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ST11214 Tantal-Planar-Target, Ta-Target

Katalog-Nr. ST11214
Zusammensetzung Ta
Reinheit ≥99,95%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Tantal Planar Target, Ta Target ist ein Sputtertarget, das aus hochreinem Tantal für Dünnschichtabscheidungsprozesse hergestellt wird. Stanford Advanced Materials (SAM) verwendet automatisiertes Gießen und Präzisions-Ultraschallreinigung gepaart mit elektronenmikroskopischen Inspektionen zur Qualitätskontrolle. Das Verfahren von SAM minimiert mikrostrukturelle Defekte und gewährleistet gleichzeitig eine gleichmäßige Zusammensetzung, was eine effiziente Abscheidung in industriellen Sputteranlagen ermöglicht.

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FAQ

Wie wirkt sich die Tantalreinheit auf die Gleichmäßigkeit des Sputterns aus?

Durch den hohen Reinheitsgrad werden die Einschlüsse reduziert, was die Bildung von Partikeln während des Sputterns minimiert. Diese konsistente Zusammensetzung des Targets trägt dazu bei, eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf verschiedenen Substraten zu gewährleisten. Kontaktieren Sie uns für weitere technische Details.

Welche Qualitätskontrollmaßnahmen werden angewandt, um mikrostrukturelle Fehler zu erkennen?

SAM setzt Elektronenmikroskopie und Ultraschallprüfverfahren ein, um mikrostrukturelle Unregelmäßigkeiten zu erkennen. Diese Maßnahmen erleichtern die frühzeitige Erkennung von Defekten und stellen sicher, dass die Oberflächenintegrität des Targets den strengen Anforderungen von Sputtering-Anwendungen entspricht.

Ist es möglich, die Abmessungen des Targets für bestimmte Sputtering-Systeme anzupassen?

Ja, die Abmessungen und die zugehörigen Spezifikationen sind anpassbar, um verschiedene Sputtersystemdesigns zu ermöglichen. Diese Flexibilität ermöglicht eine optimale Zielnutzung und Prozessanpassung bei der Halbleiterherstellung und anderen Anwendungen zur Dünnschichtabscheidung.

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