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  • Physikalische Strukturierung von hochqualitativen supraleitenden Niob-Resonatoren durch Ionenstrahlätzung

    • Physikalische Strukturierung von hochqualitativen supraleitenden Niob-Resonatoren durch Ionenstrahlätzung

    Titel Physikalische Strukturierung von hochqualitativen supraleitenden Niob-Resonatoren durch Ionenstrahlätzung
    Autoren Miguel Manzo-Perez, Moeid Jamalzadeh, Man Nguyen, Christopher Nadeau, Alexander Madden, Iliya Shiravand, Kim Kisslinger, Xiao Tong, Kasra Sardashti, Michael Senatore, Matthew LaHaye, Davood Shahrjerdi
    Zeitschrift Briefe für angewandte Physik
    Datum 09/02/2025
    DOI 10.1063/5.0278956
    Einführung Bei der Herstellung supraleitender Quantenschaltungen werden zunehmend chemisch unterschiedliche Materialien und komplexe Mehrschichtstrukturen eingesetzt. Um diese Entwicklungen voranzutreiben, sind beschädigungsarme, materialunabhängige Strukturierungstechniken, die mit einer breiten Palette von Materialien kompatibel sind, von entscheidender Bedeutung. In dieser Studie wird das Niederenergie-Ionenstrahlätzen (IBE) als praktikable Alternative zum reaktiven Ionenätzen für die Herstellung verlustarmer supraleitender Resonatoren untersucht, wobei Niob-Resonatoren als Referenz dienen. Zur Abschwächung der IBE-induzierten Oberflächenneubildung wurde eine Aluminium-Deckschicht mit gezielter chemischer Behandlung in situ eingeführt. Mit diesem Ansatz lassen sich Resonatoren mit internen Qualitätsfaktoren von 6 × 105 im Ein-Photonen-Bereich bei 50 mK herstellen, was die IBE als vielversprechende Technik für die Herstellung supraleitender Bauelemente auf verschiedenen Materialplattformen hervorhebt.
    Zitat Miguel Manzo-Perez, Moeid Jamalzadeh und Man Nguyen et al. Physikalische Strukturierung von hochqualitativen supraleitenden Niob-Resonatoren durch Ionenstrahlätzung. Applied Physics Letters. 2025. Vol. 127(9). DOI: 10.1063/5.0278956
    Element Niobium (Nb)
    Materialien Metalle und Legierungen , Supraleiter
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