ST11171 Aluminium-Zinn-Kupfer-Drehscheibe, AlSnCu-Zielscheibe

Katalog-Nr.	ST11171
Zusammensetzung	Al, Sn, Cu
Reinheit	≥99.9%
Formular	Ziel
Formular	Röhrenförmig
Abmessungen	Kundenspezifisch

Aluminum Tin Copper Rotary Target, AlSnCu Target wird unter strenger Kontrolle der Legierungselemente hergestellt, um eine einheitliche Sputterleistung zu erzielen. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt quantitative chemische Analysen und metallographische Auswertungen ein, um die Genauigkeit der Zusammensetzung zu überwachen. Die Targets werden mit kalibrierten Glühverfahren und Maßprüfungen verarbeitet, um sicherzustellen, dass jede Charge die festgelegten industriellen Toleranzen für Konsistenz und Leistung bei Sputteranwendungen einhält.

ANFRAGE

Beschreibung

Spezifikation

Bewertungen

FAQ

Wie wirkt sich die Legierungszusammensetzung des Aluminium-Zinn-Kupfer-Rotations-Targets auf die Sputtering-Leistung aus?

Die Legierungszusammensetzung des Targets wirkt sich direkt auf die Gleichmäßigkeit der Schicht und die Abscheidungsrate aus. Kontrollierte Legierungsverhältnisse tragen zur Stabilisierung des Sputterprozesses bei und gewährleisten eine gleichmäßige Erosion und Abscheidung. Diese präzise Steuerung minimiert Schwankungen der Schichteigenschaften, was für Halbleiter- und Beschichtungsanwendungen unerlässlich ist.

Welches sind die empfohlenen Betriebsbedingungen für eine optimale Schichtabscheidung mit diesem Target?

Eine optimale Leistung wird durch die Aufrechterhaltung einer stabilen Plasmaumgebung und die Kontrolle des Abstands zwischen Target und Substrat erreicht. Temperatur und Druck sollten genau überwacht werden. Gleichbleibende Betriebsbedingungen verbessern die Gleichmäßigkeit der Schichten und die Abscheidungsrate und verringern gleichzeitig die Verschlechterung des Targets während des Sputterprozesses.

Wie beeinflusst die mikrostrukturelle Einheitlichkeit die Targeterosion beim Sputtern?

Die einheitliche Mikrostruktur minimiert lokale Schwankungen der Erosionsraten, was zu einer konstanten Sputterleistung führt. Die kontrollierte Legierungsverarbeitung reduziert Hotspots und verbessert die Zuverlässigkeit der Schichtabscheidung. Regelmäßige Analysen der Gefügeeigenschaften helfen bei der Anpassung der Prozessparameter, um ungleichmäßigen Verschleiß zu mindern.