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ST10712 Platin-Drehsputtertarget Pt-Target

Katalog-Nr. ST10712
Material Platin
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rotierend

Platin-Rotations-Sputter-Target Pt-Target wird mit streng kontrollierter Zusammensetzung und Mikrostruktur für eine gleichbleibende Sputterleistung hergestellt. Das von Stanford Advanced Materials (SAM) hergestellte Target wird einer strengen metallurgischen Analyse und chemischen Untersuchungen unterzogen, um die Reinheit und Einheitlichkeit zu bestätigen. SAM setzt fortschrittliche mikroskopische Inspektionen und Zusammensetzungsanalysen ein, um die Materialparameter während der Verarbeitung zu überwachen und sicherzustellen, dass das Target die hohen Anforderungen für physikalische Gasphasenabscheidungssysteme erfüllt.

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FAQ

Wie wirkt sich die mikrostrukturelle Gleichmäßigkeit auf die Sputtering-Leistung aus?

Eine einheitliche Mikrostruktur minimiert lokale Schwankungen bei der Erosion während des Sputterns, was zu gleichbleibenden Abscheideraten beiträgt und die Bildung von Partikeln reduziert. Regelmäßige metallurgische Kontrollen gewährleisten diese Gleichmäßigkeit und tragen zu einer vorhersehbaren Leistung bei Abscheidungsanwendungen bei.

Welche Maßnahmen können ergriffen werden, um eine Oberflächenkontamination vor dem Sputtern zu verhindern?

Reinigungsverfahren vor dem Sputtern, einschließlich Ultraschallreinigung und Plasmaätzung, verringern das Kontaminationsrisiko. Die Aufrechterhaltung einer kontrollierten Lagerungsumgebung mit niedriger Luftfeuchtigkeit und minimaler Partikelexposition trägt ebenfalls dazu bei, die Oberflächenintegrität des Targets bis zur Verwendung zu erhalten.

Welche Qualitätskontrollverfahren werden bei der Herstellung dieses Ziels angewandt?

Das Target wird einer umfassenden chemischen Analyse und mikroskopischen Untersuchung unterzogen, um seine Reinheit und Einheitlichkeit zu überprüfen. Es werden prozessbegleitende Dichte- und Phasenmessungen durchgeführt, um zu bestätigen, dass das Material die strengen Kriterien für die Zusammensetzung und Mikrostruktur erfüllt, die für eine optimale Sputterleistung unerlässlich sind.

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