1700C Dreizonen-Aluminiumoxid-Rohrofen GSL-1700X-III-F3LV Beschreibung
1700C Dreizonen-Aluminiumoxid-Rohrofen GSL-1700X-III-F3LV ist ein Dreizonen-Rohrofen mit einem Aluminiumoxidrohr von 60 mm Durchmesser, einer mechanischen Vakuumpumpe und einem Dreikanal-Gasfluss-System. Er kann Proben auf Temperaturen bis zu 1700°C erhitzen und ein Vakuum von bis zu 5x10^-2 Torr erreichen. Das Ofensystem ermöglicht das präzise Mischen von 1-3 Gasarten, was für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder Diffusionsprozesse unerlässlich ist. Darüber hinaus verfügt das System über ein korrosionsbeständiges Pirani-Kapazitätsmembranmanometer für genaue Vakuummessungen, selbst bei aggressiven Gasen.
1700C Dreizonen-Aluminiumoxid-Rohrofen GSL-1700X-III-F3LV Spezifikationen
Aufbau des Ofens
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- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: Zwei interne Kühlgebläse halten die Außentemperatur des Gehäuses unter 55°C, was die Zuverlässigkeit erhöht.
- Hochreine faserige Aluminiumoxid-Isolierung: Maximiert die Energieeffizienz durch Minimierung der Wärmeverluste während des Betriebs.
- Drei unabhängige Heizzonen: Gesteuert von drei Präzisions-Temperaturreglern, die eine präzise und gleichmäßige Beheizung der verschiedenen Zonen ermöglichen.
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Leistung
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10 KW, AC 208-240V einphasig, 50/60 Hz
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Heizzone
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Drei Zonen: insgesamt 630 mm (25") Heizzone (einschließlich zweier feuerfester Trennwände)
- Zone 1: 7,5" (190 mm) beheizt durch 4 Stück U-Typ SiC
Arbeitstemperatur 800 - 1400°C
Aufheizrate: 10°C/min
- Zone 2: 10" (250 mm) beheizt durch 6 Stück U-Typ MoSi2
Arbeitstemperatur 800 - 1700°C
Max. Heizrate: 5°C/min
- Zone 3: 7,5" (190 mm) beheizt durch 4 Stück U-Typ SiC
Arbeitstemperatur 800 - 1400°C
Max. Heizrate: 10°C/min
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Rohrgröße und Flansch
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- 99,8% Reinheit Aluminiumoxidrohr
- 2-3/8" (60mm) Außendurchmesser x 2-1/8 "Innendurchmesser (54mm) x 48" (1200mm) Länge
- 60-mm-Edelstahl-Vakuumverschlussflansch mit Ventil und Messgerät im Lieferumfang enthalten
- Zwei poröse Keramikblöcke zum Schutz des Flansches vor Wärmestrahlung sind im Lieferumfang enthalten
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Temp. Steuerung
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- Drei Präzisions-Temperaturregler zur separaten Steuerung von drei Zonen.
- Automatische PID-Regelung über SCR (Silicon Controlled Rectifier) Leistungsregelung mit Phasenanschnittsteuerung, Strombegrenzungswiderstand.
- 30 programmierbare Segmente zur präzisen Steuerung von Heizrate, Kühlrate und Verweilzeit.
- Eingebauter Schutz gegen Überhitzung und defekte Thermoelemente.
- Übertemperaturschutz und -alarm ermöglichen den Betrieb ohne Aufsichtsperson(en).
- Temperaturgenauigkeit +/- 1 ºC.
- RS485 Kommunikationsanschluss.
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Vakuum-Messgerät
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- Korrosionsbeständiges Kapazitätsmembranmanometer mit keramikbeschichtetem Sensorkopf, speziell für Vakuummessungen bei Vorhandensein von korrosiven Gasen entwickelt.
- Das Messgerät wird auf dem Vakuumflansch (rechte Seite) des Rohrofens installiert und bietet einen großen Messbereich (10^-5 ~ 1000 Torr).
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Abmessungen
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550 x 380 x 520 mm
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Vakuumpumpe
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Hochleistungs-Drehschieber-Vakuumpumpe (7,8 CFM -240 L/m) mit zweistufigem Abluftsystem, die im Inneren der Vakuumstation installiert ist. Das Vakuumsystem kann innerhalb von 30 Minuten 5x10-2 Torr erreichen.
