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ST11203 Nickel-Kupfer-Drehscheibe, NiCu-Zielscheibe

Katalog-Nr. ST11203
Zusammensetzung Ni, Cu
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Röhrenförmig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Nickel-Kupfer-Rotations-Target, NiCu-Target, ist ein Legierungstarget, das für Sputtering-Anwendungen entwickelt wurde. Es wird mit Hilfe verfeinerter Fertigungstechniken bei Stanford Advanced Materials (SAM) hergestellt. SAM setzt quantitative Elementaranalysen und spektrometrische Inline-Qualitätskontrollen ein, um die Genauigkeit der Zusammensetzung zu gewährleisten. Das Produkt wird einer gründlichen Bewertung der mikrostrukturellen Einheitlichkeit und der Oberflächenbeschaffenheit unterzogen, um die Konsistenz der Abscheidung in industriellen Sputterprozessen zu optimieren.

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FAQ

Wie wirkt sich die Kontrolle der Zusammensetzung des NiCu-Targets auf die Sputtering-Leistung aus?

Die präzise Steuerung der Zusammensetzung gewährleistet, dass die gesputterten Schichten eine einheitliche Elementverteilung und Mikrostruktur aufweisen. Dadurch werden Schwankungen der Schichteigenschaften minimiert, was für reproduzierbare Abscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung unerlässlich ist.

Welches sind die kritischen Schritte bei der Oberflächenvorbereitung der Drehscheibe?

Die Oberfläche des Targets wird mechanisch poliert und chemisch geätzt, um Unregelmäßigkeiten zu beseitigen. Diese Behandlung verbessert die Filmhaftung und minimiert die Verunreinigung durch Partikel während des Sputterns. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Prozessparameter.

Können die Zielabmessungen für bestimmte Abscheidungssysteme angepasst werden?

Ja, die Abmessungen der Targets werden auf der Grundlage der Kundenanforderungen angepasst. Maßgeschneiderte Größen ermöglichen die Kompatibilität mit verschiedenen Sputtersystemen und gewährleisten einen effizienten Materialeinsatz und eine konsistente Abscheidung.

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