SC11892 Kundenspezifische Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung

Kundenspezifische Siliziumkarbid-Vakuum-Spannvorrichtung Beschreibung

Die aus SiC hergestellte kundenspezifische Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung weist eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen thermische und chemische Beanspruchungen auf, die bei der Vakuumverarbeitung auftreten. Die gesinterte Struktur fördert die Dimensionsstabilität und mechanische Festigkeit und gewährleistet die Kompatibilität mit Standard-Halbleiteranlagen. Die inhärente Inertheit von Siliziumkarbid minimiert die Reaktion mit Prozessgasen aus der Umgebung und schützt so empfindliche Substrate während der thermischen Zyklen. Dieses Bauteil ist für die präzise Steuerung in Hochtemperatur- und Hochvakuumumgebungen optimiert.

Merkmale der kundenspezifischen Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung

*Die obigen Produktinformationen beruhen auf theoretischenDaten und dienen nur als Referenz. Tatsächliche Spezifikationen können abweichen.

Kundenspezifische Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtungen Anwendungen

Elektronik
- Verwendung als Halterung in der Halbleiterwaferverarbeitung, um eine stabile Positionierung unter thermischen Zyklen zu erreichen, indem die hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC genutzt wird.
- Wird als Komponente in Vakuum-Beschichtungssystemen eingesetzt, um die Maßgenauigkeit zu erhalten und Oberflächenverunreinigungen zu vermeiden.

Industriell
- Dient als Träger in Vakuumsinteröfen zur Sicherung von Teilen während Hochtemperaturvorgängen, indem die Druckfestigkeit von SiC genutzt wird.
- Wird häufig in Präzisionsbearbeitungsanlagen verwendet, um Komponenten unter Vakuum zu halten und aufgrund seiner chemischen Inertheit das Kontaminationsrisiko zu verringern.

Kundenspezifische Siliziumkarbid-Vakuumspannfutter-Packung

Die kundenspezifische Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung wird in antistatischen, feuchtigkeitsbeständigen Behältern mit stoßabsorbierendem Schaumstoff verpackt. Sie wird in einer stabilen Kiste verpackt, um mechanische Stöße während des Transports abzumildern. Es wird empfohlen, sie in einer Umgebung mit kontrollierter Temperatur und geringer Luftfeuchtigkeit zu lagern, um ihre thermischen und mechanischen Eigenschaften zu erhalten. Kundenspezifische Verpackungsoptionen, einschließlich kundenspezifischer Beschriftung und unterteilter Einsätze, sind auf Anfrage erhältlich.

Zusätzliche Informationen

Siliziumkarbid ist eine weithin untersuchte Keramik, die für ihre außergewöhnliche thermische und chemische Widerstandsfähigkeit bekannt ist. Seine Verwendung in Vakuumumgebungen trägt zur Aufrechterhaltung der Prozessgleichmäßigkeit bei und verringert das Kontaminationsrisiko bei Hochtemperaturprozessen. Jüngste Fortschritte in der keramischen Verarbeitungstechnik haben die mechanischen Eigenschaften von Komponenten auf SiC-Basis verbessert, so dass sie in industriellen Hochleistungsanwendungen und in der Halbleiterindustrie unverzichtbar geworden sind.

Die Entwicklung keramischer Werkstoffe in der Technik hat Alternativen zu herkömmlichen Metallen geschaffen, insbesondere in Umgebungen, in denen thermische Stabilität und Inertheit von entscheidender Bedeutung sind. Durch kontrollierte Synthese und Präzisionsbearbeitung bieten SiC-Bauteile eine höhere Lebensdauer und Betriebskonstanz und tragen so zu verbesserten Prozessergebnissen in verschiedenen Branchen bei.