ST11178 Eisen-Kobalt-Bor-Drehscheibe, CoFeB-Zielscheibe

Eisen-Kobalt-Bor-Drehtarget, CoFeB-Target Beschreibung

Das Eisen-Kobalt-Bor-Rotations-Target, CoFeB-Target, ist ein Legierungstarget, das in Sputtersystemen für die Dünnschichtabscheidung verwendet wird. Die kontrollierte Mischung aus Eisen, Kobalt und Bor trägt dazu bei, gleichmäßige Erosions- und Abscheidungseigenschaften zu erzielen. Der Drehmechanismus erleichtert die gleichmäßige Abnutzung des Targets und trägt zur Aufrechterhaltung stabiler Plasmabedingungen während des Sputterns bei. Diese Konstruktion verbessert die Gleichmäßigkeit der Schichten und die Wiederholbarkeit des Prozesses bei Halbleiter- und Beschichtungsanwendungen.

Eisen-Kobalt-Bor-Drehtarget, CoFeB-Target Merkmale

*Die obigen Produktinformationen beruhen auf theoretischen Daten und dienen nur als Referenz. Tatsächliche Spezifikationen können abweichen.

Eisen-Kobalt-Bor-Drehtarget, CoFeB-Target Anwendungen

1. inder Elektronikfertigung
- Verwendung als Sputterquelle bei der Halbleiterherstellung, um durch die kontrollierte Legierungszusammensetzung eine gleichmäßige Schichtabscheidung zu erreichen.
- Anwendung bei der Herstellung von magnetischen Speicherschichten zur Erzielung stabiler magnetischer Eigenschaften durch die Nutzung der maßgeschneiderten Mikrostruktur.

2. inder Display-Technologie
- Dient als Abscheidungsziel bei der Herstellung von Bildschirmen, um eine gleichmäßige Schichtdicke in den aktiven Bereichen zu gewährleisten und Probleme mit ungleichmäßiger Helligkeit und gleichmäßigen Erosionseigenschaften zu lösen.
- Wird häufig für die Beschichtung transparenter Elektroden verwendet, bei denen gleichmäßige Schichteigenschaften die Widerstandsverluste mindern.

3.industrielle Beschichtungsverfahren
- Wird bei der Herstellung von verschleißfesten Beschichtungen auf Bauteilen eingesetzt, um die Oberflächenleistung durch Nutzung der gleichmäßigen Sputterrate zu verbessern.
- Bietet Lösungen für großflächige Beschichtungsanwendungen und verbessert die Prozesswiederholbarkeit durch sein Rotationsdesign.

Eisen-Kobalt-Bor-Rotations-Target, CoFeB-Target-Verpackung

Das Target ist in einem antistatischen, gepolsterten Behälter verpackt, um mechanische Stöße und Verunreinigungen während des Transports zu reduzieren. Es ist in einer feuchtigkeitsbeständigen Verpackung versiegelt und mit Schaumstoffeinlagen versehen, um die Stabilität zu gewährleisten. Eine ordnungsgemäße Lagerung in einer trockenen, temperaturgeregelten Umgebung wird empfohlen. Kundenspezifische Verpackungsoptionen, einschließlich zusätzlicher Beschriftung und Unterteilung in Fächer, sind auf Anfrage erhältlich.

Zusätzliche Informationen

Das Verständnis der metallurgischen Eigenschaften von Eisenbasislegierungen ist für die Beurteilung ihrer Leistung bei Sputteranwendungen von wesentlicher Bedeutung. Durch die Beimischung von Kobalt und Bor werden die magnetischen und mechanischen Eigenschaften der Legierung verändert, was bei der Dünnschichtabscheidung von entscheidender Bedeutung ist. Die Materialanalyse mit Techniken wie REM und Spektroskopie hilft bei der Validierung dieser Eigenschaften.

In einem breiteren Kontext haben Fortschritte in der Sputtertechnologie die Gleichmäßigkeit der Abscheidung und die Verarbeitungsgeschwindigkeiten verbessert, die für moderne elektronische und optische Geräte erforderlich sind. Detaillierte Kenntnisse über Materialeigenschaften und Verarbeitungsmethoden unterstützen die laufenden Innovationen in der Beschichtungs- und Halbleiterindustrie.