Für den Anschluss an die Vakuumpumpe ist am Flansch ein KFD25-Adapter installiert.
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Dreikanal-Gasmischsystem und -Zufuhrsystem
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- Im Inneren des mobilen Gehäuses sind drei Gasdurchflussmesser (4 % Genauigkeit FS) installiert, die die Gasdurchflussrate überwachen können (insgesamt drei verschiedene Gasarten)
1) Kompakter, direkt ablesbarer Durchflussmesser, 10-100 cc/min.
2) Kompakter Durchflussmesser mit direkter Ablesung, 16-160 cm³/min.
3) Kompakter Durchflussmesser mit Direktablesung, 25-250 cm³/min.
- Ein Druckmesser ist in einem mobilen Wagen installiert, der den Druck des Mischtanks überwachen kann.
- 4 Nadelventile aus rostfreiem Stahl sind auf dem mobilen Wagen installiert.
- Zwei gasführende Leitungen sind für den sofortigen Einsatz vorgesehen (eine Leitung für zwei gemischte Gase und eine für ein unabhängiges Gas)
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Stromkabel und Stecker
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- 10 Fuß langes 8-3 AWG Hochleistungskabel mit UL-Zulassung ist im Lieferumfang enthalten
- Der Stecker ist nicht im Lieferumfang enthalten, Sie können ihn bei Ihrem örtlichen Baumarkt entsprechend der Steckerbuchse in Ihrem Labor bestellen
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Abmessungen
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Ofen: 863 L x 457 B x 711 H mm (34 L x 18 B x 28 H Zoll)
Gaswagen: 850 mm (L) x 600 mm (B) x 700 mm (H)
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Nettogewicht
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150Kg (Ofen) + 100Kg (insgesamt 550lb)
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Versandgewicht
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800 Pfund
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Versand-Abmessungen
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Zwei Kisten auf einer Palette: 45x45x35/Kiste
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Garantie
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Eingeschränkte Herstellergarantie von einem Jahr (Verschleißteile wie Verarbeitungsschläuche, O-Ringe und Heizelemente sind von der Garantie ausgeschlossen; bitte bestellen Sie Ersatz bei den entsprechenden Produkten unten).
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Konformität
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CE-zertifiziert
UL / MET / CSA-Zertifizierung ist auf Anfrage erhältlich, zusätzliche Gebühren werden erhoben
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Warnungen
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- Die Rohröfen mit Aluminiumoxidrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,2 Bar/ 3 PSI ausgelegt.
- Verwenden Sie niemals einen Graphit-Tiegel in einem Aluminiumoxid-Rohr.
- Achtung! Ein zweistufiger Druckregler muss an der Gasflasche installiert sein, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen, damit ein sicherer Betrieb gewährleistet ist.
- Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM (oder 200ml/min) begrenzt werden.
- Definition der Vakuumgrenze für alle Aluminiumoxidrohröfen: * Der Vakuumdruck kann nur bis zu 1500°C sicher verwendet werden.
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1700C Dreizonen-Aluminiumoxid-Rohrofen GSL-1700X-III-F3LV Anwendungen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):
Ermöglicht die Abscheidung von dünnen Schichten und Beschichtungen auf Substraten mit kontrollierten Gasatmosphären.
Wird bei der Herstellung von Halbleitern, Oberflächenbeschichtungen und der Synthese von Nanomaterialien verwendet.
Ermöglicht die kontrollierte Bewegung von Atomen oder Molekülen in festen Materialien.
Wesentlich für die Dotierung von Halbleitermaterialien und die Verbesserung der Materialeigenschaften.
- Hochtemperaturglühen und -sintern:
Ideal für Glühprozesse zur Verbesserung der Kristallinität von Materialien und zur Beseitigung von Defekten.
Unterstützt das Sintern von Keramiken und Metallen zur Verdichtung und Verbesserung der mechanischen Eigenschaften.
- Forschung und Entwicklung:
Bietet eine kontrollierte Umgebung für die Untersuchung von Materialverhalten und -eigenschaften bei hohen Temperaturen.
Unverzichtbar für die Erforschung neuer Materialien und Verfahren in Forschungslabors.
1700C Dreizonen-Aluminiumoxid-Rohrofen GSL-1700X-III-F3LV Verpackung
Unser 1700C Drei-Zonen-Aluminiumoxid-Rohrofen GSL-1700X-III-F3LV wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.