Name: AC0971 Alumina Plate, Aluminum Oxide Plate (Al2O3)
Brand: Stanford Advanced Materials (SAM)
SKU: AC0971
Availability: InStock

Heim

Startseite

Produkte

Keramisches Material

Tonerde

AC0971 Tonerdeplatte, Aluminiumoxidplatte (Al2O3)

Katalog-Nr.	AC0971
Material	Al2O3
Reinheit	≥95%, oder kundenspezifisch
Dichte	3,7-3,9 g/cm3
Abmessungen	Kundenspezifisch

Tonerdeplatten haben eine hohe Wärmeleitfähigkeit, Druckfestigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit. SAM bietet hochwertige Aluminiumoxidplatten in einer Vielzahl von Größen und Abmessungen an, um eine möglichst effiziente Produktion an Ihrem Standort zu ermöglichen.

ANFRAGE

Zum Vergleich hinzufügen

Beschreibung

Spezifikation

SDS

Fall

Bewertungen

Aluminiumoxidplatte Beschreibung

Aluminiumoxidplatten sind flache, dünne Materialstücke aus Aluminiumoxid, einer Keramik, die auch als Aluminiumoxid (Al2O3) bekannt ist. Diese Platten werden wegen ihrer hervorragenden thermischen, mechanischen und elektrischen Eigenschaften geschätzt, darunter Hochtemperaturbeständigkeit, elektrische Isolierung, Härte und chemische Inertheit. Diese einzigartige Kombination macht sie zu wichtigen Komponenten für eine breite Palette von Anwendungen.

Spezifikation für Aluminiumoxidplatten

Artikel	Einheit	Al95	Al97	Al99	Al997
AL2O3-Gehalt	Gew.-%	95	97	99	99.7
Farbe	-	Weiß	Elfenbein	Elfenbein	Elfenbein
Zugfestigkeit	Kpsi	32	30-40	38	36
Biegefestigkeit	Kpsi	52	45-50	55	54
Druckfestigkeit	Kpsi	300	~300	377	350
Dichte	^g/cm3	3.7	3.8	3.9	3.92
Härte	HV, GPa	13.8	~14	17.2	18
Wärmeleitfähigkeit	W/(m-K)	25	~25	30	30
Wärmeausdehnungskoeffizient	×10-⁶/°C	7.7	7.8	7.8	7.8
Arbeitstemperatur	°C	1500	1600	1650	1650
Dielektrizitätskonstante	-	9.5	9.6	9.7	9.8
Volumenwiderstand (25°C)	Ohm-cm	>10^14	>10^14	>10^14	>10^14

*Dieobigen Produktinformationen basieren auf theoretischen Daten. Für spezifische Anforderungen und detaillierte Anfragen kontaktieren Sie uns bitte. Kundenspezifische Größen und Formen sind ebenfalls erhältlich. Bitte kontaktieren Sie uns.

Anwendungen von Aluminiumoxidplatten

Zu den wichtigsten Anwendungen von Al2O3-Platten gehören:

Elektronik & Halbleiter: Schaltungssubstrate, Mikroelektronik, Isolatoren.
Industrie und Hochtemperatur: Ofenauskleidungen, verschleißfeste Komponenten, Schneidwerkzeuge.
Medizin & Dental: Prothesenkomponenten, orthopädische Implantate.
Optische und Lasersysteme: Lasersystemkomponenten, Wärmemanagement.
Luft- und Raumfahrt & Verteidigung: Panzersysteme, Hitzeschilde.
Erneuerbare Energien: Solarzellen und Komponenten für photovoltaische Geräte.

Verpackung von Aluminiumoxidplatten

Unsere Aluminiumoxidplatten werden in kundenspezifischen Kartons verschiedener Größen verpackt, die sich nach den Abmessungen des Materials richten. Kleine Artikel werden sicher in PP-Kartons verpackt, während größere Artikel in maßgefertigte Holzkisten gelegt werden. Wir sorgen für die strikte Einhaltung der kundenspezifischen Verpackungsvorschriften und die Verwendung geeigneter Polstermaterialien, um einen optimalen Schutz während des Transports zu gewährleisten.

