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ST11172 Planares Aluminium-Zink-Indium-Silizium-Target, AlZnInSi-Target

Katalog-Nr. ST11172
Zusammensetzung Al, Zn, In, Si
Reinheit ≥90%
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Das planare Aluminium-Zink-Indium-Silizium-Target (AlZnInSi-Target) wird in einem kontrollierten Legierungsverfahren hergestellt, das eine gleichbleibende Multielement-Zusammensetzung für Sputtering-Anwendungen gewährleistet. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt eine systematische Elementanalyse und Oberflächenmorphologieprüfung mittels Elektronenmikroskopie ein, um die Einheitlichkeit der Zusammensetzung zu überprüfen. Bei der Herstellung dieses Produkts werden strenge Prozesskontrollen durchgeführt, um ein präzises Legierungsverhältnis aufrechtzuerhalten, das den hohen Anforderungen moderner Dünnschichtabscheidungssysteme entspricht.

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FAQ

Welche Parameter des Sputtersystems sollten bei der Verwendung des AlZnInSi-Targets berücksichtigt werden?

Das Target erfordert eine Anpassung der Leistungsdichte und des Arbeitsdrucks zur Optimierung der Abscheiderate. Die Betreiber sollten ihre Sputtersysteme so kalibrieren, dass sie den kundenspezifischen Abmessungen des Targets entsprechen und ein gleichmäßiges Schichtwachstum und eine kontrollierte Elementverteilung gewährleisten.

Wie wirkt sich die Multielementzusammensetzung auf die Gleichmäßigkeit der Abscheidung aus?

Die integrierten Legierungselemente ermöglichen eine ausgewogene Sputterausbeute auf der gesamten Oberfläche des Targets. Diese Zusammensetzung minimiert lokale Schwankungen während der Schichtabscheidung und gewährleistet eine gleichmäßige Schichtdicke und -zusammensetzung, was für die Herstellung von Halbleiterbauelementen unerlässlich ist.

Gibt es spezielle Reinigungsprotokolle, die für die Pflege der Zieloberfläche empfohlen werden?

Es wird eine regelmäßige Reinigung mit nicht scheuernden Lösungsmitteln und eine strenge Partikelkontrolle empfohlen. Eine ordnungsgemäße Handhabung minimiert die Oberflächenkontamination und bewahrt die planare Integrität des Targets, wodurch die Leistung bei hochpräzisen Sputteranwendungen erhalten bleibt.

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