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CY11163 Aluminium (Al) beschichtete Silizium-Wafer

Katalog-Nr. CY11163
Material Aluminium, Silizium
Reinheit Al: ≥99,999%
Formular Substrat

Aluminium (Al) beschichtete Siliziumwafer sind Siliziumsubstrate mit einer Aluminiumbedampfung, die die Oberflächeneigenschaften für die Halbleiterverarbeitung verbessert. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet während der Abscheidung fortschrittliche Sputtertechniken und präzise Dickenmessverfahren an. Das Verfahren umfasst optische Inline-Inspektionen und Maßprüfungen, um eine gleichmäßige Schichtdicke und minimale Oberflächendefekte zu gewährleisten, die für die hochpräzise Herstellung von Bauteilen entscheidend sind.

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FAQ

Wie wirkt sich die Aluminiumbeschichtung auf die Leistung der Wafer bei der Halbleiterherstellung aus?

Die Aluminiumschicht ermöglicht eine verbesserte elektrische Leitfähigkeit und wirkt als Diffusionsbarriere. Durch die kontrollierte Abscheidung werden Grenzflächendefekte minimiert, so dass sich der Wafer für die Hochpräzisionslithografie und die Bauelementeintegration eignet. Kontaktieren Sie uns für weitere technische Details.

Welche Reinigungs- und Handhabungsverfahren werden für aluminiumbeschichtete Siliziumwafer empfohlen?

Es ist ratsam, lösungsmittelbasierte Reinigungsmittel in einer Reinraumumgebung zu verwenden. Die Handhabung mit einer Pinzette und antistatischen Vorsichtsmaßnahmen trägt dazu bei, Verunreinigungen und physische Schäden während der Verarbeitung zu vermeiden und die Unversehrtheit der Oberfläche zu gewährleisten.

Wie wird der Prozess der Aluminiumabscheidung gesteuert, um eine gleichmäßige Beschichtung der Waferoberfläche zu gewährleisten?

Die Abscheidung erfolgt durch ein kontrolliertes Sputtering-Verfahren mit Inline-Dickenüberwachung. Dadurch wird eine gleichmäßige Aluminiumschicht auf dem Wafer gewährleistet, was die Variabilität in den nachfolgenden Schritten der Halbleiterherstellung verringert. Kontaktieren Sie uns für weitere Prozessspezifika.

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