1200C Mikrowellenplasma-unterstützter CVD (MPCVD) 2"-Rohrofen GSL-1200X-50-MWPE Beschreibung
Der1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2" Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE ist ein mikrowellenunterstützter Rohrofen für die chemische Gasphasenabscheidung (MPCVD), der einen 2,45-GHz-Mikrowellengenerator mit Heizmodulen und einem 2-Zoll-Quarzrohr kombiniert. Dieser Aufbau bietet eine vakuumdichte, geflanschte Baugruppe, die eine stabile Plasmaerzeugung von 800°C bis 1200°C unter einem Vakuum von etwa 4,5 Torr gewährleistet. Der Ofen ist mit einer 1400 W, 2,45 GHz Mikrowellenkammer ausgestattet.
Er wurde unter dem Gesichtspunkt der Sicherheit entwickelt und verfügt über eine Abschirmung aus Edelstahl und Aluminium zum Schutz vor Mikrowellenstrahlung. Die schnelle Erwärmung von bis zu 20 °C pro Minute und eine maximale Arbeitstemperatur von 1200 °C im Heizmodul innerhalb der Mikrowellenkammer gewährleisten eine effiziente Verarbeitung. Das Gerät bietet außerdem eine präzise Temperaturregelung mit einem programmierbaren 30-Segment-Regler, der eine Genauigkeit von ±1℃ gewährleistet.
1200C Mikrowellenplasma-unterstützter CVD (MPCVD) 2"-Rohrofen GSL-1200X-50-MWPE Spezifikationen
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Merkmale
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- 1400 W 2,45-GHz-Mikrowellenkammer
- Abschirmung aus Edelstahl und Aluminium zum Schutz vor Mikrowellenstrahlung
- Heizmodul innerhalb der Mikrowellenkammer
- Präzisions-Temperaturregelung mit 30 Segmenten, programmierbar innerhalb von +/- 1ºC
- Vakuumguß-Wärmeisolationsmaterial für maximale Energieeinsparung.
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Mikrowelle
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- Frequenz: 2,45 GHz ±25 MHz
- Leistungsabgabe: 1400W
- Mikrowellenleckage: ≤ 3 mW/cm² in 1 Meter Entfernung.
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Heizmodul und Verarbeitungsrohr
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- Die Heizspirale aus Ni-Cr-Al-Draht mit einem Innendurchmesser von 80 mm ist in einem Modul aus faserigem Aluminiumoxid installiert.
- Die Heizspule befindet sich in der Mikrowellenkammer
- Ein 2-Zoll-Quarzrohr (OD 50 x ID 44x L 600 mm) wird in das Heizmodul und die Mikrowellenkammer eingesetzt, um Plasma zu erzeugen.
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Leistung
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2000W, 208-240VAC, einphasig, 50/60Hz
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Flansche und Vakuum
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- Ein Paar Vakuumflansche ist im Lieferumfang enthalten, um das Quarzrohr abzudichten
- KF25-Vakuumanschluss und 1/4-Gaseinlass und -auslass mit Nadelventilen sind in den Flansch eingebaut
- Ein digitales Vakuummeter für die Vakuumkontrolle ist im Lieferumfang enthalten
- Max. Vakuumniveau: 10-2 Torr bei trockener Pumpe und 10-5 Torr bei Turbopumpe.
- Die Pumpe ist nicht im Lieferumfang enthalten.
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Arbeitstemp.
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- Max. Temp.: 1200℃ (<30min); ≤1100℃ kontinuierlich.
- Min. Temp.: 800℃
- Aufheizgeschwindigkeit: 1 ~20°C/min
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Temperaturregler
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- 30 Segmente programmierbar für Heizrate, Verweildauer, Temperatur und Kühlrate
- SCR-Temperaturregelung
- Schutz gegen Übertemperatur und Unterbrechung der thermischen Kopplung
- Regelgenauigkeit +/-1,0℃
- K-Typ Thermoelement durch den Flansch eingeführt
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Nettogewicht
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30kg
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Abmessungen
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Mikrowelle: 560(L) x 410(B) x 340(H) mm
Gesamttiefe mit Rohr und Flansch: 780 mm
Steuergerät: 600(L) x 520(B) x 265(H) mm
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Garantie
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- Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support.
- Verbrauchsmaterialien, einschließlich Tiegel, Heizelemente und Wärmedämmstoffe, sind von der Garantie ausgeschlossen.
- ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von korrosiven und säurehaltigen Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte SAM-Garantie.
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Bescheinigung
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- CE-zertifiziert
- Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
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1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2" Rohrofen GSL-1200X-50-MWPE Anwendungen
- Synthese und Verarbeitung von Materialien: Diese Öfen eignen sich hervorragend für die Synthese komplexer Materialien wie Keramiken, Gläser und Verbundwerkstoffe.
- Sintern von Keramiken und Metallen: Die schnelle Hochtemperaturfähigkeit von Mikrowellenöfen macht sie ideal für das Sintern von Keramik- und Metallpulvern.
- Forschung und Entwicklung: Mikrowellen-Rohröfen werden in akademischen und industriellen Forschungslabors in großem Umfang für die Entwicklung neuer Materialien und die Untersuchung von Wärmebehandlungsprozessen unter kontrollierten Bedingungen eingesetzt.
1200C Mikrowellenplasma-unterstützter CVD (MPCVD) 2"-Rohrofen GSL-1200X-50-MWPE Verpackung
Unser 1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2" Tube Furnace GSL-1200X-50-MWPE wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
