1700C Rohrofen mit Hochvakuumsystem und MFC-Gasmischer GSL-1700X-4-HVC-LD Beschreibung
Der 1700C Rohrofen mit Hochvakuumsystem und MFC-Gasmischer GSL-1700X-4-HVC-LD ist ein Einzonen-Aluminiumoxid-Rohrofen mit einem Durchmesser von 60 mm, der mit einem Hochvakuum-Pumpsystem ausgestattet ist, das bis zu 10^-5 Torr erreicht. Er ist mit digitalen 2-Kanal-Präzisionsmassenflussreglern ausgestattet, die eine präzise Steuerung von zwei Gasarten für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder Diffusionsprozesse ermöglichen. Dieser Ofen kann bei Temperaturen von bis zu 1600°C betrieben werden und eignet sich daher für Hochtemperaturanwendungen, die eine kontrollierte Atmosphäre und ein präzises Gasmanagement erfordern.
1700C Rohrofen mit Hochvakuumsystem und MFC-Gasmischer GSL-1700X-4-HVC-LD Spezifikationen
Rohrofender Serie GSL-1700X
|
Aufbau des Ofens
|
- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: Bietet eine robuste Isolierung und strukturelle Integrität und gewährleistet einen sicheren Betrieb.
- Zwei Kühlgebläse: Hält die Gehäusetemperatur unter 55°C und erhöht die Zuverlässigkeit und Langlebigkeit.
- Hochreine Tonerde-Feuerfestkammer: Sorgt für thermische Stabilität und Widerstandsfähigkeit gegen hohe Temperaturen, ideal für anspruchsvolle Anwendungen.
- Mobiler Wagen mit vier Rädern: Erleichtert die Mobilität und Positionierung innerhalb des Arbeitsbereichs und erhöht die Flexibilität.
- Gebrauchsfertiges Vakuum- und Gasmischsystem: Beinhaltet Vakuumflansch, Manometer, Ventile, Rohre und eine Hochvakuumpumpe für die sofortige Einrichtung und den Betrieb und gewährleistet so Komfort und Effizienz.
|
|
Verarbeitungsrohr
|
Werkstoff: Hochreines Aluminiumoxid
Ein Aluminiumoxidrohr mit 60 mm Außendurchmesser (EQ-TA-60D-M1000) ist im Lieferumfang des Ofens enthalten.
Der Ofen kann gegen Aufpreis auch mit einem 50mm oder 80mm O.D. Aluminiumoxidrohr ausgestattet werden. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
|
|
Heizelemente
|
8 Stück MoSi2-Heizelemente für 1800°C
|
|
Leistung
|
AC 208-240V Einphasig, 50/60Hz
6KW
|
|
Arbeitstemp.
|
- Max. Temperatur: 1650℃ (1 Std.); 1600℃ (kontinuierlich)
- Aufheizgeschwindigkeit: ≤5℃/min
- Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃
|
|
Länge derHeizzone
|
Länge der Heizzone: 457 mm (18")
Länge der Zone mit konstanter Temperatur: 150 mm (6") (+/-1°C)
|
|
Temp. Steuerung
|
- Automatische PID-Regelung über strombegrenzenden Phasenwinkel, der den Widerstand mit 30 programmierbaren Segmenten schaltet.
- Temperaturgenauigkeit: ±1°C
- Thermoelement: Typ B im Ofen eingebaut
- RS485 Kommunikationsanschluss.
|
|
Vakuum-Dichtung
|
Ein Paar Vakuumflansche aus rostfreiem Stahl mit:
- einem mechanischen Vakuummeter
- zwei Nadelventilen
- einem KF-25-Anschluss und einem KF-25-zu-KF-40-Adapter für die Hochvakuumstation.
