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ST11207 Blei-Zirkonat-Titanat-Target, PZT-Target

Katalog-Nr. ST11207
Zusammensetzung Blei-Zirkonat-Titanat
Reinheit ≥99,99%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rund, rechteckig, etc.
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Blei-Zirkonat-Titanat-Target (PZT-Target) ist ein Sputtertarget aus Pb(Zr,Ti)O₃-Keramik, das für die Abscheidung dünner Schichten in industriellen Prozessen entwickelt wurde. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt quantitative Röntgenbeugungsanalyse und Oberflächenprofilometrie ein, um die Materialgleichmäßigkeit und Phasenintegrität zu bewerten. Der methodische Ansatz von SAM bestätigt, dass jedes Target strenge Zusammensetzungs- und Mikrostrukturkriterien für fortschrittliche Sputtering-Anwendungen erfüllt.

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FAQ

Wie wirkt sich die kundenspezifische Abmessung auf die Gleichmäßigkeit der Abscheidung während des Sputterns aus?

Eine kundenspezifische Abmessung ermöglicht die Optimierung des Ziel-Substrat-Abstands und eine gleichmäßige Plasmaverteilung, was eine gleichmäßige Schichtabscheidung erleichtert. Durch die Anpassung der Abmessungen können die Abscheidungsraten ausgeglichen und Randeffekte abgeschwächt werden. Wenden Sie sich an uns, wenn Sie mehr über die Integration in bestimmte Sputtering-Systeme erfahren möchten.

Welche Prozesskontrollen werden eingesetzt, um die mikrostrukturelle Integrität des PZT-Targets zu erhalten?

Zu den detaillierten Kontrollmaßnahmen gehören Röntgenbeugung und Oberflächenprofilometrie. Mit diesen Verfahren werden die Phasenverteilung und die Oberflächenbeschaffenheit überwacht, um sicherzustellen, dass das Target während der Produktion eine gleichbleibende Mikrostruktur und damit stabile Filmeigenschaften aufweist.

Wie sollte man die thermischen Aspekte unter Berücksichtigung des Schmelzpunkts bei der Sputtering-Beschichtung handhaben?

Obwohl der spezifische Schmelzpunkt nicht angegeben wird, ist das Wärmemanagement entscheidend. Dazu gehört die Aufrechterhaltung einer kontrollierten Substrattemperatur und die Einbeziehung von Kühlmechanismen, um eine örtliche Überhitzung während der Abscheidung zu vermeiden. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Empfehlungen zur thermischen Behandlung.

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