CY10333 Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung Diamant-Einkristall-Substrat (100) 10x10x0,4 mm

Mikrowellen-Plasma-Chemie-Gasphasenabscheidung Diamant-Einkristall-Substrat (100) 10x10x0,4 mm Beschreibung

Das Mikrowellen-Plasma-Chemical-Vapor-Deposition-Diamant-Einkristall-Substrat (100) 10x10x0,4 mm wird aus elementarem Kohlenstoff durch einen plasmagestützten Abscheidungsprozess hergestellt. Die Abmessungen von 10x10 mm entsprechen den Anforderungen von Standardverarbeitungsgeräten, während die Dicke von 0,4 mm für strukturelle Steifigkeit bei Temperaturwechseln sorgt. Die kristallografische Orientierung (100) unterstützt die Gitterkompatibilität mit epitaktischen Schichten und reduziert die Grenzflächenspannungen bei der Integration der Bauteile. Die chemische Inertheit des Materials minimiert das Kontaminationsrisiko bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten.

Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition Diamant-Einkristall-Substrat (100) 10x10x0,4 mm Anwendungen

1.
Elektronik
- Wird als Substrat in Halbleiterbauelementen verwendet, um die Probleme der Wärmeableitung zu lösen, indem die effiziente Wärmeleitfähigkeit von Diamant genutzt wird, wodurch Wärmegradienten während des Betriebs reduziert werden.

2.
Photonik
- Wird als Basis für optische Komponenten in Lasersystemen verwendet, um eine kontrollierte Lichtausbreitung zu erreichen, indem die einheitliche kristalline Struktur des Substrats genutzt wird, wodurch Streuungseffekte minimiert werden.

3.
Forschung und Entwicklung
- Dient als Plattform in materialwissenschaftlichen Experimenten zur Verringerung der experimentellen Variabilität durch Ausnutzung der kontrollierten (100)-Orientierung und gewährleistet eine konsistente Integration in geschichtete Gerätestrukturen.

Mikrowellen-Plasma-Chemie-Gasphasenabscheidung Diamant-Einkristall-Substrat (100) 10x10x0,4 mm Verpackung

Das Substrat ist in einem reinraumtauglichen, antistatischen Behälter mit gepolsterten Schaumstoffeinlagen verpackt, um mechanische Beschädigungen zu vermeiden. Es ist in einem staubdichten Beutel unter kontrollierten Feuchtigkeitsbedingungen versiegelt. Die Lagerung in einer temperaturgeregelten Umgebung wird empfohlen, um die Integrität der Kristalle zu erhalten. Kundenspezifische Beschriftungs- und Verpackungsoptionen sind erhältlich, um spezifische Handhabungs- und Transportanforderungen zu erfüllen.

Häufig gestellte Fragen

Q1: Welche Aspekte des Mikrowellenplasmaverfahrens beeinflussen die Gleichmäßigkeit der Kristalle?
A1: Wichtige Abscheidungsparameter wie die Plasmadichte, die Gasdurchflussrate und die Substrattemperatur werden kontinuierlich überwacht. SAM setzt interferometrische Techniken ein, um die Gleichmäßigkeit der Schicht und die Defektdichte zu bewerten, was dazu beiträgt, eine gleichmäßige Mikrostruktur während des gesamten Wachstumsprozesses zu erhalten.

F2: Wie wirkt sich die kristallografische Orientierung (100) auf die Integration der nachfolgenden Schichten aus?
A2: Die (100)-Orientierung fördert bei vielen Halbleiterschichten die Ausrichtung des Gitters. Diese Ausrichtung trägt dazu bei, die Grenzflächenspannungen während des Epitaxiewachstums zu verringern und die Einführung von Defekten zu minimieren, was eine bessere Integration der nachfolgenden Schichten bei der Herstellung von Bauelementen ermöglicht.

F3: Sind Änderungen an den Substratabmessungen möglich?
A3: Ja, die Substratgrößen können an die spezifischen Anforderungen von Anlagen und Prozessen angepasst werden. Die Anpassungen werden nach Bewertung der Materialkompatibilität vorgenommen, um sicherzustellen, dass die kristallinen Eigenschaften während der gesamten Verarbeitung intakt bleiben.

Zusätzliche Informationen

Diamantsubstrate, die mittels chemischer Gasphasenabscheidung im Mikrowellenplasma hergestellt werden, sind ein wesentlicher Bestandteil der Forschung im Bereich fortschrittlicher elektronischer und photonischer Systeme. Der kontrollierte Wachstumsprozess ermöglicht die Bildung von Einkristallen mit spezifischen Orientierungen, was für die Verringerung von Grenzflächenfehlanpassungen in geschichteten Bauteilen von Bedeutung ist. Eine detaillierte Prozessüberwachung und mikrostrukturelle Analyse sind von zentraler Bedeutung, um eine gleichbleibende Qualität dieser Substrate zu erreichen.

Jüngste wissenschaftliche Studien unterstreichen die Bedeutung einer präzisen kristallografischen Ausrichtung für die Leistungsfähigkeit von Substraten. Die Überschneidung von Materialwissenschaft und Bauteiltechnik treibt die Verbesserung der Substratherstellungsprozesse weiter voran und steigert die Genauigkeit und Effizienz von Versuchs- und Produktionssystemen in verschiedenen Technologiebereichen.