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ST11165 Silber-Planar-Target, Ag-Target

Katalog-Nr. ST11165
Zusammensetzung Ag
Reinheit ≥99.99%
Formular Ziel
Formular Rechteckig
Abmessungen Kundenspezifisch

Silver Planar Target, Ag Target ist ein Silber-Sputtering-Target, das mit hochreinem Silber und einer flachen, ebenen Oberfläche für eine effektive Dünnschichtabscheidung hergestellt wird. Stanford Advanced Materials (SAM) setzt während der Produktion spektroskopische Analysen und SEM-Bildgebung ein, um die mikrostrukturelle Konsistenz zu überwachen. Dieses Qualitätskontrollverfahren minimiert Verunreinigungen und Maßabweichungen und gewährleistet die Leistungsfähigkeit des Targets bei Anwendungen, die kontrollierte Abscheidungseigenschaften erfordern. Die SAM-Anlage verfügt auch über ein Laserscanning zur präzisen Überprüfung der Abmessungen.

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FAQ

Welche Aspekte sind bei der Verwendung von Silbersputtertargets zu beachten?

Zu den wichtigsten Faktoren gehören die Aufrechterhaltung einer sauberen Target-Oberfläche und die Kontrolle von Temperatur und Druck in der Sputterkammer. Regelmäßige Inspektionen mit Hilfe der Elektronenmikroskopie tragen dazu bei, die Gleichmäßigkeit der Oberfläche zu gewährleisten und potenzielle Abscheidungsfehler zu minimieren. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Strategien zur Prozessoptimierung.

Welchen Einfluss hat die Mikrostruktur auf die Leistung eines Silbersputtertargets?

Eine einheitliche Mikrostruktur verbessert die Konsistenz des Sputterns, indem sie die lokale Erosion verringert und eine gleichmäßige Schichtabscheidung gewährleistet. Schwankungen in der Korngröße können die Sputterrate und die Gleichmäßigkeit der Beschichtung beeinträchtigen. Durch den Einsatz von REM und Profilometrie kann die Integrität des Targets für Hochleistungsanwendungen überprüft werden.

Welche Reinigungsprotokolle werden vor dem Betrieb von Silbersputtertargets empfohlen?

Typische Verfahren sind die Reinigung mit Lösungsmitteln und die Plasmavorbehandlung zur Entfernung von Oberflächenoxiden und Verunreinigungen. Diese Methoden verbessern die Filmhaftung und die Abscheidequalität. Eine routinemäßige Oberflächeninspektion mittels spektroskopischer Analyse wird empfohlen, um die Leistung sicherzustellen.

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