- einem 1/4" Swagelok-Schlauchanschluss
|
|
Abmessungen
|
550 x 380 x 520 mm
|
Hochvakuum-Station
|
Leistung
|
100~110W
|
|
Nennspannung
|
AC 208-240V einphasig, 50/60Hz
|
|
Abmessungen
|
600(L) x 600(B) x 700(H), mm
|
|
Aufbau
|
Größe des mobilen Wagens: 600 (L) x 600 (B) x 700(H), mm
Max. Belastung: 600 Lbs auf der Oberseite
Bedienfeld der Molekularpumpe: LCD digital
Innen: Vakuumpumpe
|
|
Bedienfeld
|
Ein-Knopf-Bedienung - die Membranpumpe und die Turbopumpe werden nach Drücken der "Start"-Taste gestartet.
Systemgesteuerte Drehzahl - der Controller steuert die Drehzahl der Turbine nach oben und unten, je nach Vakuumgrad und Leckrate der Reaktionskammer.
Selbstschutz - das System schützt die Pumpe vor Schäden durch Überhitzung und Überstrom, wenn die Leckrate der Reaktionskammer zu hoch ist, um ein hohes Vakuum zu erreichen.
LCD-Bildschirm - die zweizeilige Parameterüberprüfungsschnittstelle erleichtert die Handhabung der Anlage.
|
|
Volumenstrom
|
Stickstoff N2 33 L/s
Helium He 39 L/s (2340L/Minute)
Wasserstoff H2 32 L/s
|
|
Arbeitsbereich
|
Von 1000 mbar bis <1E-7 mbar
|
|
Enddruck
|
<1E-8 mbar (ohne Leckage)
|
Massendurchfluss-Gassteuerung
|
Aufbau
|
Ventil aus rostfreiem Stahl 316
Gasmischbehälter: Φ80X120mm
600mm(L) x 745mm(B) x 700mm(H)
6" Farb-Touchscreen-Bedienfeld, um die Einstellung der Parameter zu erleichtern.
Touchscreen-Steuerung und PC-Fernbedienung umschaltbar.
Der Regelbereich der Durchflussmenge und eine Reihe von Gaswegen sind für die Anpassung verfügbar. Bitte kontaktieren Sie uns für detaillierte Informationen.
|
|
Leistung
|
23 W pro Kanal
|
|
Nennspannung
|
AC 220V/50Hz Einphasig
|
Hinweise und Garantie
|
Hinweise zur Anwendung
|
Der Vakuumdruck darf bei Aluminiumoxidrohren nur bis zu 1500°C sicher angewendet werden.
Die Rohröfen mit Aluminiumoxidrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa (Absolutdruck) ausgelegt.
|
|
Garantie
|
Eingeschränkte Garantie von einem Jahr (Verschleißteile wie Prozessrohre, O-Ringe und Heizelemente sind von der Garantie ausgenommen, bitte bestellen Sie die Ersatzteile bei den entsprechenden Produkten unten).
|
|
Konformität
|
- CE-zertifiziert
- NRTL(UL61010) oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
|
|
Versand Abmessungen
|
Zwei Kisten in einer Kunststoffpalette: 45x45x35/Kiste
|
|
Warnhinweise
|
- Die Rohröfen mit Aluminiumoxidrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,02 MPa/ 3 PSI ausgelegt.
- Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen.
- Heizen Sie den Ofen niemals, wenn das Gasablassventil geschlossen ist und ein Überdruck im Ofenraum herrscht. Das Manometer muss verwendet werden, um den Zustand der Kammer zu jeder Zeit während des Heizvorgangs genau zu überwachen; bitte öffnen Sie das Gasablassventil sofort, sobald der Kammerdruck über 3 PSI erreicht hat, um unvorhersehbare Schäden zu vermeiden.
- Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM ( oder 200ml/min ) begrenzt werden.
- Der Vakuumdruck kann nur bis zu 1500°C sicher verwendet werden.
|
1700C-Rohrofen mit Hochvakuumsystem und MFC-Gasmischer GSL-1700X-4-HVC-LD Anwendungen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):
Ermöglicht die Abscheidung von dünnen Schichten und Beschichtungen auf Substraten mit kontrollierten Gasatmosphären.
