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Aufbau des Ofens
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- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung
- Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung
- Teilbare Abdeckung
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Leistung
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5KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
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Arbeitstemp.
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- Max. Temperatur: 1200℃ (1 Std.); 1100℃ (kontinuierlich)
- Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
- Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃
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Länge der Heizzonen
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- Drei Zonen: (880mm, 35" insgesamt)
Zone 1: 220 mm (8,6")
Zone 2: 440 mm (17,3")
Zone 3: 220 mm (8,6")
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Zone mit konstanter Temperatur
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- Wenn drei Zonen auf dieselbe Temperatur eingestellt sind, ist die Zone mit konstanter Temperatur 25" (625 mm) lang und hat eine Temperaturabweichung von ± 1°C.
- Wenn nur eine Zone (mittlere Zone) verwendet wird, ist die Zone mit konstanter Temperatur 4,3" (110 mm) lang und hat eine Temperaturabweichung von ± 1°C.
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Heizelemente
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Fe-Cr-Al-Legierung dotiert mit Mo
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Temp. Regler
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- Drei Präzisions-Temperaturregler zur separaten Steuerung von drei Zonen
- Automatische PID-Regelung mit 30 programmierbaren Segmenten zur präzisen Steuerung von Heizrate, Kühlrate und Verweilzeit
- Eingebauter Schutz gegen Überhitzung und defekte Thermoelemente
- Übertemperaturschutz und -alarm ermöglichen den Betrieb ohne Aufsichtsperson(en)
- ± 1℃ Temperaturgenauigkeit
- RS485-Kommunikationsanschluss
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Vakuumsensor & Anzeige
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- Korrosionsbeständiges Kapazitätsmembran-Messgerät mit keramikbeschichtetem Sensorkopf, das speziell für Vakuummessungen bei Vorhandensein von korrosiven Gasen entwickelt wurde
- Das Messgerät wird auf dem Vakuumflansch des Rohrofens installiert und bietet einen großen Messbereich (10^-5 ~ 1000 Torr)
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Quarzrohr & Dichtungsflansche
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- 80 mm Außendurchmesser x 72 mm Innendurchmesser x 1400 mm Quarzglasrohr im Lieferumfang enthalten.
- Vakuumflansche mit Ventilen und Manometern sind im Lieferumfang enthalten.
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Schiebeflansch mit Probenhalterung
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Ein Schlitten für den Probentransfer (manuell betätigt) ist als Option zu einem Aufpreis von $1900 erhältlich.
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Vakuumversiegelungsflansche
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- Zwei Flansche aus rostfreiem Stahl mit Vakuummessgeräten und Ventilen sind im Lieferumfang enthalten.
- Der von der mechanischen Pumpe erreichte Mindestvakuumdruck beträgt 5,5 m-torr. (5,5x10^-3 Torr). Der Druck kann bei Verwendung einer mechanischen + molekularen Pumpe 10^-5 Torr erreichen.
- Die Leckrate ist < 5 m-torr / min. und der stabile Vakuumdruck nach 24 Stunden ist < 2 torr.
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Sauerstoff-Überwachung
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Ein Sauerstoffsensor kann zur Überwachung des Sauerstoffgehalts der in CVD-Systemen verwendeten Gase verwendet werden, um die Oxidation zu verhindern oder zu verringern.
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Vakuumpumpe
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Eine 120 L/m Drehschieber-Vakuumpumpe mit einem maximalen Vakuumdruck von 10^-2torr ist im Lieferumfang enthalten. Für den Anschluss an den Rohrofen ist ein Edelstahlschlauch im Lieferumfang enthalten.
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Gasdurchflussmesser & Druckmesser
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- Drei Gasdurchflussmesser (4% Genauigkeit FS) sind im Inneren des mobilen Gehäuses installiert, um die Überwachung der Gasdurchflussraten zu ermöglichen (insgesamt drei verschiedene Gasarten).
Kompakter, direkt ablesbarer Durchflussmesser, 10-100 cc/min.
Kompakter Durchflussmesser mit Direktablesung, 16-160 cm³/min.
Kompakter Durchflussmesser mit Direktablesung, 25-250 cm³/min.
- Im Inneren des mobilen Wagens sind vier Druckmessgeräte installiert, die drei Arten von Durchflussgasdruck sowie den Druck des Mischtanks überwachen können.
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Versandgewicht
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850 Pfund
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Ventile
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Vier Ventile aus rostfreiem Stahl sind in der Seitenwand des mobilen Wagens installiert, um das Mischen der drei Eingangsgase separat zu steuern.
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Abmessungen
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- Ofen: 1100 x 450 x 670 mm
- Unterer mobiler Koffer: 600 x 600 x 597 mm
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Garantie
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Ein Jahr eingeschränkte Herstellergarantie.
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Warnung und Hinweise
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- Um eine genaue Temperatur im Inneren des Rohrofens zu erhalten, müssen Sie die Temperatur selbst kalibrieren.
- Rohröfen mit Aluminiumoxidrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa ausgelegt.
- Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM (oder 200 ml/min) begrenzt werden, um thermische Schocks auf das Rohr zu reduzieren.
- Achtung! Ein zweistufiger Druckregler muss an der Gasflasche installiert werden, um den Druck für einen sicheren Betrieb auf unter 3 PSI zu begrenzen.
- Definition der Vakuumgrenze für alle Quarzrohröfen: * Der Vakuumdruck darf nur bis zu 1000°C sicher verwendet werden.
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Zertifikat
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- CE-zertifiziert
- Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
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