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ST11208 Silizium-Planar-Target, Si-Target

Katalog-Nr. ST11208
Zusammensetzung Si
Reinheit ≥99,99%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Silizium-Planar-Target (Si-Target) ist ein aus Silizium hergestelltes Sputtertarget mit einer präzisen planaren Oberfläche. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet kontrollierte Herstellungsprozesse an, einschließlich Inline-Messtechnik und Oberflächeninspektion zur Überwachung der Ebenheit und des Verunreinigungsgrads. Dieser Ansatz minimiert Defekte und gewährleistet einheitliche Materialeigenschaften, die für Abscheidungsprozesse unerlässlich sind. Das Produkt profitiert von detaillierten Chargenprüfungsprotokollen, die die Maßgenauigkeit vor dem Versand überprüfen.

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FAQ

Wie wirkt sich die planare Oberflächenbeschaffenheit des Siliziumtargets auf die Sputterleistung aus?

Die ebene Oberfläche sorgt für eine gleichmäßige Abscheidungsrate auf dem gesamten Substrat und minimiert so die Schwankungen in der Schichtdicke. Die Gleichmäßigkeit des Sputterns trägt direkt zu einer verbesserten Reproduzierbarkeit der Dünnschichteigenschaften bei.

Welche Handhabungsverfahren werden empfohlen, um eine Kontamination des Siliziumtargets zu vermeiden?

Verwenden Sie geeignete Reinraumprotokolle, einschließlich antistatischer Handhabung und der Verwendung von Handschuhen. Die Minimierung der Exposition gegenüber luftgetragenen Partikeln und Feuchtigkeit ist entscheidend für den Erhalt der Oberflächenintegrität des Targets und eine optimale Sputterleistung.

Inwiefern beeinflusst die Anpassung der Zieldimensionen die Prozessintegration?

Durch die Anpassung der Abmessungen kann das Target an die spezifischen Anforderungen des Sputtersystems angepasst werden, was die Kompatibilität mit den Beschichtungskammern gewährleistet. Diese Anpassungsfähigkeit erleichtert eine effizientere Prozessintegration und maximiert die Gleichmäßigkeit der Schichten. Kontaktieren Sie uns für weitere Details.

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