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ST11209 Silizium-Sputtering-Target, Si-Target

Katalog-Nr. ST11209
Zusammensetzung Si
Reinheit ≥99,99%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rund, Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Silicon Sputtering Target, Si Target ist ein Silizium-Metalltarget, das für die physikalische Gasphasenabscheidung hergestellt wird. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet bewährte Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung und die hausinterne Elektronenmikroskopie an, um die Gleichmäßigkeit der Oberfläche während der Produktion zu überwachen. Das SAM-Verfahren umfasst eine quantitative Fehlerprüfung und kalibrierte Dichtemessungen, um die für die Dünnschichtabscheidung kritischen Materialspezifikationen einzuhalten. Bei der Herstellung dieses Targets wird auf die gemessene Zusammensetzung und Maßgenauigkeit geachtet.

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FAQ

Wie wirkt sich die kundenspezifische Dimensionierung auf die Gleichmäßigkeit der Schichtabscheidung bei Sputtering-Anwendungen aus?

Maßgeschneiderte Abmessungen ermöglichen die Integration in Gerätekonfigurationen, die bestimmte Zielgrößen erfordern, was die Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung verbessern kann. Durch die Anpassung an die Prozessanforderungen werden Randeffekte minimiert und ein gleichmäßiges Schichtwachstum unterstützt. Kontaktieren Sie uns für eine detaillierte Integrationsberatung.

Welche Materialreinheitsspezifikationen werden typischerweise bei Silizium-Sputtertargets eingehalten?

Hochreines Silizium wird verwendet, um durch Verunreinigungen verursachte Schwankungen in den abgeschiedenen Schichten zu verringern. Der Produktionsprozess umfasst quantitative Tests und Oberflächeninspektionen, um sicherzustellen, dass das Silizium den kontrollierten Reinheitsgraden entspricht, die für Halbleiterprozesse unerlässlich sind.

Kann das Siliziumtarget für unterschiedliche Anforderungen an das Sputtersystem maßgeschneidert werden?

Ja, die Abmessungen können individuell angepasst werden. Dadurch kann das Target an unterschiedliche Kammergeometrien und Abscheidungssysteme angepasst werden. Die Anpassung der Targetgröße trägt zur Optimierung der Sputtereffizienz und der Gleichmäßigkeit der Schichten in verschiedenen Produktionsanlagen bei.

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