1200C-Rohrofen mit Korrosionsschutzset OTF-1200X-F3LV Beschreibung
Der 1200C-Rohrofen mit Korrosionsschutzset OTF-1200X-F3LV ist ein teilbarer Einzonen-Rohrofen mit einem Quarzrohr von 80 mm Durchmesser, einer mechanischen Vakuumpumpe und einem Dreikanal-Gasflusssystem. Er kann ein maximales Vakuum von bis zu 10^-2 Torr erreichen und 1-3 Arten von Gasen für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder Diffusionsprozesse mischen. Dieses Ofensystem ist mit einem PTFE-Gassystemsatz ausgestattet, der bessere Korrosionsschutzeigenschaften als Edelstahl bietet. Das System umfasst ein Korrosionsschutzmanometer, eine Vakuumpumpe mit Kühlfalle und das PTFE-Gasmischsystem mit Flansch, das Langlebigkeit und Präzision bei der Handhabung aggressiver Gase gewährleistet.
1200C Rohrofen mit Korrosionsschutzset OTF-1200X-F3LV Spezifikationen
Rohrofender Serie OTF-1200X
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Aufbau des Ofens
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- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: Sorgt für erhöhte Haltbarkeit und Sicherheit
- Eingebauter Thermostat: Aktiviert automatisch das Kühlsystem, wenn die Gehäusetemperatur 55°C überschreitet
- Anti-Korrosions-Messgerät: Ermöglicht genaue Vakuummessungen, auch bei Vorhandensein aggressiver Gase
- Vakuumpumpe mit Kühlfalle: Schützt die Vakuumpumpe, indem es verhindert, dass aggressive Gase in sie eindringen
- PTFE-Gasmischer und Flansch: Minimiert den Kontakt von aggressiven Gasen mit anfälligen Oberflächen
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Heizelemente
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Fe-Cr-Al-Legierung, dotiert mit Mo
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Leistung
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2,5KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
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Arbeitstemp.
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- Max. Temperatur: 1200℃ (1 Std.); 1100℃ (kontinuierlich)
- Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
- Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃
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Länge derHeizzone
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400 mm
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Temp. Steuerung
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- Automatische PID-Regelung über SCR (Silicon Controlled Rectifier) Leistungsregelung mit Phasenanschnittsteuerung, Strombegrenzungswiderstand.
- 30 programmierbare Segmente zur präzisen Steuerung von Heizrate, Kühlrate und Verweilzeit.
- Eingebaute PID-Auto-Tune-Funktion mit Überhitzungs- und Thermoelementbruchschutz.
- Übertemperaturschutz und -alarm ermöglichen den Betrieb ohne Aufsichtsperson(en).
- ±1 ºC Temperaturgenauigkeit.
- RS485 Kommunikationsanschluss.
*Erweiterte Temperaturregelung (optional)
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Röhrengröße und Materialien
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Quarzrohr
OD: 80mm x ID: 75 mm x Länge: 1000 mm
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Digitales Vakuum-Messgerät
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- Korrosionsbeständiges Kapazitätsmembran-Messgerät mit keramikbeschichtetem Sensorkopf, das speziell für Vakuummessungen bei Vorhandensein von korrosiven Gasen entwickelt wurde.
- Das Messgerät wird auf dem Vakuumflansch (rechte Seite) des Rohrofens installiert und bietet einen großen Messbereich (10^-5 ~ 1000 Torr).
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Flansche zur Vakuumabdichtung
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Ein Satz PTFE-Flansche mit Vakuummeter und Ventil.
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Vakuumpumpe
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- Eine zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe mit 156 l/m und einem maximalen Vakuumdruck von 10E-4 Torr ist im Lieferumfang enthalten.
- Ein Edelstahlschlauch für den Anschluss an den Rohrofen ist im Lieferumfang enthalten.
- Eine Kühlfalle ist im Lieferumfang enthalten, um korrosives Material aufzufangen.
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Durchflussmesser & Druckmesser
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Ein PTFE-Dreikanal-Gasmischer ist im Inneren des mobilen Gehäuses installiert , um die Überwachung der Gasdurchflussraten zu ermöglichen.
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Abmessungen
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- Ofen: 550 x 380 x 520 mm
- Unterer mobiler Koffer: 600 x 600 x 650 mm
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Nettogewicht
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~ etwa 70 kg
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Versandgewicht
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350 Pfund
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Versand-Abmessungen
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Zwei Kisten auf einer Palette: 45 "x45 "x35" /Kiste
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Garantie
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Eingeschränkte Herstellergarantie von einem Jahr (Verschleißteile wie Verarbeitungsrohre, O-Ringe und Heizelemente sind von der Garantie ausgeschlossen; bitte bestellen Sie Ersatz bei den unten aufgeführten Produkten).
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Konformität
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CE-zertifiziert
NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich.
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Hinweise
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- Um eine genaue Temperatur im Inneren des Rohrofens zu erhalten, müssen Sie die Temperatur selbst kalibrieren.
- Warnung: Rohröfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz im Vakuum und bei niedrigem Druck < 0,2 bar ausgelegt.
- Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an einer Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen.
- Die Durchflussrate für Gase sollte auf <200 SCCM begrenzt werden, um thermische Schocks auf das Rohr zu reduzieren.
- Vakuumdruck kann nur bis zu 1000°C sicher verwendet werden.
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1200C Rohrofen mit Korrosionsschutzset OTF-1200X-F3LV Anwendungen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):
Ideal für die Abscheidung von Dünnschichten und Beschichtungen auf verschiedenen Substraten.
Wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und photovoltaischen Zellen verwendet.
Erleichtern die Bewegung von Atomen oder Molekülen in Festkörpern.
Wesentlich für die Entwicklung und Verarbeitung von Halbleitermaterialien.
- Thermische Behandlungen unter Vakuum:
Ermöglicht Glühen, Sintern und andere Wärmebehandlungen in einer kontrollierten Vakuumumgebung.
Verringert Verschmutzung und Oxidation und verbessert die Materialeigenschaften.
Ausgestattet mit einem PTFE-Gassystem für hervorragende Korrosionsschutzeigenschaften.
Geeignet für Experimente, die den Einsatz von korrosiven oder reaktiven Gasen erfordern.
1200C Rohrofen mit Korrosionsschutzset OTF-1200X-F3LV Verpackung
Unser 1200C Rohrofen mit Korrosionsschutzset OTF-1200X-F3LV wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
