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ST11196 Molybdändisulfid-Planar-Target, MoS2-Target

Katalog-Nr. ST11196
Zusammensetzung MoS2
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das planare Molybdändisulfid-Target (MoS2-Target) wurde für Dünnschichtabscheidungsprozesse mit Schwerpunkt auf Gleichmäßigkeit und kontrollierbarer Schichtdicke entwickelt. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt eine strenge Oberflächenanalyse mit Techniken wie Rasterelektronenmikroskopie und energiedispersiver Spektroskopie ein, um die Ebenheit und die Zusammensetzung des Targets zu beurteilen. Dieser kontrollierte Prozess stellt sicher, dass Oberflächenunregelmäßigkeiten minimiert werden, was die Konsistenz bei Sputtering-Anwendungen unterstützt, bei denen es auf Präzision ankommt.

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Beschreibung
Spezifikation
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FAQ

Welchen Einfluss hat die Planarität des MoS2-Targets auf die Sputterabscheidung?

Die Ebenheit des Targets beeinflusst die Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schicht. Eine gleichmäßige Oberflächenverteilung verringert Dickenschwankungen, was für die Konsistenz der Halbleiterschichten entscheidend ist. Regelmäßige Kontrollen des Oberflächenprofils tragen zur Aufrechterhaltung der Qualität bei längeren Sputtervorgängen bei.

Welche Maßnahmen zur Qualitätskontrolle gibt es für dieses Sputtertarget?

SAM nutzt die Oberflächenabbildung und die Analyse der Zusammensetzung, um die Planarität und Reinheit des Targets zu überprüfen. Diese Bewertungen tragen dazu bei, dass das Target die Spezifikationen des Sputterprozesses erfüllt und Defekte im Dünnschichtabscheidungsprozess minimiert werden.

Können die Zielmaße angepasst werden, ohne die Leistung zu beeinträchtigen?

Ja, die Abmessungen werden als kundenspezifische Parameter angeboten. Anpassungen können vorgenommen werden, um spezifische Anforderungen des Sputtersystems zu erfüllen, ohne die Leistung des Targets zu beeinträchtigen, vorausgesetzt, die Bearbeitungstoleranzen und die Kriterien für die Oberflächengüte werden eingehalten. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Anpassungsmöglichkeiten.

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