Verpackung: Flasche, Karton, Holzkiste, oder kundenspezifisch.

FAQs

Q1: Was ist eine Tonerdeplatte?

A: Eine Aluminiumoxidplatte ist ein flaches Stück aus keramischem Aluminiumoxid (Al₂O₃), das sich durch seine hohe Härte, Verschleißfestigkeit, Temperaturstabilität und elektrische Isolierung auszeichnet. Es wird in verschiedenen Hochtemperatur- und Hochbelastungsanwendungen eingesetzt.

F2: Welche Reinheitsgrade sind für Aluminiumoxidplatten erhältlich?

A: Wir bieten Al2O3-Platten mit unterschiedlichen Reinheitsgraden an. Die am häufigsten nachgefragten Reinheitsgrade sind 95%, 97%, 99% und 99,7%. Ein höherer Reinheitsgrad bietet eine bessere thermische, chemische und elektrische Leistung. Unser technisches Team kann Ihnen bei der Auswahl des optimalen Reinheitsgrades für Ihre spezifische Anwendung helfen.

F3: Können Tonerdeplatten kundenspezifisch angepasst werden?

A: Auf jeden Fall. Wir bieten kundenspezifische Formen, Größen, Dicken und Oberflächenbehandlungen auf der Grundlage von Kundenzeichnungen oder -spezifikationen. Auch Löcher, Schlitze und Fasen können auf Anfrage bearbeitet werden. Reichen Sie Ihre Zeichnungen ein, um ein schnelles und präzises Angebot zu erhalten.

Der Prototyping-Service ist auch für andere keramische Werkstoffe verfügbar

Bornitrid
Pyrolytisches Bornitrid
Siliziumkarbid (98% 99,5%)
Siliziumnitrid

Borcarbid
Zirkoniumdioxid

Spezifikation

Artikel	Einheit	Al95	Al97	Al99	Al997
AL2O3-Gehalt	Gew.-%	95	97	99	99.7
Farbe	-	Weiß	Elfenbein	Elfenbein	Elfenbein
Zugfestigkeit	Kpsi	32	30-40	38	36
Biegefestigkeit	Kpsi	52	45-50	55	54
Druckfestigkeit	Kpsi	300	~300	377	350
Dichte	^g/cm3	3.7	3.8	3.9	3.92
Härte	HV, GPa	13.8	~14	17.2	18
Wärmeleitfähigkeit	W/(m-K)	25	~25	30	30
Wärmeausdehnungskoeffizient	×10-⁶/°C	7.7	7.8	7.8	7.8
Arbeitstemperatur	°C	1500	1600	1650	1650
Dielektrizitätskonstante	-	9.5	9.6	9.7	9.8
Volumenwiderstand (25°C)	Ohm-cm	>10^14	>10^14	>10^14	>10^14

SDS

Drucken in PDF

SICHERHEITSDATENBLATT

ABSCHNITT 1. IDENTIFIZIERUNG

Produktname: Poröse Abdeckplatte aus Aluminiumoxid

CAS-NR.: 1344-28-1

Relevante identifizierte Verwendungen des Stoffes: Wissenschaftliche Forschung und Entwicklung

Angaben zum Lieferanten:

Stanford Advanced Materials

E-Mail: sales@samaterials.de

Telefonnummer: (949) 407-8904

Adresse: 23661 Birtcher Dr., Lake Forest, CA 92630 U.S.A.

ABSCHNITT 2. IDENTIFIZIERUNG DER GEFAHREN

Einstufung des Stoffes oder Gemisches

Einstufung gemäß der Verordnung (EG) Nr. 1272/2008

Der Stoff ist nicht als gesundheits- oder umweltgefährdend gemäß der CLP

Verordnung.

