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ST11185 Kupfer-Mangan-Drehscheibe, CuMn-Zielscheibe

Katalog-Nr. ST11185
Zusammensetzung Cu, Mn
Reinheit ≥99,9%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Röhrenförmig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Kupfer-Mangan-Rotations-Target (CuMn-Target) ist ein technisches Sputtertarget, das aus einer Kupfer-Mangan-Legierung mit kontrollierter, ausgeglichener Zusammensetzung besteht. Stanford Advanced Materials (SAM) verwendet systematische Materialprüfungen und Oberflächenintegritätstests, um die Konsistenz der Zusammensetzung zu bewerten. Der Herstellungsprozess umfasst strenge metallurgische Verarbeitungs- und Validierungsschritte, die sicherstellen, dass das Target präzise Toleranzen für eine gleichmäßige Sputtering-Abscheidung einhält. Die etablierten Verfahren von SAM unterstützen eine konsistente Leistung bei der Herstellung von Dünnschichten.

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FAQ

Welchen Einfluss hat das Kupfer-Mangan-Verhältnis auf die Sputtering-Abscheidung?

Das spezifische Verhältnis bestimmt die Sputterausbeute und das Verhalten des Plasmas. Die Anpassung der Kupfer-Mangan-Zusammensetzung kann die Abscheiderate und die Gleichmäßigkeit der Schicht optimieren und ist daher für Prozesse, bei denen die Präzision der Zusammensetzung entscheidend ist, von entscheidender Bedeutung.

Welche Faktoren beeinflussen die Verschleißrate eines rotierenden Sputtertargets?

Der Targetverschleiß wird durch die Plasmadichte, die Leistungseinstellungen und die Rotationsgeschwindigkeit beeinflusst. Ein kontrolliertes Design und konsistente Materialeigenschaften tragen zur Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Erosion bei, was für die langfristige Konsistenz der Abscheidung unerlässlich ist.

Wie sollte dieses Sputtertarget in bestehende Systeme integriert werden?

Bei der Integration müssen die Abmessungen des Targets und die Kompatibilität der Montage mit der Sputterkammer überprüft werden. Außerdem ist es ratsam, Betriebsparameter wie Strom und Druck an das definierte Abscheidungsprofil des Targets anzupassen. Für eine anlagenspezifische Beratung wenden Sie sich bitte an uns.

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