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ST11189 Gallium-Sulfid-Zerstäubungstarget, Ga2S3-Target

Katalog-Nr. ST11189
Zusammensetzung Ga2S3
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig, Rund
Abmessungen Kundenspezifisch

Galliumsulfid Sputtering Target, Ga2S3 Target ist eine hochreine Ga2S3-Verbindung, die für Anwendungen der physikalischen Gasphasenabscheidung entwickelt wurde. Das von Stanford Advanced Materials (SAM) hergestellte Target unterliegt kontrollierten Zusammensetzungsanpassungen und mikrostrukturellen Überprüfungen durch Methoden wie Röntgenbeugung und energiedispersive Spektroskopie. Dieses technische Verfahren trägt zur Aufrechterhaltung einer strengen Qualitätskontrolle bei und stellt sicher, dass das Target die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen erforderlichen Anforderungen an Einheitlichkeit und Leistung erfüllt.

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FAQ

Welchen Einfluss hat die Mikrostruktur des Galliumsulfid-Sputter-Targets auf den Sputtering-Abscheidungsprozess?

Die Mikrostruktur des Targets wirkt sich auf die Plasmastabilität und die Gleichmäßigkeit der Schicht aus. Eine kontrollierte Korngrößenverteilung minimiert die Partikelzerstäubung und gewährleistet eine gleichmäßige Energieübertragung, was sich direkt auf die Schichthaftung und die Gleichmäßigkeit bei der Abscheidung auswirkt.

Welche Bearbeitungsmethoden werden eingesetzt, um die kundenspezifischen Abmessungen der Scheibe zu erreichen?

Das Target wird durch Präzisionsbearbeitung und kontrollierte Sinterprozesse hergestellt. Diese Methoden ermöglichen die Anpassung der Targetabmessungen an spezifische Sputter-Systemkonfigurationen unter Beibehaltung der Substratintegrität.

Wie wirken sich die Materialeigenschaften von Ga2S3 auf die Schichthaftung während der Abscheidung aus?

Die kontrollierte chemische Zusammensetzung und die inhärente thermische Stabilität von Ga2S3 sorgen für eine einheitliche Zieloberfläche, die eine gleichmäßige Verteilung des Plasmas und eine verbesserte Schichthaftung fördert. Dadurch werden Defekte minimiert und die Effizienz der Abscheidung in verschiedenen Halbleiterprozessen erhöht.

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