1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV Beschreibung
Der 1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV ist ein CE-zertifizierter, geteilter Drei-Zonen-Rohrofen mit einem Durchmesser von 4", der für fortschrittliche thermische Prozesse entwickelt wurde. Er verfügt über ein Vakuumpumpsystem, das bis zu 10^-4 Torr erreichen kann, und ein präzises digitales Massedurchflussmessergasregelsystem mit einem 9-Kanal-SPS-Touchpanel. Dieses System kann bis zu neun Gasarten regeln und ist damit ideal für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Diffusionsprozesse.
1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV Spezifikationen
Rohrofender Serie OTF-1200X
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Aufbau des Ofens
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- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung.
- Hochreine Aluminiumoxid-Faserplattenauskleidung für einen energiesparenden Betrieb.
- Drei Heizzonen mit drei unabhängigen Temperaturreglern.
- Vakuum- und Gasmischsystem befinden sich im Boden Fahrbarer Wagen mit 4 Rädern.
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Heizelemente
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Fe-Cr-Al-Legierung, dotiert mit Mo
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Leistung
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7KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
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Arbeitstemp.
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- Max. Temperatur: 1200℃ (1 Std.); 1100℃ (kontinuierlich)
- Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
- Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃
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Länge der Heizzonen
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Drei Zonen: (880mm, 35" insgesamt)
Zone 1: 220 mm + Zone 2: 440 mm + Zone 3: 220 mm
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Konstante Temp. Zone
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20" (500 mm) Länge
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Temp. Regler
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- Drei programmierbare digitale Präzisions-Temperaturregler mit 30 Segmenten, die jede Heizzone separat steuern.
- PID einstellbar mit Auto-Tune-Funktion zur Gewährleistung der Temperaturstabilität innerhalb von +/ - 1 ℃.
- Voller Schutz in jedem Regler für Übertemperatur und unterbrochene thermische Verbindung.
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Rohrgröße und Materialien
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Quarzglas-Röhre
100 mm Außendurchmesser x 92 mm Innendurchmesser x 1400 mm
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Thermoelement
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Drei Thermoelemente vom Typ K
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Hochvakuum-Station
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Vakuum Fittings
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Das Standard-Vakuumzubehör umfasst:
- Zwei Edelstahl-Vakuumflansche mit KF-25-Pumpenanschluss, zwei Nadelventile und ein 1/4" Swagelok-Schlauchanschluss.
- Sechs Stück Hochtemperatur-Silikon-O-Ringe für den Einsatz unter 300°C.
- Zwei Paar Aluminiumoxid-Thermoblöcke zum Schutz der Flansche vor Wärmestrahlung sind im Lieferumfang enthalten.
- Ein KF-40-Vakuumbalg
- Drei KF-40 Schnellspanner.
- Zwei KF-25 Schnellspanner.
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Aufbau
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- Größe des mobilen Wagens: 600 (L) x 600 (B) x 700(H), mm
- Max. Belastung: 600 Lbs auf der Oberseite
- Bedienfeld der Molekularpumpe: LCD digital
- Innen: Vakuumpumpe
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Vakuum-Sensor
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Der Vakuumsensor hat einen KF-25-Anschluss.
Hochvakuummeter (Messbereich 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Nennspannung
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AC 208-240V, einphasig, 50/60Hz
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Bedienfeld
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Ein-Knopf-Bedienung - die Membranpumpe und die Turbomolekularpumpe werden nach Drücken der "Start"-Taste gestartet.
Systemgesteuerte Rotationsgeschwindigkeit - der Controller steuert die Geschwindigkeit der Turbine, die sich auf und ab dreht, entsprechend dem Vakuumniveau und der Leckrate der Reaktionskammer.
Selbstschutz - das System schützt die Pumpe vor Schäden durch Überhitzung und Überstrom, wenn die Leckrate der Reaktionskammer zu hoch ist, um das Hochvakuum zu erreichen.
LCD-Bildschirm - die zweizeilige Parameterüberprüfungsschnittstelle erleichtert die Handhabung des Systems.
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Volumenstrom
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Stickstoff N2 33 L/s
Helium He 39 L/s (2340L/Minute)
Wasserstoff H2 32 L/s
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Arbeitsbereich
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Von 1000 mbar bis <1E-7 mbar
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Enddruck
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10^-5 Torr (mit Rohrofen)
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Stromeingang
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110V AC oder 220V AC umschaltbar, 50/60Hz
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Leistungsaufnahme
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Dauer/Maximalleistung: 100/110 Watt
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Massendurchflussregler
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Massendurchflussregler
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9 Präzisions-Massedurchflussregler sind im unteren mobilen Wagen installiert und verfügen über ein digitales Anzeigefeld mit einer Genauigkeit von +/-1,5 % des vollen Messbereichs.
- Regler 1: 0~100 SCCM
- Regler 2: 1~199 SCCM
- Steuergerät 3: 1~199 SCCM
- Steuergerät 4: 1~499 SCCM
- Controller 5-9: Messbereich kann auf Anfrage angepasst werden
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Andere Teile
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Gasleitungsanschluss
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Ein 1/4"-Rohranschluss ist im linken Flansch als Gaseinlass installiert.
Jede MFC-Station hat vier 1/4" Swagelok-Rohranschlüsse. Und vier Ein/Aus-Ventile für jeden Gasweg. Das fünfte wird als Gasausgang verwendet.
Das 1/4" PTFE-Gasrohr ist im Standardpaket enthalten.
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Versand-Informationen
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Abmessungen
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Ofen: 550 x 380 x 520mm
MFC-Station: 600 x 600 x 700 mm
HV-Station: 600 x 600 x 700 mm
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Gewicht
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Nettogewicht: 100Kg
Versandgewicht: 350 lb (zwei Paletten)
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Garantie
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Ein Jahr eingeschränkte Garantie (Verschleißteile wie Verarbeitungsrohre, O-Ringe und Heizelemente sind nicht von der Garantie abgedeckt, bitte bestellen Sie den Ersatz bei den entsprechenden Produkten unten).
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Konformität
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CE/UL/CSA-Zertifikat
Bitte wählen Sie das Zertifikat in der Optionsleiste aus:
CE-Zertifikat & UL/CSA-Zertifikat bereit, UL/CSA-Zertifikat gegen Aufpreis
UL-Zertifikat - UL-Zulassungen (UL 61010)
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Warnung
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Die Rohröfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa (Absolutdruck) ausgelegt
Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen.
Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM (oder 200 ml/min) begrenzt werden, um thermische Schocks auf das Rohr zu reduzieren.
Definition der Vakuumgrenze für alle Quarzrohröfen: * Der Vakuumdruck darf nur bis zu 1000°C sicher verwendet werden.
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1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV Anwendungen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):
- Abscheidung von Dünnschichten und Beschichtungen auf Substraten.
- Wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und photovoltaischen Zellen verwendet.
- Erleichtern die Bewegung von Atomen oder Molekülen in Festkörpern.
- Wesentlich für die Entwicklung und Verarbeitung von Halbleitermaterialien.
- Thermische Behandlungen unter Vakuum:
- Ermöglicht Glühen, Sintern und andere Wärmebehandlungen in einer kontrollierten Vakuumumgebung.
- Verringert Verschmutzung und Oxidation und verbessert die Materialeigenschaften.
- Ermöglicht Experimente, die inerte oder reduzierende Atmosphären erfordern.
- Schützt die Proben während der Verarbeitung vor Oxidation und anderen atmosphärischen Einflüssen.
1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV-Verpackung
Unser 1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
