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CY11155 Iridium (Ir) beschichtete Silizium-Wafer

Katalog-Nr. CY11155
Material Iridium, Silizium
Reinheit Ir: ≥99,9%
Formular Substrat

Iridium (Ir) Coated Silicon Wafer ist ein Siliziumsubstrat mit einer dünnen Iridiumschicht, die durch kontrollierte Abscheidung aufgebracht wird. Stanford Advanced Materials (SAM) verwendet Sputter-Deposition und SEM-Oberflächenabbildung zur Qualitätskontrolle, um die Schichtdicke und Gleichmäßigkeit genau zu überwachen. Diese Methode minimiert das Risiko von Oxidation und Verunreinigung bei Hochtemperaturprozessen. Der technische Rahmen von SAM stellt sicher, dass jeder Wafer die strengen Herstellungsspezifikationen für die Halbleiterforschung und Prozessentwicklung erfüllt.

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FAQ

Wie wirkt sich die Iridiumbeschichtung auf die Leistung der Wafer bei erhöhten Temperaturen aus?

Die Iridiumschicht wirkt als Barriere gegen Oxidation und Metalldiffusion und schützt das Siliziumsubstrat bei Hochtemperaturprozessen. Ihre kontrollierte Abscheidung minimiert die Verunreinigung und gewährleistet so, dass der Wafer seine strukturelle Integrität während der thermischen Zyklen beibehält.

Welche Abscheidungstechnik wird verwendet, um eine gleichmäßige Iridiumschicht zu erhalten?

Die Iridium-Beschichtung wird durch Sputter-Deposition aufgebracht. Diese Technik ermöglicht eine präzise Kontrolle der Schichtdicke und der Gleichmäßigkeit, was für die Gewährleistung konsistenter Materialeigenschaften bei der Halbleiterherstellung entscheidend ist.

Gibt es Integrationsprobleme bei der Integration von iridiumbeschichteten Wafern in Standard-Halbleiterprozesse?

Die Integration erfordert eine sorgfältige Kontrolle der Abscheidungsparameter und der anschließenden Reinigungsschritte. Die Beschichtung ist jedoch so konzipiert, dass sie mit konventionellen CMOS-Fertigungsprozessen kompatibel ist, obwohl eine regelmäßige Überprüfung der Schichtgleichmäßigkeit mittels REM empfohlen wird.

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