Einstufung gemäß der Richtlinie 67/548/EWG oder der Richtlinie 1999/45/EG

NICHT ZUTREFFEND

Angaben zu besonderen Gefahren für Mensch und Umwelt:

Keine Daten verfügbar

Nicht anderweitig eingestufte Gefahren

Keine Daten verfügbar

Kennzeichnungselemente

Kennzeichnung gemäß der Verordnung (EG) Nr. 1272/2008

K.A.

Gefährdungspiktogramme

K.A.

Signalwort

K.A.

Gefahrenhinweise

K.A.

WHMIS-Einstufung

Nicht kontrolliertKlassifizierungssystem

HMIS-Einstufungen (Skala 0-4)

(System zur Identifizierung gefährlicher Stoffe)

Gesundheit (akute Auswirkungen) = 1

Entflammbarkeit = 0

Physikalische Gefährdung = 0

Andere Gefährdungen

Ergebnisse der PBT- und vPvB-Beurteilung

PBT: N/A

vPvB: Nicht zutreffend

ABSCHNITT 3. ZUSAMMENSETZUNG/ANGABEN ZU BESTANDTEILEN

Stoffe

CAS-Nr./Stoffbezeichnung:

1344-28-1 Aluminiumoxid

Identifikationsnummer(n):

EG-Nummer: 215-691-6

ABSCHNITT 4. ERSTE-HILFE-MASSNAHMEN

Beschreibung der Erste-Hilfe-Maßnahmen

Bei Einatmung:

Patient mit Frischluft versorgen. Bei Atemstillstand künstliche Beatmung durchführen. Patient warm halten.

Sofort ärztlichen Rat einholen.

Bei Hautkontakt:

Sofort mit Wasser und Seife abwaschen und gut nachspülen.

Sofort ärztlichen Rat einholen.

Bei Augenkontakt:

Augen bei geöffnetem Lidspalt mehrere Minuten unter fließendem Wasser spülen. Einen Arzt aufsuchen.

Bei Verschlucken:

Ärztliche Hilfe in Anspruch nehmen.

Hinweise für den Arzt

Wichtigste Symptome und Wirkungen, sowohl akut als auch verzögert

Keine Daten verfügbar

Hinweise auf ärztliche Soforthilfe oder Spezialbehandlung

Keine Daten verfügbar

ABSCHNITT 5. MASSNAHMEN ZUR BRANDBEKÄMPFUNG

Löschmittel

Geeignete Löschmittel

Das Produkt ist nicht brennbar. Für die Brandbekämpfung sind dem Brand entsprechende Maßnahmen zu treffen.

Besondere Gefährdung durch den Stoff oder das Gemisch

Wenn dieses Produkt in einen Brand gerät, kann Folgendes freigesetzt werden:

Metalloxid-Rauch

Hinweise für die Brandbekämpfung

Schutzausrüstung:

Umluftunabhängiges Atemschutzgerät tragen, undurchlässigen Vollschutzanzug tragen.

ABSCHNITT 6. MASSNAHMEN BEI UNBEABSICHTIGTER FREISETZUNG

Personenbezogene Vorsichtsmaßnahmen, Schutzausrüstungen und in Notfällen anzuwendende Verfahren

Persönliche Schutzausrüstung verwenden. Ungeschützte Personen fernhalten.

Für ausreichende Belüftung sorgen.

Vorsichtsmaßnahmen für die Umwelt:

Das Produkt darf nicht in die Kanalisation oder in andere Gewässer gelangen.

Material nicht in den Boden eindringen lassen.

Methoden und Materialien zur Eindämmung und Reinigung:

Mechanisch aufnehmen.

Vermeidung von Sekundärgefahren:

Keine besonderen Maßnahmen erforderlich.

Verweis auf andere Abschnitte

Siehe Abschnitt 7 für Informationen zur sicheren Handhabung

Hinweise zur persönlichen Schutzausrüstung siehe Abschnitt 8.

