SC11891 Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung

Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung Beschreibung

Die Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtung wird aus gesintertem polykristallinem SiC hergestellt. Sie wird zur Aufrechterhaltung von Vakuumbedingungen in Halbleiter- und Hochtemperaturverarbeitungssystemen eingesetzt. Die langlebige Keramikstruktur unterstützt eine gleichmäßige Vakuumverteilung und leitet gleichzeitig die Wärme effizient ab. Das Design minimiert mikrostrukturelle Inkonsistenzen, um die Leistung bei wiederholten thermischen und mechanischen Zyklen zu erhalten. Dieses Bauteil ist überall dort einsetzbar, wo eine hohe Betriebsstabilität erforderlich ist.

Eigenschaften von Siliziumkarbid-Vakuumspannvorrichtungen

*Die obigen Produktinformationen beruhen auf theoretischen Daten und dienen nur als Referenz. Tatsächliche Spezifikationen können abweichen.

Siliziumkarbid-Vakuumspannplatte Anwendungen

Elektronik
- Wird als Vakuum-Haltekomponente in Halbleiterverarbeitungsanlagen verwendet, um eine genaue Substratpositionierung zu erreichen, indem die thermische Stabilität und mechanische Steifigkeit von Siliziumkarbid genutzt wird.
- Anwendung als Wafer Chuck in Fotolithografiesystemen, um die thermische Ausdehnung zu begrenzen und dadurch die Verformung bei Temperaturschwankungen zu minimieren.

Industriell
- Dient als Vakuumhalterung in Präzisionsbearbeitungswerkzeugen, um die Ausrichtung des Werkstücks beizubehalten, indem die chemische Inertheit und Dimensionsstabilität der Keramik genutzt wird.
- Wird in automatisierten Montageprozessen eingesetzt, um Komponenten während thermischer Zyklen zu sichern und mechanische Belastungen durch effektive Wärmeableitung zu reduzieren.

Siliziumkarbid-Vakuumspannplatte Verpackung

Die Siliziumkarbid-Vakuumspannplatte wird in antistatischen, schaumstoffgefütterten Behältern verpackt, die mechanische Stöße während des Transports abmildern. Sie wird in einer feuchtigkeitsbeständigen Verpackung versiegelt und unter kontrollierten Temperaturbedingungen gelagert, um die Materialintegrität zu erhalten. Die Verpackung umfasst auch eine kundenspezifische Polsterung und Schutzbarrieren gegen Verunreinigungen. Optionen für Bulk- oder Einzelverpackungen können je nach Kundenwunsch vereinbart werden.

Zusätzliche Informationen

Siliziumkarbid ist eine Keramik, die für ihre hohe Wärmeleitfähigkeit, Härte und chemische Inertheit bekannt ist. Diese Eigenschaften machen es für Hochtemperatur- und Präzisionsbearbeitungsumgebungen weithin einsetzbar. Fortschritte in der Sintertechnologie und Mikrostrukturkontrolle haben seine Leistung für kritische industrielle Anwendungen verbessert.

Die Eigenschaften des Materials unterstützen seine Integration in Systeme, bei denen Betriebsstabilität und gleichbleibende Leistung zwingend erforderlich sind. Ein fundiertes Verständnis des thermischen und mechanischen Verhaltens von Siliciumcarbid ist für den erfolgreichen Einsatz in der Halbleiterfertigung und der Präzisionsbearbeitung sowie in anderen industriellen Prozessen unerlässlich.