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ST11213 Strontiumaluminat-Sputtering-Target, SrAl2O4-Target

Katalog-Nr. ST11213
Zusammensetzung SrAl2O4
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
CAS-Nummer 12004-37-4
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Strontiumaluminat-Sputtering-Target, SrAl2O4-Target, ist ein keramisches Sputtering-Target aus SrAl2O4, das für Abscheidungsprozesse bei der Herstellung von Dünnschichten optimiert ist. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt quantitative Oberflächenanalysen und mikrostrukturelle Bewertungsverfahren ein, um die chemische Zusammensetzung und Einheitlichkeit des Targets zu überprüfen. Der Produktionsprozess umfasst kontrollierte Sinterung und Inline-Dichtemessungen, um sicherzustellen, dass das Target die genauen Materialspezifikationen für industrielle Sputteranwendungen erfüllt.

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FAQ

Wie wirkt sich die mikrostrukturelle Beschaffenheit des Sputtertargets auf die Schichtabscheidung aus?

Eine einheitliche Mikrostruktur gewährleistet einen gleichmäßigen Abtrag vom Target während des Abscheidungsprozesses. Dies führt zu einer vorhersehbaren Schichtdicke und -zusammensetzung, was für die Reproduzierbarkeit des Prozesses bei funktionalen Beschichtungen und Halbleiterbauelementen entscheidend ist.

Welche Qualitätskontrollschritte werden bei der Herstellung des SrAl2O4-Targets durchgeführt?

SAM führt Inline-Dichteanalysen und mikrostrukturelle Bewertungen nach dem Sintern mittels Elektronenmikroskopie durch. Diese Messungen tragen zur Einhaltung strenger Zusammensetzungstoleranzen bei und gewährleisten, dass die Materialeigenschaften des Targets eine optimale Sputterleistung unterstützen.

Können die Abmessungen des Targets für verschiedene Sputtering-Systeme angepasst werden?

Ja, die Targetabmessungen sind in kundenspezifischen Formaten erhältlich. Diese Flexibilität hilft bei der Anpassung an verschiedene Sputtering-Konfigurationen und optimiert den Abscheidungsprozess durch die Anpassung der Targetgröße an die Gerätespezifikationen. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Anpassungsoptionen.

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