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ST11204 Nickel-Niob-Drehscheibe, NiNb-Zielscheibe

Katalog-Nr. ST11204
Zusammensetzung Ni, Nb
Reinheit ≥99,5%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Röhrenförmig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Nickel-Niob-Rotations-Target, NiNb-Target, wird aus einer Nickel-Niob-Legierung hergestellt, die für Sputtering-Anwendungen entwickelt wurde. Das von Stanford Advanced Materials (SAM) hergestellte Target wird einer strengen chemischen Analyse und Oberflächenqualitätsprüfung mittels Elektronenmikroskopie unterzogen, um die Homogenität der Legierung und die strukturelle Integrität zu überprüfen. SAM setzt in kritischen Produktionsphasen quantitative Messverfahren ein, um die Maßgenauigkeit und die Materialzusammensetzung zu bestätigen und sicherzustellen, dass das Target die strengen Prozessspezifikationen erfüllt.

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FAQ

Welchen Einfluss hat die Nickel-Niob-Zusammensetzung auf die Sputtering-Leistung?

Die Zusammensetzung der Ni-Nb-Legierung beeinflusst die Targeterosion und die Gleichmäßigkeit der Abscheidung. Eine gut kontrollierte Legierung minimiert die Schwankungen in der Zusammensetzung und stellt sicher, dass die Sputterausbeute über einen längeren Zeitraum hinweg konstant bleibt. Mit Hilfe einer detaillierten Materialanalyse wird die Homogenität der Legierung überprüft, was für Anwendungen, die eine gleichmäßige Abscheidung von Dünnschichten erfordern, von entscheidender Bedeutung ist.

Welche Methoden der Oberflächenvorbereitung werden für diese Drehscheiben verwendet?

Die Targets werden in der Regel einer Präzisionsbearbeitung unterzogen, gefolgt von kontrolliertem chemischen Ätzen und Oberflächenprofilierung. Diese Verfahren verringern die Oberflächenrauhigkeit und tragen zu einer gleichmäßigen Sputterausbeute bei. Die anschließende mikroskopische Analyse bestätigt, dass die Oberfläche den erforderlichen technischen Toleranzen entspricht.

Wie wirken sich kundenspezifische Abmessungen auf die Integration in Sputtering-Systeme aus?

Durch die kundenspezifischen Abmessungen kann das Target an spezifische Geräteklemm- und Montagekonfigurationen angepasst werden. Dies gewährleistet einen optimalen Kontakt und eine effiziente Wärmeverteilung während des Betriebs, was wiederum gleichmäßige Abscheidungsraten und eine längere Lebensdauer des Targets unterstützt.

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