Wie reinigt man in Öl transportierte Abscheidungsmaterialien?

Um einige abgelagerte Materialien vor der Reaktion mit Luft oder Wasserdampf zu schützen, werden sie während der Lagerung und des Versands normalerweise in niedrigviskoses (Kohlenwasserstoff-) Mineralöl getaucht. Bevor diese in Öl transportierten Kompositionsmaterialien in das Vakuumsystem eingebaut werden, müssen wir diese Öle mit Lösungsmitteln entfernen. Die Wahl der Lösungsmittel beruht auf der Prämisse, dass sie keine zusätzlichen Kontaminationsquellen für das Vakuumsystem oder die nachfolgenden Dünnschichtprozesse darstellen.

Wahl des Lösungsmittels

Einige hochreaktive Abscheidungsmaterialien können mit bestimmten Lösungsmitteln reagieren. Wählen Sie daher immer ein Lösungsmittel, das ausschließlich aus Kohlenwasserstoffen besteht.

Hier sind einige Lösungsmittel, die NICHT empfohlen werden. Sie sollten sie besser NICHT zum Entfernen des Öls verwenden:

• * Verwenden Sie keine pyridinartigen Lösungsmittel, die Stickstoff enthalten.
• * Verwenden Sie keine schwefelhaltigen Lösungsmittel, wie z. B. Schwefelkohlenstoff.
• * Verwenden Sie keine der zahlreichen chlorhaltigen Lösungsmittel, wie zum Beispiel Trichlorethylen.
• * Verwenden Sie keine Lösungsmittel wie Alkohole, Ketone, Ester, Ether, Furane oder andere sauerstoffhaltige Stoffe.

Und hier sind einige Lösungsmittel zu empfehlen. Um die Kosten für hochreine, saubere (lösungsmittelfreie) Kohlenwasserstofflösungsmittel zu minimieren, können Sie für die ersten Reinigungsschritte technische Lösungsmittel wie Hexan, Heptan oder Iso-Octan verwenden.

HINWEIS: Hochreine Qualitäten von Hexan, Heptan oder Iso-Oktan müssen in Glasbehältern versandt, gelagert und verwendet werden. Es ist wichtig, darauf hinzuweisen, dass Plastikflaschen nicht als Behälter für Lösungsmittel geeignet sind. Sie sind zwar sehr praktisch für die Lagerung und Handhabung von Lösungsmitteln, aber die im Kunststoff enthaltenen Polymere mit niedrigem Molekulargewicht werden vom Lösungsmittel ausgelaugt und bleiben als Rückstand zurück, wenn das Lösungsmittel verdampft. Auch hier gilt: Verwenden Sie niemals Lösungsmittel, die in Kunststoffbehältern aufbewahrt werden.

Vorsichtsmaßnahmen für den Umgang mit organischen Lösungsmitteln

Fast alle organischen Lösungsmittel sind gesundheitsgefährdend, daher sollten Sie darauf achten:

1) Atmen Sie KEINE Lösemitteldämpfe ein und schlucken Sie keine Lösemittelflüssigkeit

2) NICHT zulassen, dass die Haut mit dem Lösungsmittel in Berührung kommt oder Lösungsmittelspritzer in die Augen gelangen

3) KEINE offenen Flammen oder Heizgeräte in der Nähe der Dämpfe zulassen

Und beachten Sie, dass die Handhabung von Lösungsmitteln

1) in einem Abzug oder einer Handschuhbox durchgeführt werden sollte.

2) nur mit geeigneten Schutzbrillen, Schürzen und absorbierenden Atemschutzmasken durchgeführt werden sollte

3) Es sollten nur Handschuhe getragen werden, die getestet wurden, um nachzuweisen, dass die verwendeten Lösungsmittel die Handschuhe weder auflösen noch durch sie hindurchgehen.

Erforderliche Umgebung

Um die Wechselwirkung zwischen Luft und Material zu verzögern, ist es besser, das Material in einer dichten Handschuhbox unter leichtem Überdruck von Argon zu reinigen. Sollte dies nicht möglich sein, sorgen Sie bitte dafür, dass alle Reinigungsschritte so schnell wie möglich in einem Abzug oder einem gut belüfteten Bereich durchgeführt werden. Dadurch kann die Zeit, in der das Material der Luft ausgesetzt ist, minimiert werden, und auch die Zeit, in der der Bediener den Lösungsmitteldämpfen ausgesetzt ist, wird reduziert.

Benötigte Ausrüstung und Materialien

Folgende Reinigungsmaterialien werden benötigt:

• * Geeignet große, chemisch und physikalisch saubere Glasgefäße (Bechergläser oder Petrischalen)
• * Technische Reinheit d (für die ersten Reinigungsschritte)
• * Hochreine Kohlenwasserstofflösungsmittel (für die folgenden Reinigungsschritte)
• * fusselfreie Tücher
• * Chemisch und physikalisch saubere Zangen oder Pinzetten zur Handhabung der Materialien

Detailliertes Reinigungsverfahren

Bereiten Sie zunächst mindestens drei Bechergläser/Petrischalen vor und stellen Sie sicher, dass Sie genügend technisches Lösungsmittel einfüllen können, um das Ablagerungsmaterial vollständig einzutauchen. Bereiten Sie ebenfalls mindestens drei Bechergläser/Petrischalen vor, in die Sie genügend hochreines Lös ungsmittel einfüllen, um das Material vollständig zu durchtränken.

Dann nehmen Sie das Material aus der Verpackung und wischen das überschüssige Öl mit einem fusselfreien Tuch ab. Danach tauchen Sie das Material sofort in Bechergläser oder Petrischalen mit technischem Lösungsmittel (DTS01) und rühren das Material oder Lösungsmittel um, um die Auflösung zu fördern. (Hinweis: Die Zeit zwischen der Entnahme des Materials und dem Eintauchen in das Lösungsmittel muss so kurz wie möglich sein, um die Zeit zu verkürzen, in der das Material der Luft ausgesetzt ist. Versuchen Sie auch nicht, das Material vollständig zu trocknen, da dies die Luftexposition erhöht und die Kontamination kaum verringert).

Drittens: Nehmen Sie das Material aus dem TSD01 und wischen Sie überschüssiges Lösungsmittel schnell mit einem frischen Tuch ab. Dann wiederholen Sie den zweiten Schritt und tauchen das Material sofort in die TSD02 ein und rühren das Lösungsmittel um.

Wiederholen Sie den Vorgang, bis das Material alle 6 Bechergläser oder Petrischalen durchlaufen hat (3 mit technischem Lösungsmittel und 3 mit hochreinem Lösungsmittel).

Wenn das Material aus dem letzten Becherglas oder der letzten Petrischale mit hochreinem Lösungsmittel (DHS03) entnommen wurde , wird es sofort in die Vakuumkammer überführt, die zuvor mit Argon gespült wurde (und weiterhin gespült wird). Die Kammer sollte stets mit Argon belüftet werden.

Wenn das Material in der Quelle montiert ist, stoppen Sie den Ar-Durchfluss, schließen die Kammerflansche und pumpen ab. Handelt es sich bei dem Abscheidungsmaterial um ein reaktives Sputtertarget wie Ca, Ba, Sr, das schnell oxidiert, sollte es kurzzeitig vorgesputtert werden.

Solange sich das Material in der Kammer befindet, muss sichergestellt werden, dass das Argon bei geöffneter Kammer weiterhin mit hoher Geschwindigkeit fließt und bei geschlossener Kammer ein hohes Vakuum herrscht.