Eingestellt MF5931 (Abgesetzt) 1200C Drei-Zonen-Rohrofen mit Vakuumpumpe für CVD OTF-1200X-4-III-9HV

Aufbau des Ofens

• Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung.
• Auskleidung aus hochreinen Aluminiumoxid-Faserplatten für einen energieeffizienten Betrieb.
• Drei Heizzonen mit drei unabhängigen Temperaturreglern.
• Vakuum- und Gasmischsystem befinden sich im Boden Fahrbarer Wagen mit 4 Rädern.

Heizelemente

Fe-Cr-Al-Legierung, dotiert mit Mo

Leistung

7KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz

Arbeitstemp.

• Max. Temperatur: 1200℃ (1 Std.); 1100℃ (kontinuierlich)
• Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
• Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃

Länge der Heizzonen

Drei Zonen: (880mm, 35" insgesamt)

Zone 1: 220 mm + Zone 2: 440 mm + Zone 3: 220 mm

Konstante Temp. Zone

20" (500 mm) Länge

Temp. Regler

• Drei programmierbare digitale Präzisions-Temperaturregler mit 30 Segmenten, die jede Heizzone separat steuern.
• PID einstellbar mit Auto-Tune-Funktion zur Gewährleistung der Temperaturstabilität innerhalb von +/ - 1 ℃.
• Voller Schutz in jedem Regler für Übertemperatur und unterbrochene thermische Verbindung.

Rohrgröße und Materialien

Quarzglas-Röhre

100 mm Außendurchmesser x 92 mm Innendurchmesser x 1400 mm

Thermoelement

Drei Thermoelemente vom Typ K

Vakuum Fittings

Das Standard-Vakuumzubehör umfasst:

• Zwei Edelstahl-Vakuumflansche mit KF-25-Pumpenanschluss, zwei Nadelventile und ein 1/4" Swagelok-Schlauchanschluss.
• Sechs Stück Hochtemperatur-Silikon-O-Ringe für den Einsatz unter 300°C.
• Zwei Paar Aluminiumoxid-Thermoblöcke zum Schutz der Flansche vor Wärmestrahlung sind im Lieferumfang enthalten.
• Ein KF-40-Vakuumbalg
• Drei KF-40 Schnellspanner.
• Zwei KF-25 Schnellspanner.

Aufbau

• Größe des mobilen Wagens: 600 (L) x 600 (B) x 700(H), mm
• Max. Belastung: 600 Lbs auf der Oberseite
• Bedienfeld der Molekularpumpe: LCD digital
• Innen: Vakuumpumpe

Vakuum-Sensor

Der Vakuumsensor hat einen KF-25-Anschluss.
Hochvakuummeter (Messbereich 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)

Nennspannung

AC 208-240V, einphasig, 50/60Hz

Bedienfeld

Ein-Knopf-Bedienung - die Membranpumpe und die Turbomolekularpumpe werden nach Drücken der "Start"-Taste gestartet.
Systemgesteuerte Rotationsgeschwindigkeit - der Controller steuert die Geschwindigkeit der Turbine, die sich auf und ab dreht, entsprechend dem Vakuumniveau und der Leckrate der Reaktionskammer.
Selbstschutz - das System schützt die Pumpe vor Schäden durch Überhitzung und Überstrom, wenn die Leckrate der Reaktionskammer zu hoch ist, um das Hochvakuum zu erreichen.
LCD-Bildschirm - die zweizeilige Parameterüberprüfungsschnittstelle erleichtert die Handhabung des Systems.

Volumenstrom

Stickstoff N2 33 L/s

Helium He 39 L/s (2340L/Minute)

Wasserstoff H2 32 L/s

Arbeitsbereich

Von 1000 mbar bis <1E-7 mbar

Enddruck

10^-5 Torr (mit Rohrofen)

Stromeingang

110V AC oder 220V AC umschaltbar, 50/60Hz

Leistungsaufnahme

Dauer/Maximalleistung: 100/110 Watt

Massendurchflussregler

9 Präzisions-Massedurchflussregler sind im unteren mobilen Wagen installiert und verfügen über ein digitales Anzeigefeld mit einer Genauigkeit von +/-1,5 % des vollen Messbereichs.

• Regler 1: 0~100 SCCM
• Regler 2: 1~199 SCCM
• Steuergerät 3: 1~199 SCCM
• Steuergerät 4: 1~499 SCCM
• Controller 5-9: Messbereich kann auf Anfrage angepasst werden

Gasleitungsanschluss

Ein 1/4"-Rohranschluss ist im linken Flansch als Gaseinlass installiert.

Jede MFC-Station hat vier 1/4" Swagelok-Rohranschlüsse. Und vier Ein/Aus-Ventile für jeden Gasweg. Das fünfte wird als Gasausgang verwendet.

Das 1/4" PTFE-Gasrohr ist im Standardpaket enthalten.

Versand-Informationen

Abmessungen

Ofen: 550 x 380 x 520mm
MFC-Station: 600 x 600 x 700 mm
HV-Station: 600 x 600 x 700 mm

Gewicht

Nettogewicht: 100Kg
Versandgewicht: 350 lb (zwei Paletten)

Garantie

Ein Jahr eingeschränkte Garantie (Verschleißteile wie Verarbeitungsrohre, O-Ringe und Heizelemente sind nicht von der Garantie abgedeckt, bitte bestellen Sie den Ersatz bei den entsprechenden Produkten unten).

Konformität

CE/UL/CSA-Zertifikat

Bitte wählen Sie das Zertifikat in der Optionsleiste aus:

CE-Zertifikat & UL/CSA-Zertifikat bereit, UL/CSA-Zertifikat gegen Aufpreis

UL-Zertifikat - UL-Zulassungen (UL 61010)

Warnung

Die Rohröfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa (Absolutdruck) ausgelegt

Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen.

Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM (oder 200 ml/min) begrenzt werden, um thermische Schocks auf das Rohr zu reduzieren.

Definition der Vakuumgrenze für alle Quarzrohröfen: * Der Vakuumdruck darf nur bis zu 1000°C sicher verwendet werden.