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Komponenten für die Ionenimplantation

Die Ionenimplantation ist ein wichtiges technisches Verfahren, bei dem Ionen eines Materials in einem elektrischen Feld beschleunigt und in ein Target eingeschlagen werden. Das Verfahren verändert die physikalischen, chemischen oder elektrischen Eigenschaften des Targets, das häufig bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen, der Metallveredelung und der materialwissenschaftlichen Forschung eingesetzt wird.

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