ST6582 Vanadium-Tantal-Wolfram-Target (VTaW-Target)

Vanadium-Tantal-Wolfram-Target (VTaW-Target) Beschreibung

DasVanadium-Tantal-Wolfram-Target (VTaW-Target) ist ein hochleistungsfähiges Sputtermaterial aus einer feuerfesten Legierung, das sich durch seine ausgezeichnete thermische Stabilität, seinen hohen Schmelzpunkt und seine außergewöhnliche mechanische Festigkeit auszeichnet. Dieses Target besteht aus Vanadium, Tantal und Wolfram und kombiniert die Duktilität und Korrosionsbeständigkeit von Vanadium, die chemische Inertheit und Hochtemperaturbeständigkeit von Tantal und die extreme Härte und Dichte von Wolfram. Die daraus resultierende Legierung weist ein feinkörniges, homogenes Gefüge auf, das ein stabiles Sputterverhalten und eine gleichmäßige Schichtabscheidung gewährleistet. Der niedrige Dampfdruck bei hohen Temperaturen ermöglicht einen zuverlässigen Betrieb in Hochleistungs-Sputtersystemen, während die ausgezeichnete Beständigkeit gegen Oxidation und aggressive Umgebungen den Einsatz unter rauen Verarbeitungsbedingungen ermöglicht. Die maßgeschneiderte Zusammensetzung des Materials ermöglicht eine kontrollierte thermische Ausdehnung und eine minimale strukturelle Verschlechterung bei thermischen Wechselbelastungen, was zu einer gleichbleibenden Langlebigkeit des Targets und einer gleichbleibenden Schichtqualität bei längeren Abscheidungsläufen beiträgt.

Vanadium-Tantal-Wolfram-Target (VTaW-Target) Spezifikation

Eigenschaften

*Dieobigen Produktinformationen beruhen auf theoretischen Daten. Für spezifische Anforderungen und detaillierte Anfragen, kontaktieren Sie uns bitte.

Größe: Kundenspezifisch

Vanadium-Tantal-Wolfram-Target (VTaW-Target) Anwendungen

• Halbleiterbauelemente: Verwendung in Diffusionssperr- und Elektrodenschichten, da sie hohen Temperaturen standhalten und eine Kontamination zwischen den Schichten verhindern.
• Mikroelektromechanische Systeme (MEMS): Anwendung in der MEMS-Fertigung, wo dünne Schichten Haltbarkeit, Hitzebeständigkeit und präzise Abscheidungseigenschaften erfordern.
• Harte Beschichtungen und Schutzschichten: Ideal für die Herstellung von extrem haltbaren Beschichtungen auf Schneidwerkzeugen, Komponenten für die Luft- und Raumfahrt und Industriemaschinen, aufgrund ihrer Verschleißfestigkeit und Zähigkeit.
• Luft- und Raumfahrt und Verteidigungstechnologien: Für Wärmedämmschichten und hoch beanspruchte Komponenten in Motoren und Antriebssystemen, bei denen die Temperaturwechselbeständigkeit entscheidend ist.
• Energie- und Leistungsgeräte: Wird in dünnen Schichten für fortschrittliche Batterien, Brennstoffzellen und Nuklearmaterialien verwendet, die von ihrer Stabilität in korrosiven oder stark strahlenden Umgebungen profitieren.

Vanadium-Tantal-Wolfram-Target (VTaW-Target) Verpackung

Unsere Produkte werden in maßgeschneiderten Kartons verschiedener Größen verpackt, die sich nach den Abmessungen des Materials richten. Kleine Artikel werden sicher in PP-Kartons verpackt, während größere Artikel in maßgefertigte Holzkisten gelegt werden. Wir achten auf die strikte Einhaltung der Verpackungsanpassung und die Verwendung geeigneter Polstermaterialien, um einen optimalen Schutz während des Transports zu gewährleisten.

Verpackung: Karton, Holzkiste, oder kundenspezifisch.

