950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Beschreibung
Der950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 ist ein hochmoderner RTP-Ofen (Rapid Thermal Processing), der speziell für die CSS-Filmbeschichtung (Close Spaced Sublimation) auf Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll entwickelt wurde. Dieser Ofen kann eine maximale Arbeitstemperatur von 950°C erreichen und verfügt über zwei Gruppen von Halogenheizungen (oben und unten), die unabhängig voneinander eine schnelle Heizrate von bis zu 20°C pro Sekunde erreichen können. Der obere Probenhalter ist drehbar und ermöglicht eine gleichmäßige Filmbeschichtung bei Geschwindigkeiten von 1 bis 10 U/min.
Dieser Ofen ist besonders effektiv für die Entwicklung von Dünnschichten der nächsten Generation für Solarzellen, einschließlich Materialien wie Cadmiumtellurid (CdTe), Sulfid und Perowskit. Er eignet sich auch zum Glühen von 12-Zoll-Halbleiterwafern.
950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Spezifikationen
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Merkmale
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- Eine 20-Zoll-Vakuumkammer aus rostfreiem Stahl, die mit einer Turbopumpe ein Vakuum von bis zu 10^-5 Torr erreicht.
- Zwei 12-Zoll-Infrarot-Heizplatten (IR), die strategisch in der Kammer positioniert sind, um die Wärmeverteilung zu optimieren.
- Ein Eurotherm-Präzisions-Temperaturregler, der eine Temperaturgenauigkeit von ±0,1 °C gewährleistet.
- Ein Touchscreen-Computer, der eine umfassende Kontrolle über alle Verarbeitungsparameter ermöglicht.
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Grundlegende Parameter
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- Max. Heiztemp.: 950℃
- Max. Temperaturdifferenz zwischen den beiden Heizungen: ≤ 300℃
- Max. Aufheizgeschwindigkeit: 8℃/s
- Max. Abkühlungsgeschwindigkeit: <20℃/s
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Leistung
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208 - 240VAC, drei Phasen, 50/60 Hz
60kw
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Vakuumkammer
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- Kammer-Abmessungen: ID 500mm x H 460mm
- Zwei Quarzfenster mit einem Durchmesser von 60 mm sind für eine einfache Beobachtung eingebaut.
- Ein luftdichtes, verschiebbares Ablenkblech ist eingebaut, um die Verdampfungsquelle unter Hochvakuum zu blockieren
- Ein präzises, korrosionsbeständiges digitales Vakuummessgerät gehört zur Standardausstattung des Geräts und gewährleistet genaue Vakuummessungen.
- Optionale Vakuumpumpe: 10-5 Torr durch Turbopumpe oder 10-2 Torr durch eine mechanische Pumpe
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Heizung und Probenhalterung
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- Zwei IR-Heizungen befinden sich oben und unten in der Kammer mit einstellbaren Abständen von 2 - 25 mm.
- Die Heizelemente sind aus rostfreiem Stahl gefertigt und mit einem kalten Wassermantel versehen, um die Wärmeisolierung zu gewährleisten.
- Der runde Waferhalter mit einem Durchmesser von 12" ist in den oberen Heizer eingebaut, um das Substrat zu halten.
- Die Graphitplatten sind auf der Oberseite des IR-Strahlers angebracht, um eine gleichmäßigere Erwärmung zu gewährleisten.
- Der obere Probenhalter ist mit einer einstellbaren Geschwindigkeit von 1 - 10 RPM drehbar.
- Zur Kühlung der Heizelemente ist ein Wasserkühler mit 58 l/min Umwälzleistung eingebaut.
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Regelsystem
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- Zwei digitale Eurotherm 3000 Temperaturregler mit 24 programmierbaren Segmenten ermöglichen die unabhängige Regelung der oberen und unteren Heizelemente mit einer Genauigkeit von +/- 0,1ºC
- Alle Vorgänge, wie Temperaturprofile, Vakuumdruck, Rotationsgeschwindigkeit, Drehgeschwindigkeit und Anheben des Flansches werden von einem Touchscreen-Computer über eine SPS gesteuert.
- Der Computer kann die Temperatur- und Vakuumprofile anzeigen und 10 voreingestellte Programme für die Verarbeitung starten
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Nettogewicht
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~500 kg
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Abmessungen
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L 1450 X B 1250 X H 2100 mm
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Garantie
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- Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support.
- ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von ätzenden und säurehaltigen Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte SAM-Garantie.
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Bescheinigung
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- CE-zertifiziert
- Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
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950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Anwendungen
Der950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 ist besonders effektiv für die Entwicklung von Dünnschichten der nächsten Generation für Solarzellen, einschließlich Materialien wie Cadmiumtellurid (CdTe), Sulfid und Perowskit. Er eignet sich auch zum Glühen von 12-Zoll-Halbleiterwafern.
950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Verpackung
Unser 950C CSS- und RTP-Ofen OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