Wird bei der Herstellung von Halbleitern, Oberflächenbeschichtungen und der Synthese von Nanomaterialien verwendet.
Ermöglicht die kontrollierte Bewegung von Atomen oder Molekülen in festen Materialien.
Wesentlich für die Dotierung von Halbleitermaterialien und die Verbesserung der Materialeigenschaften.
- Hochtemperaturglühen und -sintern:
Ideal für Glühprozesse zur Verbesserung der Kristallinität von Materialien und zur Beseitigung von Defekten.
Unterstützt das Sintern von Keramiken und Metallen zur Verdichtung und Verbesserung der mechanischen Eigenschaften.
- Forschung und Entwicklung:
Bietet eine kontrollierte Umgebung für die Untersuchung von Materialverhalten und -eigenschaften bei hohen Temperaturen.
Unverzichtbar für die Erforschung neuer Materialien und Verfahren in Forschungslabors.
1700C Rohrofen mit Hochvakuumsystem und MFC-Gasmischer GSL-1700X-4-HVC-LD Verpackung
Unser 1700C-Rohrofen mit Hochvakuumsystem und MFC-Gasmischer GSL-1700X-4-HVC-LD wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
Spezifikation
Rohrofender Serie GSL-1700X
|
Aufbau des Ofens
|
- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: Bietet eine robuste Isolierung und strukturelle Integrität und gewährleistet einen sicheren Betrieb.
- Zwei Kühlgebläse: Hält die Gehäusetemperatur unter 55°C und erhöht die Zuverlässigkeit und Langlebigkeit.
- Hochreine Tonerde-Feuerfestkammer: Sorgt für thermische Stabilität und Widerstandsfähigkeit gegen hohe Temperaturen, ideal für anspruchsvolle Anwendungen.
- Mobiler Wagen mit vier Rädern: Erleichtert die Mobilität und Positionierung innerhalb des Arbeitsbereichs und erhöht die Flexibilität.
- Gebrauchsfertiges Vakuum- und Gasmischsystem: Beinhaltet Vakuumflansch, Manometer, Ventile, Rohre und eine Hochvakuumpumpe für die sofortige Einrichtung und den Betrieb und gewährleistet so Komfort und Effizienz.
|
|
Verarbeitungsrohr
|
Werkstoff: Hochreines Aluminiumoxid
Ein Aluminiumoxidrohr mit 60 mm Außendurchmesser (EQ-TA-60D-M1000) ist im Lieferumfang des Ofens enthalten.
Der Ofen kann gegen Aufpreis auch mit einem 50mm oder 80mm O.D. Aluminiumoxidrohr ausgestattet werden. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
|
|
Heizelemente
|
8 Stück MoSi2-Heizelemente für 1800°C
|
|
Leistung
|
AC 208-240V Einphasig, 50/60Hz
6KW
|
|
Arbeitstemp.
|
- Max. Temperatur: 1650℃ (1 Std.); 1600℃ (kontinuierlich)
- Aufheizgeschwindigkeit: ≤5℃/min
- Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃
|
|
Länge derHeizzone
|
Länge der Heizzone: 457 mm (18")
Länge der Zone mit konstanter Temperatur: 150 mm (6") (+/-1°C)
|
|
Temp. Steuerung
|
- Automatische PID-Regelung über strombegrenzenden Phasenwinkel, der den Widerstand mit 30 programmierbaren Segmenten schaltet.
- Temperaturgenauigkeit: ±1°C
- Thermoelement: Typ B im Ofen eingebaut
- RS485 Kommunikationsanschluss.
|
|
Vakuum-Dichtung
|
Ein Paar Vakuumflansche aus rostfreiem Stahl mit:
- einem mechanischen Vakuummeter
- zwei Nadelventilen
- einem KF-25-Anschluss und einem KF-25-zu-KF-40-Adapter für die Hochvakuumstation.
