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ST11191 Indium-Drehscheibe, im Ziel

Katalog-Nr. ST11191
Zusammensetzung Unter
Reinheit ≥99,99%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Röhrenförmig
Abmessungen Kundenspezifisch

Indium Rotary Target, In Target wurde für Sputtering-Beschichtungsprozesse mit hochreinem Indium entwickelt. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet das Vakuum-Lichtbogenschmelzen und die Oberflächenanalyse mittels Rasterelektronenmikroskopie (SEM) an, um die Gleichmäßigkeit der Mikrostruktur zu überwachen. Der Herstellungsprozess legt Wert auf Maßgenauigkeit und kontrollierte Oberflächenbeschaffenheit, um eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung zu unterstützen. SAM setzt quantitative Qualitätskontrollmethoden ein, um die wichtigsten Parameter zu überprüfen und sicherzustellen, dass das Produkt präzise technische Kriterien erfüllt.

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FAQ

Welchen Einfluss hat das Rotationsdesign auf die Gleichmäßigkeit des Films während des Sputterns?

Die Rotationskonfiguration ermöglicht einen gleichmäßigen Abtrag über die Zieloberfläche, was zu gleichmäßigen Abscheideraten und Schichtdicken beiträgt. Dieses Design minimiert die lokale Verarmung und unterstützt gleichmäßige Dünnschichteigenschaften über große Substratflächen.

Wie beeinflussen die kundenspezifischen Abmessungen den Abscheidungsprozess?

Dank der kundenspezifischen Abmessungen kann das Target an die jeweilige Sputteranlage angepasst werden, was eine korrekte Ausrichtung und eine gleichmäßige Energieverteilung gewährleistet. Dies reduziert Randeffekte und trägt zur Homogenität der abgeschiedenen Schicht bei.

Welche Qualitätskontrollverfahren werden zur Bewertung der Oberflächenintegrität des Zielobjekts angewandt?

SAM nutzt die Oberflächenprofilierung mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) und die prozessbegleitende Dimensionsmessung, um die Oberflächenbeschaffenheit und -konsistenz zu prüfen. Diese Techniken helfen, mikrostrukturelle Unregelmäßigkeiten vor dem Einsatz in Sputteranlagen zu erkennen.

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