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ST11197 Niob-Planar-Target, Nb-Target

Katalog-Nr. ST11197
Zusammensetzung Nb
Reinheit ≥99,95%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Niobium Planar Target, Nb Target ist ein Sputtertarget, das aus hochreinem Niob für die Dünnschichtabscheidung hergestellt wird. Stanford Advanced Materials (SAM) stellt dieses Target unter Verwendung fortschrittlicher Materialverarbeitungsprotokolle und Oberflächencharakterisierungstechniken wie Röntgenbeugung und Rasterelektronenmikroskopie her. SAM führt in mehreren Stufen strenge Inspektionsverfahren durch, um die einheitliche Zusammensetzung und strukturelle Konsistenz zu überprüfen und sicherzustellen, dass das Target den strengen Anforderungen moderner Sputtering-Systeme entspricht.

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FAQ

Wie wirkt sich die Substrattemperatur auf die Sputterleistung mit einem Niobtarget aus?

Variationen der Substrattemperatur können die Schichthaftung und die Abscheidungsrate beeinflussen. Niedrigere Temperaturen können die Adatom-Mobilität verringern, was zu weniger gleichmäßigen Schichten führt, während eine kontrollierte Erwärmung die Schichtdichte verbessert. Für eine optimale Prozessabstimmung sind Experimente unter kontrollierten Bedingungen ratsam. Kontaktieren Sie uns für weitere Beratung.

Welchen Einfluss hat die Reinheit des Niobs auf den Sputterprozess?

Ein höherer Niob-Reinheitsgrad minimiert Verunreinigungen, die während der Abscheidung zu mikrostrukturellen Defekten führen könnten. Sie fördert eine einheitliche Filmmorphologie und gleichbleibende elektrische Eigenschaften. Die Qualitätskontrolle durch Oberflächenanalyse hilft bei der Einhaltung des spezifizierten Reinheitsgrades. Kontaktieren Sie uns für weitere technische Unterstützung.

Welche Wartungsverfahren werden empfohlen, um die Unversehrtheit der Oberfläche des Ziels zu erhalten?

Regelmäßige Inspektionen mit dem REM und eine schonende Reinigung mit nicht reaktiven Lösungsmitteln können die Oberflächenverschmutzung verringern. Vermeiden Sie abrasive Reinigungsmethoden, um Mikrokratzer zu vermeiden. Eine regelmäßige Überwachung stellt sicher, dass das Target seine einheitliche Zusammensetzung und Wirksamkeit für das Sputtern beibehält. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Empfehlungen.

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