- einem 1/4" Swagelok-Schlauchanschluss
|
|
Abmessungen
|
550 x 380 x 520 mm
|
Hochvakuum-Station
|
Leistung
|
100~110W
|
|
Nennspannung
|
AC 208-240V einphasig, 50/60Hz
|
|
Abmessungen
|
600(L) x 600(B) x 700(H), mm
|
|
Aufbau
|
Größe des mobilen Wagens: 600 (L) x 600 (B) x 700(H), mm
Max. Belastung: 600 Lbs auf der Oberseite
Bedienfeld der Molekularpumpe: LCD digital
Innen: Vakuumpumpe
|
|
Bedienfeld
|
Ein-Knopf-Bedienung - die Membranpumpe und die Turbopumpe werden nach Drücken der "Start"-Taste gestartet.
Systemgesteuerte Drehzahl - der Controller steuert die Drehzahl der Turbine nach oben und unten, je nach Vakuumgrad und Leckrate der Reaktionskammer.
Selbstschutz - das System schützt die Pumpe vor Schäden durch Überhitzung und Überstrom, wenn die Leckrate der Reaktionskammer zu hoch ist, um ein hohes Vakuum zu erreichen.
LCD-Bildschirm - die zweizeilige Parameterüberprüfungsschnittstelle erleichtert die Handhabung der Anlage.
|
|
Volumenstrom
|
Stickstoff N2 33 L/s
Helium He 39 L/s (2340L/Minute)
Wasserstoff H2 32 L/s
|
|
Arbeitsbereich
|
Von 1000 mbar bis <1E-7 mbar
|
|
Enddruck
|
<1E-8 mbar (ohne Leckage)
|
Massendurchfluss-Gassteuerung
|
Aufbau
|
Ventil aus rostfreiem Stahl 316
Gasmischbehälter: Φ80X120mm
600mm(L) x 745mm(B) x 700mm(H)
6" Farb-Touchscreen-Bedienfeld, um die Einstellung der Parameter zu erleichtern.
Touchscreen-Steuerung und PC-Fernbedienung umschaltbar.
Der Durchflusskontrollbereich und eine Reihe von Gaswegen sind zur Anpassung verfügbar. Bitte kontaktieren Sie uns für detaillierte Informationen.
|
|
Leistung
|
23 W pro Kanal
|
|
Nennspannung
|
AC 220V/50Hz Einphasig
|
Hinweise und Garantie
|
Hinweise zur Anwendung
|
Der Vakuumdruck darf bei Aluminiumoxidrohren nur bis zu 1500°C sicher angewendet werden.
Die Rohröfen mit Aluminiumoxidrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa (Absolutdruck) ausgelegt.
|
|
Garantie
|
Ein Jahr eingeschränkte Garantie (Verschleißteile wie Prozessrohre, O-Ringe und Heizelemente sind nicht von der Garantie abgedeckt, bitte bestellen Sie die Ersatzteile unter den entsprechenden Produkten unten).
|
|
Konformität
|
- CE-zertifiziert
- NRTL(UL61010) oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
|
|
Versand Abmessungen
|
Zwei Kisten in einer Kunststoffpalette: 45x45x35/Kiste
|
|
Warnhinweise
|
- Die Rohröfen mit Aluminiumoxidrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,02 MPa/ 3 PSI ausgelegt.
- Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen.
- Heizen Sie den Ofen niemals, wenn das Gasablassventil geschlossen ist und ein Überdruck im Ofenraum herrscht. Das Manometer muss verwendet werden, um den Zustand der Kammer zu jeder Zeit während des Heizvorgangs genau zu überwachen; bitte öffnen Sie das Gasablassventil sofort, sobald der Kammerdruck über 3 PSI erreicht hat, um unvorhersehbare Schäden zu vermeiden.
- Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM ( oder 200ml/min ) begrenzt werden.
- Der Vakuumdruck kann nur bis zu 1500°C sicher verwendet werden.
|