Informationen zur Entsorgung siehe Abschnitt 13.

ABSCHNITT 7. HANDHABUNG UND LAGERUNG

Handhabung

Vorsichtsmaßnahmen für die sichere Handhabung

Behälter dicht verschlossen halten.

An einem kühlen, trockenen Ort in dicht verschlossenen Behältern lagern.

Hinweise zum Schutz vor Explosionen und Bränden:

Das Produkt ist nicht brennbar.

Bedingungen für die sichere Lagerung, einschließlich etwaiger Unverträglichkeiten

Anforderungen an Lagerräume und Gefäße:

Keine besonderen Anforderungen.

Hinweise zur Lagerung in einem gemeinsamen Lager:

Nicht zusammen mit Säuren lagern.

Getrennt von starken Basen lagern.

Getrennt von Oxidationsmitteln lagern.

Getrennt von Halogenen lagern.

Getrennt von Halogenkohlenwasserstoffen lagern.

Weitere Angaben zu den Lagerbedingungen:

Behälter dicht verschlossen halten.

In gut verschlossenen Behältern kühl und trocken lagern.

Spezifische Endverwendung(en)

Keine Daten verfügbar

ABSCHNITT 8. BEGRENZUNG UND ÜBERWACHUNG DER EXPOSITION/PERSÖNLICHE SCHUTZAUSRÜSTUNG

Zusätzliche Informationen über die Gestaltung der technischen Systeme:

Ordnungsgemäß arbeitender Chemiedunstabzug, der für gefährliche Chemikalien ausgelegt ist und eine durchschnittliche

Anströmgeschwindigkeit von mindestens 100 Fuß pro Minute.

Kontrollparameter

Bestandteile mit Grenzwerten, die eine Überwachung am Arbeitsplatz erfordern:

1344-28-1 Aluminiumoxid (100,0%)PEL (USA) Langzeitwert: 15*; 15** mg/m

*Gesamtstaub; **Lungengängige Fraktion

REL (USA) Langfristiger Wert: 10* 5** mg/m

*Gesamtstaub **Lungengängige Fraktion

TLV (USA) Langfristiger Wert: 1* mg/m

als Al; *als lungengängige Fraktion

EL (Kanada) Langfristiger Wert: 10 mg/m

EV (Kanada) Langfristiger Wert: 10 mg/m

Gesamtstaub

Zusätzliche Informationen: Keine Daten

Begrenzung und Überwachung der Exposition

Persönliche Schutzausrüstung

Die für den Umgang mit Chemikalien üblichen Schutz- und Hygienemaßnahmen beachten.

Von Nahrungsmitteln, Getränken und Futtermitteln fernhalten.

Verschmutzte und kontaminierte Kleidung sofort ausziehen.

Vor den Pausen und bei Arbeitsende Hände waschen.

Auf eine ergonomisch angemessene Arbeitsumgebung achten.

Atemschutzgeräte:

Bei hohen Konzentrationen geeignetes Atemschutzgerät verwenden.

Empfohlenes Filtergerät für kurzzeitigen Einsatz:

Verwenden Sie ein Atemschutzgerät mit N95- (USA) oder PE- (EN 143) Filterpatronen als Ergänzung zu den technischen Kontrollen.

Es sollte eine Risikobewertung durchgeführt werden, um festzustellen, ob luftreinigende Atemschutzmasken geeignet sind. Nur

nur Geräte verwenden, die nach den entsprechenden staatlichen Normen geprüft und zugelassen sind.

Schutz der Hände: Undurchlässige Handschuhe

Prüfen Sie die Handschuhe vor dem Gebrauch.

Die Eignung von Handschuhen sollte sowohl durch das Material als auch durch die Qualität bestimmt werden, wobei letztere je nach Hersteller variieren kann.

Hersteller.

