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IF5733 (Abgesetzt) 1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S

Eingestellt IF5733 (Abgesetzt) 1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S

Katalog-Nr.	IF5733
Artikel Nummer	OTF-1200X-RTP-5S
Betriebstemperatur	≤1100℃ kontinuierlich

Abgesetzt

Der1200C Gleitrohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung ist ein vielseitiger 5-Zoll-Gleitrohrofen, der mit einer Widerstandsheizung und einem elektrischen Gleitmotor für effizientes, schnelles Aufheizen und Abkühlen ausgestattet ist. Stanford Advanced Materials (SAM) verfügt über reiche Erfahrung in der Herstellung und Lieferung hochwertiger Gleitrohrofen.

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1200C-Rohrschiebeofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Beschreibung

Der1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S ist ein vielseitiger 5-Zoll-Schiebeofen, der mit einer Widerstandsheizung und einem elektrischen Schiebemotor für effizientes schnelles Aufheizen und Abkühlen ausgestattet ist. Er erreicht auf effiziente Weise maximale Heiz- und Kühlraten von 2°C bzw. 4°C pro Sekunde und ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll bei Temperaturen von bis zu 1200°C zu glühen. Das Gerät ist in einem doppellagigen Stahlgehäuse mit Luftkühlung untergebracht, um sicherzustellen, dass die Temperatur des Ofenmantels bei oder unter 60 °C bleibt.

1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Spezifikationen

Aufbau des Ofens	Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: ≤60℃ Separate Temperaturkontrolleinheit für Fernbetrieb Erweiterte Heizzone Dynamische Gleitschienen: ermöglichen die horizontale Bewegung des Ofens von einer Seite zur anderen Glühen von Wafern bis zu einem Durchmesser von max. 4" mit Quarzboot Quarzrohr: 5" Quarzrohr (130mm Außendurchmesser x 120mm Innendurchmesser x 1100mmL) ist mit luftdichten Flanschen enthalten
Leistung	3KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
Arbeitstemp.	Max. Temperatur: 1200℃(<30min); 1100℃ kontinuierlich Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
Schieberegler	Doppelte Gleitschienen aus Cr-beschichtetem Stahl Länge der Gleitschiene: 1200 m Schiebebereich: 450 mm Optional: Automatisches Gleiten wird durch einen Gleichstrommotor angetrieben und durch den Temperaturregler gesteuert. Wenn das Heizprogramm beendet ist, gleitet der Ofen mit der eingestellten Geschwindigkeit von rechts nach links. Lüfter blasen die erhitzten Bereiche aus, um eine schnelle Abkühlung zu erreichen.
Temperaturregler	Zwei automatische PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten zur Steuerung der Heiz- und Kühlgeschwindigkeit und der Verweilzeit. Eingebauter Überhitzungs- und Thermoelementbruchschutz. Temperaturgenauigkeit +/- 1℃. RS485 Kommunikationsanschluss. PC-Steuerung
Vakuum-Controller	Begrenzt durch eine Vakuumpumpe 10^-2 Torr können mit einer mechanischen Pumpe erreicht werden 10^-5 Torr können durch eine Molekularpumpe erreicht werden
Nettogewicht	110 kg
Abmessungen	1300x 550 x 600 mm (Ofen geschlossen) 1300x 750 x 850 mm (Ofen offen) 350x 250 x 410 mm (Schaltkasten)
Garantie	Rohröfen mit Quarzrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa ausgelegt Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen. Vakuumdrücke können nur bis 1000°C sicher verwendet werden.
Zertifikat	CE-zertifiziert Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.

1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Anwendungen

Halbleiter-Verarbeitung: Einer der Haupteinsatzbereiche von RTP-Öfen ist die Halbleiterindustrie, wo sie zum Glühen von Halbleiterscheiben verwendet werden.
Materialsynthese und -experimente: Diese Öfen sind ideal für die Synthese neuer Materialien, einschließlich Metalle, Keramiken und Verbundwerkstoffe, insbesondere wenn der Prozess eine präzise Temperaturregelung und schnelle Heiz- und Kühlzyklen erfordert.
Beschichtungen: Mit RTP werden verschiedene Arten von Beschichtungen auf Substrate aufgebracht, darunter Dünnschichten und mehrlagige Beschichtungen, die für die Herstellung elektronischer und optischer Geräte unerlässlich sind.
Forschung und Entwicklung: RTP-Öfen werden in der wissenschaftlichen Forschung häufig eingesetzt, um die Auswirkungen hoher Temperaturen auf verschiedene Materialien und die Kinetik von Phasenumwandlungen zu untersuchen.

1200C-Schieberohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S Verpackung

Unser 1200C Gleitrohrofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-5S wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.

Spezifikation

Aufbau des Ofens	Doppellagiges Stahlgehäuse mit Luftkühlung: ≤60℃ Separate Temperaturkontrolleinheit für Fernbetrieb Erweiterte Heizzone Dynamische Gleitschienen: ermöglichen die horizontale Bewegung des Ofens von einer Seite zur anderen Glühen von Wafern bis zu einem Durchmesser von max. 4" mit Quarzboot Quarzrohr: 5" Quarzrohr (130mm Außendurchmesser x 120mm Innendurchmesser x 1100mmL) ist mit luftdichten Flanschen enthalten
Leistung	3KW, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
Arbeitstemp.	Max. Temperatur: 1200℃(<30min); 1100℃ kontinuierlich Aufheizgeschwindigkeit: ≤20℃/min
Schieberegler	Doppelte Gleitschienen aus Cr-beschichtetem Stahl Länge der Gleitschiene: 1200 m Schiebebereich: 450 mm Optional: Automatisches Gleiten wird durch einen Gleichstrommotor angetrieben und durch den Temperaturregler gesteuert. Wenn das Heizprogramm beendet ist, gleitet der Ofen mit der eingestellten Geschwindigkeit von rechts nach links. Lüfter blasen die erhitzten Bereiche aus, um eine schnelle Abkühlung zu erreichen.
Temperaturregler	Zwei automatische PID-Regler mit 30 programmierbaren Segmenten zur Steuerung der Heiz- und Kühlrate und der Verweilzeit. Eingebauter Überhitzungs- und Thermoelementbruchschutz. Temperaturgenauigkeit +/- 1℃. RS485 Kommunikationsanschluss. PC-Steuerung
Vakuum-Controller	Begrenzt durch eine Vakuumpumpe 10^-2 Torr können mit einer mechanischen Pumpe erreicht werden 10^-5 Torr können durch eine Molekularpumpe erreicht werden
Nettogewicht	110 kg
Abmessungen	1300x 550 x 600 mm (Ofen geschlossen) 1300x 750 x 850 mm (Ofen offen) 350x 250 x 410 mm (Schaltkasten)
Garantie	Rohröfen mit Quarzrohren sind für den Einsatz unter Vakuum und niedrigem Druck < 0,12 MPa ausgelegt Achtung! Für einen sicheren Betrieb muss ein zweistufiger Druckregler an der Gasflasche installiert werden, um den Druck auf unter 3 PSI zu begrenzen. Vakuumdrücke können nur bis 1000°C sicher verwendet werden.
Zertifikat	CE-zertifiziert Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.

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