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ST11194 Mangan-Drehscheibe, Mn-Zielscheibe

Katalog-Nr. ST11194
Zusammensetzung Mn
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Röhrenförmig
Abmessungen Kundenspezifisch

Manganese Rotary Target, Mn Target ist ein Sputtertarget, das für die Abscheidung von Manganschichten durch Rotationszerstäubung verwendet wird. Dieses von Stanford Advanced Materials (SAM) entwickelte Produkt zeichnet sich durch eine streng kontrollierte Materialreinheit und eine einheitliche Kristallstruktur aus. SAM wendet eine strenge Qualitätskontrolle an, einschließlich Röntgenbeugungsanalyse und Oberflächeninspektion, um die Schwankungen während der Abscheidung zu minimieren. Diese Prozesskontrolle trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit der Schichten und die gleichbleibende Leistung bei Sputtering-Anwendungen zu gewährleisten.

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FAQ

Welchen Einfluss haben die Oberflächenbeschaffenheit und die Materialreinheit auf die Gleichmäßigkeit des Sputterns?

Die feine Oberflächenbeschaffenheit und die hohe Materialreinheit minimieren die Partikelbildung, was zu einer gleichmäßigeren Erosionsrate während des Sputterns führt. Dies führt zu einer gleichmäßigeren Schichtabscheidung auf Substraten ohne nennenswerte Zielvariabilität. Für weitere Details kontaktieren Sie uns bitte.

Wie beeinflussen die kundenspezifischen Dimensionen die Zielleistung und die Prozessstabilität?

Durch die kundenspezifischen Abmessungen kann das Target an spezifische Konfigurationen von Sputtersystemen angepasst werden, was die Konsistenz der Schichtdicke und die Stabilität der Abscheidungsrate verbessert. Diese Anpassung trägt dazu bei, ein optimales Gleichgewicht zwischen Erosionsrate und Lebensdauer des Targets zu erreichen. Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns.

Welche Verfahren werden vor dem Sputtern empfohlen, um das Kontaminationsrisiko zu verringern?

Durch Vorsputtern mit einem kurzen Konditionierungslauf können Oberflächenverunreinigungen entfernt werden, wodurch die Partikelfreisetzung während der eigentlichen Abscheidung verringert wird. Diese Behandlung stabilisiert das Erosionsprofil des Targets und minimiert die Prozessunterbrechungen. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an uns.

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