Material der Handschuhe

Nitrilkautschuk, NBR

Durchdringungszeit des Handschuhmaterials (in Minuten)

480

Dicke des Handschuhs

0,11 mm

Schutz der Augen: Schutzbrille

Körperschutz: Arbeitsschutzkleidung.

ABSCHNITT 9. PHYSIKALISCHE UND CHEMISCHE EIGENSCHAFTEN

Angaben zu den grundlegenden physikalischen und chemischen Eigenschaften

Erscheinungsbild:

Form: Pulver oder Feststoff in verschiedenen Formen

Farbe: Weiß

Geruch: Geruchlos

Geruchsschwelle: Keine Daten verfügbar.

pH-Wert: N/A

Schmelzpunkt/Schmelzbereich: 2045 °C (3713 °F)

Siedepunkt/Siedebereich: 2980 °C (5396 °F)

Sublimationstemperatur/Beginn: Keine Daten verfügbar

Entflammbarkeit (fest, gasförmig): Keine Daten verfügbar.

Entzündungstemperatur: Keine Daten verfügbar

Zersetzungstemperatur: Keine Daten verfügbar

Selbstentzündung: Es liegen keine Daten vor.

Explosionsgefahr: Keine Daten verfügbar.Explosionsgrenzen:

Untere: Keine Daten verfügbar

Obere: Keine Daten verfügbar

Dampfdruck bei 2158 °C (3916 °F): 1,33 hPa (1 mm Hg)

Dichte bei 20 °C (68 °F): 3,965 g/cm

(33.088 lbs/gal)

Relative Dichte: Keine Daten verfügbar.

Dampfdichte: N/A

Verdampfungsrate: N/A

Löslichkeit in Wasser (H

O): Unlöslich

Verteilungskoeffizient (n-Octanol/Wasser): Keine Daten verfügbar.

Viskosität:

Dynamisch: N/A

Kinematisch: N/A

Sonstige Angaben

Keine Daten verfügbar

ABSCHNITT 10. STABILITÄT UND REAKTIVITÄT

Reaktivität

Keine Daten verfügbar

Chemische Stabilität

Stabil unter den empfohlenen Lagerungsbedingungen.

Thermische Zersetzung / zu vermeidende Bedingungen:

Bei bestimmungsgemäßer Verwendung und Lagerung treten keine Zersetzungserscheinungen auf.

Möglichkeit von gefährlichen Reaktionen

Reagiert mit starken Oxidationsmitteln

Zu vermeidende Bedingungen

Keine Daten verfügbar

Unverträgliche Materialien:

Säuren

Basen

Oxidationsmittel

Halogene

Halokohlenwasserstoffe

Gefährliche Zersetzungsprodukte:

Metalloxiddämpfe

ABSCHNITT 11. TOXIKOLOGISCHE ANGABEN

Angaben zu toxikologischen Wirkungen

Akute Toxizität:

Das Register der toxischen Wirkungen chemischer Stoffe (RTECS) enthält Daten zur akuten Toxizität für diesen

Stoff.

LD/LC50-Werte, die für die Einstufung relevant sind: Keine Daten

Hautreizung oder Ätzwirkung: Kann Reizungen verursachen

Augenreizung oder -verätzung: Kann Reizungen hervorrufen

Sensibilisierung: Keine sensibilisierenden Wirkungen bekannt.

Keimzell-Mutagenität: Keine Wirkungen bekannt.

Karzinogenität:

ACGIH A4: Nicht als krebserzeugend für den Menschen einzustufen: Unzureichende Daten für eine Einstufung des Stoffes hinsichtlich seiner Karzinogenität bei Mensch und/oder Tier.

Das Register der toxischen Wirkungen chemischer Stoffe (RTECS) enthält tumorigene und/oder kanzerogene und/oder neoplastische Daten.

krebserregende und/oder neoplastische Daten für diesen Stoff.

Reproduktionstoxizität: Keine Auswirkungen bekannt.