Herstellungsprozess

1. Kurzer Ablauf des Herstellungsprozesses

2. Prüfverfahren

1. Analyse der chemischen Zusammensetzung - Verifiziert mit Techniken wie GDMS oder XRF, um die Einhaltung der Reinheitsanforderungen zu gewährleisten.
2. Prüfung der mechanischen Eigenschaften - Umfasst Tests der Zugfestigkeit, Streckgrenze und Dehnung zur Bewertung der Materialleistung.
3. Maßprüfung - Misst Dicke, Breite und Länge, um die Einhaltung der vorgegebenen Toleranzen zu gewährleisten.
4. Prüfung der Oberflächenqualität - Überprüfung auf Defekte wie Kratzer, Risse oder Einschlüsse durch Sicht- und Ultraschallprüfung.
5. Härteprüfung - Bestimmt die Materialhärte zur Bestätigung der Gleichmäßigkeit und mechanischen Zuverlässigkeit.

Häufig gestellte Fragen zu Vanadium-Tantal-Wolfram-Targets (VTaW-Targets)

Q1: Wie hoch ist der Reinheitsgrad des Targetmaterials?

A1: Die von Stanford Advanced Materials angebotenen Standard-VTaW-Targets haben einen Reinheitsgrad von ≥99,9 %, wodurch eine hohe Schichtqualität und Sputterkonsistenz gewährleistet wird.

Q2: Welche Formen und Größen sind erhältlich?

A2: VTaW-Targets sind in planarer und rotierender Form erhältlich, mit anpassbaren Durchmessern, Dicken und Trägerplattenkonfigurationen für eine Vielzahl von Sputtersystemen.

F3: Ist dieses Target sowohl mit DC- als auch mit RF-Sputteranlagen kompatibel?

A3: Ja, die VTaW-Targets sind sowohl mit DC- als auch mit RF-Sputtersystemen kompatibel, je nach Konfiguration und gewünschten Schichteigenschaften.

Leistungsvergleichstabelle mit Konkurrenzprodukten

VTaW-Target vs. Tantal-Target vs. Wolfram-Target

Verwandte Informationen

1. Rohstoffe - Vanadium (V)

Vanadium ist ein Übergangsmetall mit der Ordnungszahl 23, das für sein hervorragendes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht, seine Korrosionsbeständigkeit und seine Fähigkeit zur Bildung stabiler Verbindungen mit verschiedenen anderen Elementen bekannt ist. Es hat einen Schmelzpunkt von 1910 °C und wird häufig zur Verbesserung der Zähigkeit und Ermüdungsbeständigkeit von Legierungen verwendet. Die Fähigkeit von Vanadium, dünne, stabile Oxidschichten zu bilden, macht es für Hochtemperaturen und chemisch aggressive Umgebungen nützlich. Sein geringes Gewicht in Verbindung mit guter mechanischer Stabilität macht es zu einem idealen Bestandteil von Hochleistungslegierungssystemen.

2. Rohstoffe - Tantal (Ta)

Tantal ist ein dichtes, korrosionsbeständiges Refraktärmetall mit der Ordnungszahl 73 und einem sehr hohen Schmelzpunkt von 3017°C. Es ist chemisch inert, insbesondere gegenüber Säuren, und bildet eine schützende Oxidschicht, die zu seiner außergewöhnlichen Korrosionsbeständigkeit beiträgt. Tantal ist äußerst dehnbar, biokompatibel und behält seine Festigkeit auch bei hohen Temperaturen bei, was es für Anwendungen in der Elektronik, Luft- und Raumfahrt sowie in der Medizin wertvoll macht. Seine ausgezeichneten Kapazitätseigenschaften machen es außerdem zu einem wichtigen Werkstoff für die Herstellung von Kondensatoren.

3. Rohstoffe - Wolfram (W)

Wolfram, mit der Ordnungszahl 74, ist eines der schwersten und hitzebeständigsten Metalle und hat mit 3422 °C den höchsten Schmelzpunkt aller Elemente. Es weist eine hervorragende Härte, eine hohe Dichte (19,3 g/cm³) und eine bemerkenswerte Beständigkeit gegen thermische und mechanische Ermüdung auf. Wolfram wird häufig in Anwendungen eingesetzt, die eine extreme Haltbarkeit erfordern, wie z. B. Schneidwerkzeuge, Hochtemperaturöfen und Sputtertargets. Aufgrund seiner hervorragenden strukturellen Stabilität trägt es auch zur Strahlenabschirmung und zu verschleißfesten Beschichtungen bei.