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ST11215 Planares Tantalkarbid-Target, TaC-Target

Katalog-Nr. ST11215
Zusammensetzung TaC
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das planare Tantalkarbid-Target (TaC-Target) wird durch kontrolliertes reaktives Sintern hergestellt, um eine einheitliche Mikrostruktur zu erzeugen, die für Sputtering-Anwendungen geeignet ist. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt bei der Qualitätskontrolle Elektronenmikroskopie und Röntgenbeugung ein, um die Zusammensetzungstoleranzen und die Kornstruktur zu überprüfen. Diese Methodik trägt dazu bei, die mikrostrukturelle Konsistenz zu erreichen, die für eine reproduzierbare Schichtabscheidung erforderlich ist.

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FAQ

Welchen Einfluss hat die Mikrostruktur des TaC-Targets auf seine Sputterleistung?

Die Mikrostruktur wirkt sich direkt auf die Sputterausbeute und die Gleichmäßigkeit der Schichtabscheidung aus. Eine gut kontrollierte Kornverteilung ermöglicht eine stabile Erosion während des Sputterns, wodurch die Bildung von Partikeln minimiert und vorhersehbare Dünnschichteigenschaften gewährleistet werden. Für weitere Details kontaktieren Sie uns.

Welche Methoden der Qualitätskontrolle werden bei der Herstellung des TaC-Targets angewandt?

Die Qualitätskontrolle umfasst Elektronenmikroskopie und Röntgenbeugungsanalyse zur Überprüfung der mikrostrukturellen Integrität und der Zusammensetzungstoleranz. Diese Bewertungen helfen bei der Erkennung von Schwankungen in der Korngröße und -dichte und stellen sicher, dass das Target die strengen Anforderungen der Sputterverfahren erfüllt. Für weitere Anfragen kontaktieren Sie uns bitte.

Wie wirkt sich die Option der anpassbaren Abmessungen auf die Kompatibilität mit Sputtering-Systemen aus?

Dank der anpassbaren Abmessungen kann das Target an spezifische Kammergeometrien angepasst werden. Diese Flexibilität gewährleistet die korrekte Ausrichtung mit der Beschichtungsanlage und erleichtert die gleichmäßige Erosion der Targetoberfläche während des Sputterns. Für weitere technische Spezifikationen kontaktieren Sie uns bitte.

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