Spezifische Zielorgan-Toxizität - wiederholte Exposition: Keine Wirkungen bekannt.

Spezifische Zielorgan-Toxizität - einmalige Exposition: Keine Wirkungen bekannt.

Aspirationsgefahr: Keine Wirkungen bekannt.

Subakute bis chronische Toxizität:

Das Register der toxischen Wirkungen chemischer Stoffe (RTECS) enthält Daten zur Toxizität bei Mehrfachdosierung für

diesen Stoff.

Zusätzliche toxikologische Informationen:

Nach unserem besten Wissen ist die akute und chronische Toxizität dieses Stoffes nicht vollständig bekannt.

Krebserregende Kategorien

OSHA-Ca (Behörde für Arbeitssicherheit und Gesundheitsschutz)

Die Substanz ist nicht aufgelistet.

ABSCHNITT 12. ÖKOLOGISCHE INFORMATIONEN

Toxizität

Aquatische Toxizität:

Keine Daten verfügbar

Persistenz und Abbaubarkeit

Keine Daten verfügbar

Bioakkumulationspotenzial

Keine Daten verfügbar

Mobilität im Boden

Keine Daten verfügbar

Zusätzliche ökologische Informationen:

Ein Eintrag in die Umwelt ist zu vermeiden.

Ergebnisse der PBT- und vPvB-Beurteilung

PBT: N/A

vPvB: Nicht zutreffend

Andere schädliche Wirkungen

Keine Daten verfügbar

ABSCHNITT 13. ÜBERLEGUNGEN ZUR ENTSORGUNG

Methoden der Abfallbehandlung

Empfehlung

Für die ordnungsgemäße Entsorgung behördliche Vorschriften beachten.

Ungereinigte Verpackungen:

Empfehlung:

Die Entsorgung hat nach den behördlichen Vorschriften zu erfolgen.

ABSCHNITT 14. TRANSPORTINFORMATIONEN

UN-Nummer

PUNKT, ADN, IMDG, IATA

NICHT ZUTREFFEND

Ordnungsgemäße UN-Versandbezeichnung

PUNKT, ADN, IMDG, IATAN/A

Transportgefahrenklasse(n)

PUNKT, ADR, ADN, IMDG, IATA

Klasse

K.A.

Verpackungsgruppe

PUNKT, IMDG, IATA

K.A.

Umweltgefahren:

N/A

Besondere Vorsichtsmaßnahmen für den Benutzer

NICHT ZUTREFFEND

Beförderung in loser Schüttung gemäß Anhang II des MARPOL-Übereinkommens 73/78 und dem IBC-Code

K.A.

Transport/Ergänzende Informationen:

DOT

Meeresschadstoff (DOT):

Nein

ABSCHNITT 15. INFORMATIONEN ZU RECHTSVORSCHRIFTEN

Für den Stoff oder das Gemisch spezifische Sicherheits-, Gesundheits- und Umweltvorschriften/Rechtsvorschriften

Nationale Vorschriften

Alle Bestandteile dieses Produkts sind im Verzeichnis der chemischen Stoffe des U.S. Environmental Protection Agency Toxic

Substances Control Act Chemical Substance Inventory aufgeführt.

Alle Bestandteile dieses Produkts sind in der kanadischen Domestic Substances List (DSL) aufgeführt.

SARA Abschnitt 313 (spezifische Auflistung giftiger Chemikalien)

1344-28-1 Aluminiumoxid

Kalifornien Proposition 65

Prop 65 - Chemikalien, die bekanntermaßen Krebs verursachen können

Die Substanz ist nicht aufgelistet.

Prop 65 - Entwicklungstoxizität

Die Substanz ist nicht aufgelistet.

Prop 65 - Entwicklungstoxizität, weiblich

Die Substanz ist nicht aufgelistet.

Prop 65 - Entwicklungstoxizität, männlich

Die Substanz ist nicht aufgelistet.

