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ST11180 Chrom-Planar-Target, Cr-Target

Katalog-Nr. ST11180
Zusammensetzung Cr
Reinheit ≥99,5%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Chrom Planar Target, Cr Target ist ein Sputtertarget aus hochreinem Chrommetall, das in einer planaren Form für die Dünnschichtabscheidung konfiguriert ist. Das Produkt wird von Stanford Advanced Materials (SAM) hergestellt, das eine strenge Überwachung der physikalischen Gasphasenabscheidung und eine Oberflächenbewertung auf atomarer Ebene durchführt. SAM wendet systematische Qualitätskontrollverfahren an, einschließlich spektroskopischer Analysen und Maßkalibrierung, um enge Toleranzen einzuhalten und eine gleichbleibende Leistung bei Sputtering-Anwendungen zu gewährleisten.

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FAQ

Wie wirkt sich die kundenspezifische Dimension auf die Gleichmäßigkeit der Schicht bei der Sputterabscheidung aus?

Die kundenspezifischen Abmessungen des Targets gewährleisten die Kompatibilität mit verschiedenen Sputtering-Systemen und fördern eine gleichmäßige Schichtdicke. Diese exakte Dimensionierung minimiert Abschattungseffekte und unterstützt die gleichmäßige Verteilung des Materials auf dem Substrat.

Welche Qualitätskontrollmaßnahmen werden bei der Herstellung dieser Zielscheibe durchgeführt?

Der Herstellungsprozess umfasst spektroskopische Analysen und Rasterkraftmikroskopie zur Überwachung der Materialreinheit und Oberflächenebenheit. Diese Kontrollen verringern die Variabilität und stellen sicher, dass jedes Target die genauen Ablagerungsanforderungen erfüllt.

Gibt es spezielle Wartungsprotokolle für Systeme, die Chromsputtertargets verwenden?

Systeme, die Chromsputtertargets verwenden, sollten regelmäßig gereinigt und kalibriert werden, um eine Verunreinigung durch Partikel zu vermeiden. Die Überwachung des Targetverschleißes und die Anpassung der Leistungseinstellungen gewährleisten eine gleichbleibende Schichtqualität. Kontaktieren Sie uns für weitere technische Beratung.

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