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CY11156 Iridium (Ir) beschichtetes Glas

Katalog-Nr. CY11156
Material Iridium, Borosilikat
Reinheit Ir: ≥99,9%
Formular Substrat

Iridium (Ir) beschichtetes Glas ist ein Glassubstrat, auf dessen Oberfläche ein dünner Iridiumfilm aufgebracht ist. Stanford Advanced Materials (SAM) wendet kontrollierte Abscheidungstechniken und eine strenge Oberflächenprüfung mit Hilfe der Elektronenmikroskopie an, um die Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu gewährleisten. Dieses Verfahren minimiert die Verunreinigung und gewährleistet die Einhaltung der strengen Materialeigenschaften, die bei der Halbleiterverarbeitung erforderlich sind. Die besondere Kompetenz von SAM auf dem Gebiet der Gleichmäßigkeit von Dünnschichten wird durch prozessbegleitende Messtechnik verifiziert und unterstützt die gleichbleibende Leistung des Glassubstrats.

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FAQ

Wie wirkt sich die Iridiumbeschichtung auf das optische Verhalten bei der Halbleiterverarbeitung aus?

Die Iridiumschicht kontrolliert das Reflexionsvermögen und bietet eine Barriere gegen chemische Angriffe, was dazu beiträgt, bei der Fotolithografie gleichmäßige optische Reaktionen zu erzielen. Die gleichmäßige Abscheidung ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Prozessstabilität.

Welche Prozesskontrollen sind bei der Iridiumabscheidung auf Glassubstraten erforderlich?

Der Abscheidungsprozess erfordert eine strenge Kontrolle von Temperatur, Druck und Umgebungsgaszusammensetzung. Geringfügige Abweichungen können die Haftung und Gleichmäßigkeit des Films beeinträchtigen, was sich möglicherweise auf die nachfolgenden Verarbeitungsschritte für Halbleiter auswirkt.

Ist es möglich, die Dicke der Iridiumbeschichtung für bestimmte Anwendungen anzupassen?

Ja, die Beschichtungsdicke kann angepasst werden, um präzise Fertigungsanforderungen zu erfüllen. Kundenspezifische Konfigurationen sind möglich, um sowohl die optischen als auch die Barriereeigenschaften für spezifische Prozessanforderungen zu optimieren. Kontaktieren Sie uns für weitere Details.

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