1200C-Rohrschiebeofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Beschreibung
Der1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S ist ein vielseitiger 5-Zoll-Schiebeofen, der mit einer Widerstandsheizung und einem elektrischen Schiebemotor für effizientes schnelles Aufheizen und Abkühlen ausgestattet ist. Er erreicht auf effiziente Weise maximale Heiz- und Kühlraten von 2°C bzw. 4°C pro Sekunde und ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll bei Temperaturen von bis zu 1200°C zu glühen. Das Gerät ist in einem doppellagigen Stahlgehäuse mit Luftkühlung untergebracht, um sicherzustellen, dass die Temperatur des Ofenmantels bei oder unter 60 °C bleibt.
1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Spezifikationen
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Aufbau des Ofens
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- Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: ≤60℃
- Separate Temperaturkontrolleinheit für Fernbetrieb
- Erweiterte Heizzone
- Dynamische Gleitschienen: ermöglichen die horizontale Bewegung des Ofens von einer Seite zur anderen
- Glühen von Wafern bis zu einem Durchmesser von max. 4" mit Quarzboot
- Quarzrohr: 5" Quarzrohr (130mm Außendurchmesser x 120mm Innendurchmesser x 1100mmL) ist mit luftdichten Flanschen enthalten
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Leistung
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3KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
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Arbeitstemp.
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- Max. Temperatur: 1200℃(<30min); 1100℃ kontinuierlich
- Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
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Schieberegler
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- Doppelte Gleitschienen aus Cr-beschichtetem Stahl
- Länge der Gleitschiene: 1200 m
- Schiebebereich: 450 mm
- Optional: Automatisches Gleiten wird durch einen Gleichstrommotor angetrieben und durch den Temperaturregler gesteuert. Wenn das Heizprogramm beendet ist, gleitet der Ofen mit der eingestellten Geschwindigkeit von rechts nach links. Lüfter blasen die erhitzten Bereiche aus, um eine schnelle Abkühlung zu erreichen.
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Temperaturregler
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- Zwei automatische PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten zur Steuerung der Heiz- und Kühlgeschwindigkeit und der Verweilzeit.
- Eingebauter Überhitzungs- und Thermoelementbruchschutz.
- Temperaturgenauigkeit +/- 1℃.
- RS485 Kommunikationsanschluss.
- PC-Steuerung
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Vakuum-Controller
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Begrenzt durch eine Vakuumpumpe
- 10^-2 Torr können mit einer mechanischen Pumpe erreicht werden
- 10^-5 Torr können durch eine Molekularpumpe erreicht werden
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Nettogewicht
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110 kg
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Abmessungen
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1300x 550 x 600 mm (Ofen geschlossen)
1300x 750 x 850 mm (Ofen offen)
350x 250 x 410 mm (Schaltkasten)
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Garantie
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- Rohröfen mit Quarzrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa ausgelegt
- Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen.
- Vakuumdrücke können nur bis 1000°C sicher verwendet werden.
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Zertifikat
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- CE-zertifiziert
- Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
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1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Anwendungen
- Halbleiter-Verarbeitung: Einer der Haupteinsatzbereiche von RTP-Öfen ist die Halbleiterindustrie, wo sie zum Glühen von Halbleiterscheiben verwendet werden.
- Materialsynthese und -experimente: Diese Öfen sind ideal für die Synthese neuer Materialien, einschließlich Metalle, Keramiken und Verbundwerkstoffe, insbesondere wenn der Prozess eine präzise Temperaturregelung und schnelle Heiz- und Kühlzyklen erfordert.
- Beschichtungen: Mit RTP werden verschiedene Arten von Beschichtungen auf Substrate aufgebracht, darunter Dünnschichten und mehrlagige Beschichtungen, die für die Herstellung elektronischer und optischer Geräte unerlässlich sind.
- Forschung und Entwicklung: RTP-Öfen werden in der wissenschaftlichen Forschung häufig eingesetzt, um die Auswirkungen hoher Temperaturen auf verschiedene Materialien und die Kinetik von Phasenumwandlungen zu untersuchen.
1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Verpackung
Unser 1200C Gleitrohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
