Aluminiumnitrid-Heizelement Beschreibung
Aluminiumnitrid-Heizelemente sind Heizelemente aus Aluminiumnitrid, einem Material, das für seine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit, seine elektrischen Isolationseigenschaften und seine hohe Temperaturstabilität bekannt ist. AlN hat eine Wärmeleitfähigkeit von ca. 140-180 W/mK, die viel höher ist als die vieler anderer Keramikmaterialien. Dies ermöglicht eine effiziente Wärmeübertragung und eine gleichmäßige Temperaturverteilung. AlN ist ein hervorragender elektrischer Isolator mit einer hohen Durchschlagfestigkeit, was es ideal für Anwendungen macht, bei denen elektrische Isolierung wichtig ist. Diese Heizelemente werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, die eine präzise Temperaturregelung und effiziente Wärmeübertragung erfordern.
Spezifikation von Aluminiumnitrid-Heizungen
Material der Heizung
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AlN
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Dicke
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0,8-3,0 mm
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Größe
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Kundenspezifisch
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Max. Arbeitstemp.
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1000℃
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Dichte
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3,26 g/cm3
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Heizgeschwindigkeit
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≤120 ℃/s
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Maximale Watt-Dichte
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155 W/cm2
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Thermische Leitfähigkeit
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220 W/mK
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Aluminiumnitrid-Heizung Anwendung
1. Halbleiterherstellung:
- Wafer-Verarbeitung: Einsatz in Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlagen für Anwendungen wie Epitaxie, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).
- Testausrüstung: Wird in Test- und Messgeräten für Halbleitergeräte verwendet.
2. Medizin- und Laborausrüstung:
- DNA-Amplifikation: Wird in PCR-Geräten (Polymerase Chain Reaction) zur DNA-Amplifikation verwendet, bei denen eine präzise Temperaturkontrolle entscheidend ist.
- Analytische Instrumente: Integriert in Analysegeräte, die bei hohen Temperaturen betrieben werden müssen, wie Massenspektrometer und Chromatographiegeräte.
3. Luft- und Raumfahrt und Verteidigung:
- Wärmemanagement: Einsatz in Wärmemanagementsystemen für die Avionik und andere elektronische Hochleistungssysteme.
4. Industrielle Heizung:
- Kunststoffschweißen: Einsatz in Kunststoffschweißgeräten, wo hohe Temperaturen für präzise Schweißvorgänge erforderlich sind.
- Heizplatten und Warmhalteplatten: Werden in Heizplatten und Warmhalteplatten für verschiedene industrielle Prozesse eingesetzt.
5. Optoelektronik:
- LED-Herstellung: Einsatz bei der Herstellung von LEDs, wo hohe Temperaturen und eine präzise thermische Kontrolle erforderlich sind.
- Laserdioden: Integriert in Laserdiodenbaugruppen für effizientes Wärmemanagement.
Verpackung von Aluminiumnitrid-Heizungen
Unsere Aluminiumnitrid-Heizung wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
FAQs zu Aluminiumnitrid-Heizungen
Q1: Wie werden AlN-Heizelemente hergestellt?
Sintern: AlN-Pulver wird in die gewünschte Form gepresst und dann bei hohen Temperaturen gesintert, um ein festes, dichtes Keramik-Heizelement zu bilden.
Dünnschicht- und Dickschichttechnologien: Widerstandsheizelemente werden mit Hilfe von Dünn- oder Dickschichttechnologien auf AlN-Substrate aufgebracht, wodurch präzise Heizmuster entstehen.
F2: Warum werden AlN-Heizelemente in der Halbleiterherstellung verwendet?
AlN-Heizelemente ermöglichen eine präzise und gleichmäßige Erwärmung, die für Halbleiterfertigungsprozesse wie die Waferverarbeitung und die Dünnschichtabscheidung unerlässlich ist. Ihre hohe Wärmeleitfähigkeit und elektrische Isolierung gewährleisten eine effiziente und zuverlässige Leistung.
F3: Können AlN-Heizelemente für spezifische Anwendungen angepasst werden?
Ja, AlN-Heizelemente können in verschiedenen Formen, Größen und Leistungsstufen hergestellt werden, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen und eine optimale Leistung zu gewährleisten.