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ST11181 Chrom-Aluminium-Sputtering-Target, CrAl-Target

Katalog-Nr. ST11181
Zusammensetzung Cr, Al
Reinheit ≥99,8%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rund, rechteckig, etc.
Abmessungen Kundenspezifisch

Das Chrom-Aluminium-Sputtering-Target, CrAl-Target, ist ein Sputtermaterial, das für präzise Dünnschichtabscheidungsprozesse entwickelt wurde. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt fortschrittliche Lichtbogenschmelz- und Vakuumverarbeitungstechniken ein, um Targets mit streng überwachter Elementzusammensetzung herzustellen. Der Produktionsprozess umfasst systematische rasterelektronenmikroskopische Prüfungen, um die Gleichmäßigkeit der Oberfläche und die Konsistenz der Zusammensetzung zu überprüfen und sicherzustellen, dass das Target die strengen technischen Spezifikationen für industrielle Anwendungen erfüllt.

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FAQ

Welchen Einfluss hat die Legierungszusammensetzung auf die Leistung des Sputterprozesses?

Das spezifische Verhältnis von Chrom und Aluminium im Target beeinflusst die Abscheideraten und die Gleichmäßigkeit der Schichten. Eine kontrollierte Zusammensetzung minimiert die Schwankungen während des Sputterns, was für eine gleichmäßige Schichtabdeckung in der Mikrofertigung entscheidend ist.

Welche Maßnahmen sollten bei der Integration dieses Targets in ein Depositionssystem getroffen werden?

Es ist wichtig sicherzustellen, dass die Kühl- und Montagesysteme mit den thermischen Eigenschaften des Targets kompatibel sind. Eine ordnungsgemäße Ausrichtung und Handhabung verringert das Risiko von Lichtbögen und gewährleistet eine gleichbleibende Filmqualität. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Integrationsrichtlinien.

Wie wird die Qualität der Zielscheibe vor dem Versand überprüft?

Die Qualitätsprüfung umfasst die Prüfung der Oberflächenmorphologie mittels REM und die Analyse der Zusammensetzung mittels EDS. Diese Tests bestätigen die Homogenität und Präzision der Legierung und gewährleisten, dass das Target die technischen Anforderungen für Hochleistungsabscheidungsprozesse erfüllt.

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