PECVD-Graphit-Boot Beschreibung
DasPECVD-Graphit-Boot ist einer der Träger für normale Siliziumscheiben bei der Herstellung des Beschichtungsprozesses. Es hat viele Bootsscheiben mit einem bestimmten Abstand in der Struktur, und es gibt einen sehr engen Raum zwischen zwei benachbarten Bootsscheiben, und Siliziumscheiben werden auf beiden Seiten der leeren Tür platziert. Da Graphit eine gute Leitfähigkeit und Wärmeleitfähigkeit aufweist, wird zwischen zwei benachbarten Schiffchen eine Wechselspannung angelegt, um positive und negative Elektroden zu bilden. Bei einem bestimmten Luftdruck und Gas in der Kammer kommt es zu einer Glimmentladung zwischen den beiden Schiffchen. Die Glimmentladung kann SiH4- und NH3-Gas im Raum zersetzen, Si- und N-Ionen bilden und sich zu SiNx-Molekülen verbinden.
PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Graphitboot ist ein spezieller Behälter oder Träger aus Graphit, der im PECVD-Verfahren für die Abscheidung dünner Schichten auf verschiedenen Substraten verwendet wird. In der Halbleiterherstellung und anderen Branchen, in denen die Abscheidung von Dünnschichten von entscheidender Bedeutung ist, halten und transportieren diese Graphitboote die Substrate (z. B. Siliziumwafer) durch die PECVD-Kammer, in der der Abscheidungsprozess stattfindet.
Spezifikationen für PECVD-Graphitboote
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Werkstoff
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-
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PECVD-Graphit
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Dichte
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g/cm³
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1.87
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Spezifischer Widerstand
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μΩm
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13
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Biegefestigkeit
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MPa
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72
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Aschegehalt
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PPM
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4.7
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WAK
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1E-6/℃
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4.7
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Stück-Toleranz
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mm
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±0.01
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Thermische Ausdehnung
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mm
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≤0.2
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Korngröße
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μm
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7
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Shore-Härte
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HSD
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70
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PECVD-Graphitboote Anwendungen
- Halbleiterherstellung: Graphitboote werden in der Halbleiterherstellung in großem Umfang für die Abscheidung verschiedener Arten von Dünnschichten, einschließlich Dielektrika, Leitern und Halbleitern, verwendet.
- Solarpaneele: Bei der Herstellung von Solarzellen werden PECVD-Graphitboote zur Abscheidung von Antireflexbeschichtungen und anderen Schichten verwendet, die die Effizienz der Solarzellen verbessern.
- Optoelektronik: Für Bauteile, die präzise optische Eigenschaften erfordern, werden mit PECVD Schichten mit spezifischen Brechungsindizes abgeschieden, und Graphitboote tragen die Substrate durch diesen Prozess.
PECVD-Graphit-Boot-Verpackung
Unser PECVD-Graphitschiffchen wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
