Eingestellt IF5732 (Abgesetzt) 1200C Mikrowellenplasma-unterstützter CVD-Drehrohrofen GSL-1200R-MWPE

Mikrowelle

• Frequenz: 2,45 GHz ±25 MHz
• Ausgangsleistung: 1400W
• Mikrowellenleckage: ≤ 3 mW/cm² in 1 Meter Entfernung.

Heizmodul und Verarbeitungsrohr

• Die Heizspirale aus Ni-Cr-Al-Draht mit einem Innendurchmesser von 80 mm ist in einem Modul aus faserigem Aluminiumoxid installiert.
• Die Heizspule befindet sich in der Mikrowellenkammer
• Ein 2-Zoll-Quarzrohr (OD 50 x ID 44x L 600 mm) wird in das Heizmodul und die Mikrowellenkammer eingesetzt, um Plasma zu erzeugen.

Leistung

2000W, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz

Flansche und Vakuum

• Ein Paar Vakuumflansche ist im Lieferumfang enthalten, um das Quarzrohr abzudichten
• KF25-Vakuumanschluss und 1/4-Gaseinlass und -auslass mit Nadelventilen sind in den Flansch eingebaut
• Ein digitales Vakuummeter für die Vakuumkontrolle ist im Lieferumfang enthalten
• Max. Vakuumniveau: ^10-2 Torr bei trockener Pumpe und ^10-5 Torr bei Turbopumpe.
• Die Pumpe ist nicht im Lieferumfang enthalten.

Inline-Schwenk & Drehgeschwindigkeit

• Zwei schwenkbare Inline-Gasanschlüsse sind im Lieferumfang enthalten und mit Flanschen verbunden, so dass die Gasleitung an Ort und Stelle bleibt, wenn sich das Rohr dreht.
• Rotationsgeschwindigkeit: Das Rohr wird von einem Gleichstrommotor mit einer variablen Geschwindigkeit von 1 bis 5 U/min angetrieben.
• Für den Anschluss der Inline Swivel Gas Fittings an den Gastank wird ein 1/4" Gasschlauch benötigt
• Klicken Sie auf das Bild links, um detaillierte Spezifikationen zu sehen

Arbeitstemp.

• Max. Temp.: 1200℃ (<30min); ≤1100℃ kontinuierlich.
• Min. Temp.: 800℃
• Aufheizgeschwindigkeit: 1 ~20°C/min

Temperaturregler

• 30 Segmente programmierbar für Heizrate, Verweildauer, Temperatur und Kühlrate
• SCR-Temperaturregelung
• Schutz gegen Übertemperatur und Unterbrechung der thermischen Kopplung
• Regelgenauigkeit +/-1,0℃
• K-Typ Thermoelement durch den Flansch eingeführt

Nettogewicht

30kg

Abmessungen

Mikrowelle: 560(L) x 410(B) x 340(H) mm

Gesamttiefe mit Rohr und Flansch: 780 mm

Steuergerät: 600(L) x 520(B) x 265(H) mm

Garantie

• Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support.
• Verbrauchsmaterialien, einschließlich Tiegel, Heizelemente und Wärmedämmstoffe, sind von der Garantie ausgeschlossen.
• ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von korrosiven und säurehaltigen Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte SAM-Garantie.

Bescheinigung

• CE-zertifiziert
• Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.