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ST11206 Blei-Planar-Target, Pb-Target

Katalog-Nr. ST11206
Zusammensetzung Pb
Reinheit ≥99,99%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Lead Planar Target, Pb Target ist ein Sputtertarget, das hauptsächlich aus Blei besteht und für die Abscheidung dünner Schichten verwendet wird. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet bewährte metallurgische Verarbeitungstechniken und strenge Oberflächenkontrollen mittels optischer Mikroskopie an, um eine strenge Kontrolle der Verunreinigungen zu gewährleisten. Das Prozessprotokoll von SAM umfasst Verifizierungstests von Charge zu Charge, um sicherzustellen, dass die planare Oberfläche die definierten maßlichen und chemischen Standards für eine optimale Sputterleistung erfüllt.

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FAQ

Welchen Einfluss hat die Anpassung der Abmessungen auf den Sputterprozess?

Durch die kundenspezifischen Abmessungen kann das Target an spezifische Kammeranforderungen angepasst werden, wodurch eine gleichmäßige Plasmaverteilung und Abscheiderate gewährleistet wird. Diese Anpassung optimiert die Gleichmäßigkeit des Films auf den Substraten und trägt dazu bei, Kanteneffekte zu reduzieren und die Prozesssteuerung insgesamt zu verbessern.

Welche Qualitätskontrollmaßnahmen werden bei der Herstellung des Bleiplanar-Targets durchgeführt?

Das Target wird einer strengen Prüfung mit optischen und profilometrischen Methoden unterzogen, um Ebenheit und Konsistenz zu gewährleisten. Bei diesen Prüfungen wird sichergestellt, dass sowohl die chemische Reinheit als auch die Maßtoleranzen den festgelegten Prozesskriterien für eine verbesserte Abscheidungsleistung entsprechen.

Kann dieses Bleitarget ohne Änderungen in bestehende Sputteranlagen integriert werden?

Ja, aufgrund seines planaren Designs und seiner anpassbaren Abmessungen kann das Target an verschiedene Sputtering-Anlagen angepasst werden. Je nach den spezifischen Anlagenparametern können Anpassungen erforderlich sein. Wenden Sie sich daher an uns, um detaillierte Integrationsrichtlinien zu erhalten.

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