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ST11170 Aluminium-Silizium-Planar-Target, AlSi-Target

Katalog-Nr. ST11170
Zusammensetzung Al, Si
Inhalt ≥99,99%, oder kundenspezifisch
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Aluminum Silicon Planar Target, AlSi Target ist ein Sputtertarget, das aus einer Aluminium-Silizium-Legierung für Dünnschichtabscheidungsprozesse hergestellt wird. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet strenge Analysemethoden an, einschließlich mikrostruktureller Analysen auf der Basis von REM, um die Einheitlichkeit und Zusammensetzung der Legierung zu bestätigen. SAM wendet systematische Qualitätskontrollprotokolle während der Produktion an, um die Konsistenz der Legierung zu überwachen und sicherzustellen, dass das Target den detaillierten Spezifikationen entspricht, die für Präzisions-Sputteranwendungen erforderlich sind.

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FAQ

Wie wirkt sich die Legierungszusammensetzung auf die Sputtering-Leistung aus?

Das Aluminium-Silizium-Verhältnis beeinflusst die Gleichmäßigkeit des Films und die Abscheideraten. Eine kontrollierte Zusammensetzung minimiert Partikel und gewährleistet reproduzierbare Dünnschichteigenschaften. Diese Konsistenz ist entscheidend für Geräte, die einheitliche elektrische und mechanische Eigenschaften erfordern.

Welche Maßnahmen werden ergriffen, um die Qualität der Oberfläche des Ziels zu erhalten?

SAM wendet eine systematische Qualitätskontrolle an, einschließlich der Messung der Oberflächenrauheit und der mikroskopischen Inspektion, um etwaige Unvollkommenheiten zu erkennen und zu beseitigen. Diese Maßnahmen tragen dazu bei, eine ebene Oberfläche zu erhalten, die für eine gleichmäßige Zerstäubung in den Abscheidekammern entscheidend ist.

Können die Abmessungen des Targets für verschiedene Sputtering-Systeme angepasst werden?

Ja, die Abmessungen sind anpassbar an verschiedene Sputtering-Systeme. Die Anpassung der Zielgröße an spezifische Beschichtungskammerdesigns gewährleistet Kompatibilität und optimale Effizienz bei der Filmabscheidung. Für detaillierte Anpassungen kontaktieren Sie uns bitte.

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