Eingestellt IF5726 (Abgesetzt) 950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

Merkmale

• Eine 20-Zoll-Vakuumkammer aus rostfreiem Stahl, die mit einer Turbopumpe ein Vakuum von bis zu 10^-5 Torr erreicht.
• Zwei 12-Zoll-Infrarot-Heizplatten (IR), die strategisch in der Kammer positioniert sind, um die Wärmeverteilung zu optimieren.
• Ein Eurotherm-Präzisions-Temperaturregler, der eine Temperaturgenauigkeit von ±0,1 °C gewährleistet.
• Ein Touchscreen-Computer, der eine umfassende Kontrolle über alle Verarbeitungsparameter ermöglicht.

Grundlegende Parameter

• Max. Heiztemp.: 950℃
• Max. Temperaturdifferenz zwischen den beiden Heizungen: ≤ 300℃
• Max. Aufheizgeschwindigkeit: 8℃/s
• Max. Abkühlungsgeschwindigkeit: <20℃/s

Leistung

208 - 240VAC, drei Phasen, 50/60 Hz

60kw

Vakuumkammer

• Kammer-Abmessungen: ID 500mm x H 460mm
• Zwei Quarzfenster mit einem Durchmesser von 60 mm sind für eine einfache Beobachtung eingebaut.
• Ein luftdichtes, verschiebbares Ablenkblech ist eingebaut, um die Verdampfungsquelle unter Hochvakuum zu blockieren
• Ein präzises, korrosionsbeständiges digitales Vakuummessgerät gehört zur Standardausstattung des Geräts und gewährleistet genaue Vakuummessungen.
• Optionale Vakuumpumpe: 10-5 Torr durch Turbopumpe oder 10-2 Torr durch eine mechanische Pumpe

Heizung und Probenhalterung

• Zwei IR-Heizungen befinden sich oben und unten in der Kammer mit einstellbaren Abständen von 2 - 25 mm.
• Die Heizelemente sind aus rostfreiem Stahl gefertigt und mit einem kalten Wassermantel versehen, um die Wärmeisolierung zu gewährleisten.
• Der runde Waferhalter mit einem Durchmesser von 12" ist in den oberen Heizer eingebaut, um das Substrat zu halten.
• Die Graphitplatten sind auf der Oberseite des IR-Strahlers angebracht, um eine gleichmäßigere Erwärmung zu gewährleisten.
• Der obere Probenhalter ist mit einer einstellbaren Geschwindigkeit von 1 - 10 RPM drehbar.
• Zur Kühlung der Heizelemente ist ein Wasserkühler mit 58 l/min Umwälzleistung eingebaut.

Regelsystem

• Zwei digitale Eurotherm 3000 Temperaturregler mit 24 programmierbaren Segmenten ermöglichen die unabhängige Regelung der oberen und unteren Heizelemente mit einer Genauigkeit von +/- 0,1ºC
• Alle Vorgänge, wie Temperaturprofile, Vakuumdruck, Rotationsgeschwindigkeit, Drehgeschwindigkeit und Anheben des Flansches werden von einem Touchscreen-Computer über eine SPS gesteuert.
• Der Computer kann die Temperatur- und Vakuumprofile anzeigen und 10 voreingestellte Programme für die Verarbeitung starten

Nettogewicht

~500 kg

Abmessungen

L 1450 X B 1250 X H 2100 mm

Garantie

• Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support.
• ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von ätzenden und säurehaltigen Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte SAM-Garantie.

Bescheinigung

• CE-zertifiziert
• Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.