfalls erhältlich, ebenso wie kundenspezifische Größen und Legierungszusammensetzungen.

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