Informationen über Verwendungsbeschränkungen:

Nur für den Gebrauch durch technisch qualifizierte Personen.

Sonstige Vorschriften, Beschränkungen und Verbotsvorschriften

Besonders besorgniserregender Stoff (SVHC) gemäß der REACH-Verordnung (EG) Nr. 1907/2006.

Die Substanz ist nicht aufgelistet.

Die Bedingungen der Beschränkungen gemäß Artikel 67 und Anhang XVII der Verordnung (EG) Nr.

1907/2006 (REACH) für die Herstellung, das Inverkehrbringen und die Verwendung sind zu beachten.

Der Stoff ist nicht aufgelistet.

Anhang XIV der REACH-Verordnung (zulassungspflichtige Verwendung)

Der Stoff ist nicht aufgelistet.

REACH - Vorregistrierte Stoffe

Der Stoff ist aufgelistet.

Stoffsicherheitsbeurteilung:

Eine Stoffsicherheitsbeurteilung ist nicht durchgeführt worden.

ABSCHNITT 16. SONSTIGE INFORMATIONEN

Sicherheitsdatenblatt gemäß der Verordnung (EG) Nr. 1907/2006 (REACH). Die obigen Informationen sind

Die vorstehenden Angaben werden als richtig angesehen, erheben jedoch keinen Anspruch auf Vollständigkeit und sind nur als Anhaltspunkte zu verstehen. Die

Die Informationen in diesem Dokument beruhen auf dem gegenwärtigen Stand unseres Wissens und gelten für das

Produkt unter Berücksichtigung der entsprechenden Sicherheitsvorkehrungen. Sie stellen keine Zusicherung von Eigenschaften

Eigenschaften des Produkts dar.

Fall

Aluminiumoxidplatte für die Hochtemperatur-Waferbearbeitung

Die Herausforderung:

Ein Hersteller von Halbleiterausrüstung benötigte ein Bauteil für eine Hochtemperatur-Waferbearbeitungsstation. Das Bauteil musste eine perfekt flache, stabile Oberfläche bieten, um Siliziumwafer bei Temperaturen von über 1400°C zu halten, und gleichzeitig als elektrischer Isolator fungieren, um Schäden an den Schaltkreisen zu verhindern. Die vorhandenen Materialien verzogen sich oder fielen elektrisch aus, was zu einer Verunreinigung der Wafer und zu Ertragseinbußen führte. Also bat man SAM um ein alternatives Material.

Die Lösung:

Wie empfohlen, wechselte das Unternehmen zu einer kundenspezifisch bearbeiteten 99,7%igen Aluminiumoxid (Al₂O₃) Platte. Der Grund dafür ist, dass dieses Material die folgenden Eigenschaften aufweist:

Hochtemperaturstabilität: Die Aluminiumoxidplatte hat eine maximale Betriebstemperatur von 1650°C. Sie bleibt formstabil, ohne sich zu verziehen.
Ausgezeichnete elektrische Isolierung: Die Platte hat einen hohen Volumenwiderstand (>10¹⁴ Ohm-cm). Dies verhindert Leckströme und schützt die empfindlichen Wafer.
Hervorragende Ebenheit und Härte: Die Platte kann präzise geschliffen werden, um eine ultraflache Oberfläche zu erhalten, die eine gleichmäßige Erwärmung der Wafer gewährleistet und Kratzern bei automatischer Handhabung widersteht.

Ergebnis:

Die Aluminiumoxidplatte bot eine zuverlässige, inerte Plattform und verbesserte die Waferausbeute und Prozesskonsistenz erheblich. Ihre Langlebigkeit führte auch zu einer Verringerung der ungeplanten Ausfallzeiten und der Kosten für Ersatzteile. Das Ergebnis ist eine hohe Kapitalrendite und eine Verbesserung der Leistung des gesamten Verarbeitungssystems für das Unternehmen des Kunden.